CN207541511U - 一种真空吸附系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及了一种真空吸附系统，其包括真空发生器、压力传感器、控制器、节流装置等。设置在真空系统管路上的压力传感器可实时对管路内压力进行检测，并将其反馈给控制器，控制器对采集到的压力信号处理、分析后，通过节流装置来控制管道内气体流量来实时对真空吸附系统压力进行调整。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆真空吸附设备技术领域，尤其涉及一种自控调压真空吸附系统。
背景技术
在晶圆的制作过程中，需要多次借助真空吸盘对其进行吸附、释放晶圆。现有的吸盘真空系统的压力在工作过程中不平稳，甚至发生压力阶跃变化，因而会在吸附或放松的瞬间产生冲击，影响晶圆定位精度，甚至会损坏晶圆本体。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种结构简单，功能可靠，自控调压的真空吸附系统。
为了解决上述技术问题，本实用新型涉及了一种真空吸附系统，其包括真空发生器，其通过管路与真空吸盘相连，为真空吸盘产生负压提供动力；压力传感器，其设置在管路上，实时对管路内压力进行检测，并发出压力信号；控制器，其接收压力信号并对压力信号进行处理，发出控制信号；节流装置，其设置在压力传感器与真空发生器之间的管路上，该节流装置根据接收到的上述控制信号对其通气口大小进行调整。
管路内压力在一定程度上反映真空吸附系统出口压力(即真空吸盘工作压力)，设置在真空系统管路上的压力传感器可实时对管路内压力进行检测，并将其反馈给控制器，控制器对采集到的压力信号处理、分析后，通过节流装置来控制管道内气体流量来实时对真空吸附系统压力进行调整。该真空吸附系统调压能自动、及时、精确地进行压力调整，且结构简单。
作为本实用新型的进一步改进，节流装置为电控节流阀。
电控节流阀调整精确，恒值调控，便于系统压力维持在一定值。
作为本实用新型的进一步改进，节流装置为电气比例阀。
电气比例阀气路简单，易实现，且可以通过编程实现对其控制，实现曲线性的变化，可根据晶圆实际情况对压力进行拟合。
作为本实用新型的进一步改进，节流装置为真空压力开关。
真空压力开关可以实现阶梯式的压力控制，可以很好的拟合斜坡输出。
作为本实用新型的进一步改进，该真空吸附系统还包括变频器，其接收控制信号，且对真空发生器进行控制。
在节流装置控制该真空吸附系统压力的同时，额外增加了对真空发生器的控制，使得系统压力的控制更加可靠，在一定程度上避免了因节流装置损坏或故障造成的系统压力不受控情况发生。
作为本实用新型的进一步改进，该真空吸附系统还包括监控服务器，其分别与压力传感器、控制器、节流装置、变频器相互通讯，并对它们运行状态进行监控。
通过监控服务器实时对真空吸附系统压力信号收集装置、处理装置、执行装置进行监控，且发生异常情况，可及时、快速地得知故障点及原因。
作为本实用新型的进一步改进，通讯手段采用无线通讯。
监控服务器与信号收集装置、处理装置、执行装置间采用无线通讯方式，这样一来，避免了线路通讯对设备放置位置，布局的限定，便于车间布置及调整。
作为本实用新型的进一步改进，无线通讯采用TD-LTE无线通讯网络。
作为本实用新型的进一步改进，监控服务器设有客户端浏览器。
客户端浏览器能实时、直观对显现该真空吸附系统的运行状况，可更方便地实现人工控制。
作为本实用新型的进一步改进，还包括报警装置，其通过监控服务器进行控制。
当真空吸附系统出现异常状况时，可通过报警装置发出光、声等提醒工作人员，使得问题得到及时处理。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本实用新型真空吸附系统第一种实施方式的结构示意图。
图2是本实用新型真空吸附系统第二种实施方式的结构示意图。
具体实施方式
下面结合具体实施例，对本实用新型的内容做进一步的详细说明：
为了达到本实用新型的目的，图1示出了本实用新型真空吸附系统第一种实施方式的结构示意图。该真空吸附系统包括真空发生器、压力传感器、控制器、节流装置等。其中，真空发生器通过管路与真空吸盘相连，为真空吸盘产生负压提供动力；压力传感设置在管路上，实时对管路内压力进行检测，并发出压力信号；控制器接收压力信号并对压力信号进行处理，发出控制信号；节流装置设置在压力传感器与真空发生器之间的管路上，该节流装置根据接收到的上述控制信号对其通气口大小进行调整。根据不同的适用场合，可选用不同的节流装置，如电控节流阀、电气比例阀、真空压力开关。它们特点分别如下：电控节流阀调整精确，恒值调控，便于系统压力维持在一定值；电气比例阀气路简单，易实现，且可以通过编程实现对其控制，实现曲线性的变化，可根据晶圆实际情况对压力进行拟合；真空压力开关可以实现阶梯式的压力控制，可以很好的拟合斜坡输出。
该真空吸附系统工作原理如下：管路内压力在一定程度上反映真空吸附系统出口压力(即真空吸盘工作压力)，设置在真空系统管路上的压力传感器可实时对管路内压力进行检测，并将其反馈给控制器，控制器对采集到的压力信号处理、分析后，通过节流装置来控制管道内气体流量来实时对真空吸附系统压力进行调整。
