CN207525327U - 镀膜线平面阴极短路检修装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于玻璃生产设备技术领域，尤其涉及一种镀膜线平面阴极短路检修装置，包括隔离变压器、用于将隔离变压器与平面阴极电性连通的连接线组和用于控制电路通断的控制开关组，隔离变压器设有用于接入220V或380V单相电的高压侧和用于输出低压电的二次侧，连接线组的一端与隔离变压器的二次侧电性连接，连接线组的另一端与平面阴极电性连接，控制开关组与连接线组电性连接。通过设置隔离变压器，并将其高压侧接入单相电，那么单相电便可在隔离变压器内转化为低压电并从其二次侧输出，并使得控制开关组与连接线组电性连接，以使得隔离变压器与连接线组、控制开关和平面阴极共同形成负载输出回路，以实现对平面阴极短路故障的简单且有效的检修。

Description

镀膜线平面阴极短路检修装置

技术领域

本实用新型属于玻璃生产设备技术领域，尤其涉及一种镀膜线平面阴极短路检修装置。

背景技术

磁控溅射镀膜线在正常生产过程中，平面阴极与阳极底板之间空间狭小，在磁场作用下容易生长针状毛刺，一旦平面阴极与阳极底板连通瞬间便短路造成跳靶，直流电源由于有短路保护而无法开启。在此种情况下，现有技术的一般做法是多次尝试开启直流电源，而无法开启则需要放气处理，如此不但造成时间浪费，且成本相应地提高，还可能造成生产期限的延误。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种镀膜线平面阴极短路检修装置，旨在解决现有技术中镀膜线平面阴极出现短路造成跳靶后无法再次开启的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种镀膜线平面阴极短路检修装置，其特征在于：包括隔离变压器、用于将所述隔离变压器与平面阴极电性连通的连接线组和用于控制电路通断的控制开关组，所述隔离变压器设有用于接入220V或380V单相电的高压侧和用于输出低压电的二次侧，所述连接线组的一端与所述隔离变压器的二次侧电性连接，所述连接线组的另一端与所述平面阴极电性连接，所述控制开关组与所述连接线组电性连接。

进一步地，所述隔离变压器的高压侧设有用于接通220V或380V单相电的高压输入端，所述隔离变压器的二次侧设有用于输出12V或24V单相电的低压输出端。

进一步地，所述连接线组包括阳极连接线和阴极连接线，所述阳极连接线的两端分别与所述隔离变压器的低压输出端和所述平面阴极的阳极端电性连接，所述阴极连接线的两端分别与所述隔离变压器的低压输出端和所述平面阴极的阴极端电性连接。

进一步地，所述隔离变压器的低压输出端设有用于与所述阳极连接线电性连接的阳极接口和用于与所述阴极连接线电性连接的阴极接口。

进一步地，所述阳极连接线的直径和所述阴极连接线的直径均为2.5mm或4.0mm。

进一步地，所述阳极连接线和所述阴极连接线均为单芯铜线或多芯铜线。

进一步地，所述控制开关组包括第一控制开关，所述第一控制开关设于所述隔离变压器与所述220V或380V单相电的输出端之间并与所述隔离变压器和所述220V或380V单相电的输出端电性连接。

进一步地，所述控制开关组还包括第二控制开关，所述第二控制开关设于所述阳极连接线上且与所述隔离变压器的低压输出端和所述平面阴极的阳极端电性连接。

进一步地，所述第一控制开关和所述第二控制开关均为闸刀开关。

本实用新型的镀膜线平面阴极短路检修装置，通过设置隔离变压器，并使得隔离变压器上的高压侧接入220V或380V单相电，那么220V或380V单相电便可在隔离变压器内转化为低压电并从隔离变压器的二次侧输出，进而通过连接线组与平面阴极电性连接，并使得控制开关组与连接线组电性连接，以使得隔离变压器的二次侧与连接线组、控制开关和平面阴极共同形成负载输出回路，以实现对平面阴极短路故障的简单且有效的检修。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的镀膜线平面阴极短路检修装置进行检修时的工艺流程图。

图2为本实用新型实施例提供的镀膜线平面阴极短路检修装置的结构示意图。

其中，图中各附图标记：

10—隔离变压器 11—高压侧 12—二次侧

13—高压输入端 14—低压输出端 15—阳极接口

16—阴极接口 20—连接线组 21—阳极连接线

22—阴极连接线 23—第一控制开关 24—第二控制开关

30—平面阴极 31—阳极端 32—阴极端

33—220V或380V单相电。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图1～2描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如图1所示，本实用新型实施例提供了一种镀膜线平面阴极短路检修装置，包括隔离变压器10、用于将隔离变压器10与平面阴极30电性连通的连接线组20和用于控制电路通断的控制开关组，隔离变压器10设有用于接入220V或380V单相电33的高压侧11和用于输出低压电的二次侧12，连接线组20的一端与隔离变压器10的二次侧12电性连接，连接线组20的另一端与平面阴极30电性连接，控制开关组与连接线组20电性连接。

本实用新型实施例的镀膜线平面阴极短路检修装置，通过设置隔离变压器10，并使得隔离变压器10上的高压侧11的高压输入端13接入220V或380V单相电33，那么220V或380V单相电33便可在隔离变压器10内转化为低压电并从隔离变压器10的二次侧12的低压输出端14输出，进而通过连接线组20与平面阴极30电性连接，并使得控制开关组与连接线组20电性连接，以使得隔离变压器10的二次侧12的低压输出端14与连接线组20、控制开关组和平面阴极30共同形成负载输出回路，以实现对平面阴极30短路故障的简单且有效的检修。

进一步地，本实用新型实施例提供的一种镀膜线平面阴极短路装置的检修方法包括如下步骤：

S1：确定平面阴极30出现短路故障，判断出直流电源无法开启，且平面阴极30对地的电阻为零；

S2：提供隔离变压器10、连接线组20和控制开关组，将隔离变压器10的高压侧11接入220V或380V单相电33、隔离变压器10的二次侧12通过连接线与平面阴极30的阴极、平面阴极30的阳极和控制开关组连接形成负载输出回路；

S3：断开直流电源；

S4：闭合控制开关组N次，N≥2；并于每次断开控制开关组时测量平面阴极30对地的电阻；

S5：测量平面阴极30对地的电阻阻值大小，若所述平面阴极30对地的电阻阻值为零则返回操作所述步骤S4，若所述平面阴极30对地的电阻阻值不为零则开启直流电源点靶。

在检修过程中，首先确定出平面阴极30出现短路故障，并确定直流电源无法启动，针对上述情况，采用隔离变压器10、连接线组20和控制开关组，并将隔离变压器10的高压侧11接入220V或380V单相电33、将隔离变压器10的二次侧12通过连接线组20与平面阴极30的阴极、平面阴极30的阳极和控制开关组连接形成负载输出回路，如此便可进行对平面阴极30短路故障的检修工作。