图2示出了本实用新型真空吸附系统第二种实施方式的结构示意图，其与图一中示出的真空吸附系统不同点仅仅在于：该真空吸附系统还包括变频器。通过控制器发出的控制信号对该变频器进行控制，从而对真空发生器进行控制。这样一来，在节流装置控制该真空吸附系统压力的同时，额外增加了对真空发生器的控制，使得系统压力的控制更加可靠，在一定程度上避免了因节流装置损坏或故障造成的系统压力不受控情况发生。
进一步地优化，该真空吸附系统还设置有监控服务器、客户端浏览器。其中监控服务器分别与压力传感器、控制器、节流装置、变频器相互通讯。通过监控服务器实时对真空吸附系统压力信号收集装置、处理装置、执行装置进行监控，且发生异常情况，可及时、快速地得知故障点及原因。为了避免线路通讯对设备放置位置、布局的限定，它们采用无线通讯手段，大大方便了车间布置及调整。优选TD-LTE无线通讯网络。客户端浏览器能实时、直观对显现该真空吸附系统的运行状况，可更方便地实现人工控制。
除此以外，该真空吸附系统还设置有报警装置，当真空吸附系统出现异常状况时，可通过报警装置发出光、声等提醒工作人员，使得问题得到及时处理。
对所公开的实施例的所述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
Claims (10)
1.一种真空吸附系统，其特征在于，其包括：
真空发生器，其通过管路与真空吸盘相连，为所述真空吸盘产生负压提供动力；
压力传感器，其设置在所述管路上，实时对管路内压力进行检测，并发出压力信号；
控制器，其接收压力信号并对所述压力信号进行处理，发出控制信号；
节流装置，其设置在所述压力传感器与所述真空发生器之间的管路上，所述节流装置根据接收到的所述控制信号对其通气口大小进行调整。
2.根据权利要求1中所述的真空吸附系统，其特征在于，所述节流装置为电控节流阀。
3.根据权利要求1中所述的真空吸附系统，其特征在于，所述节流装置为电气比例阀。
4.根据权利要求1中所述的真空吸附系统，其特征在于，所述节流装置为真空压力开关。
5.根据权利要求1中所述的真空吸附系统，其特征在于，还包括变频器，其接收所述控制信号，对所述真空发生器进行控制。
6.根据权利要求5中所述的真空吸附系统，其特征在于，还包括监控服务器，其分别与所述压力传感器、所述控制器、所述节流装置、所述变频器相互通讯，并对它们运行状态进行监控。
7.根据权利要求6中所述的真空吸附系统，其特征在于，所述通讯手段采用无线通讯。
8.根据权利要求7中所述的真空吸附系统，其特征在于，所述无线通讯采用TD-LTE无线通讯网络。
9.根据权利要求6中所述的真空吸附系统，其特征在于，所述监控服务器设有客户端浏览器。
10.根据权利要求6中所述的真空吸附系统，其特征在于，还包括报警装置，通过所述监控服务器对其进行控制。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201721798102.8U CN207541511U (zh) | 2017-12-20 | 2017-12-20 | 一种真空吸附系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201721798102.8U CN207541511U (zh) | 2017-12-20 | 2017-12-20 | 一种真空吸附系统 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN207541511U true CN207541511U (zh) | 2018-06-26 |
Family
ID=62618966
Family Applications (1)
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Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN207541511U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116994999A (zh) * | 2023-09-26 | 2023-11-03 | 泓浒(苏州)半导体科技有限公司 | 一种超洁净环境的机械臂吸力调节方法及系统 |
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2017
- 2017-12-20 CN CN201721798102.8U patent/CN207541511U/zh active Active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN116994999A (zh) * | 2023-09-26 | 2023-11-03 | 泓浒(苏州)半导体科技有限公司 | 一种超洁净环境的机械臂吸力调节方法及系统 |
| CN116994999B (zh) * | 2023-09-26 | 2023-12-12 | 泓浒(苏州)半导体科技有限公司 | 一种超洁净环境的机械臂吸力调节方法及系统 |
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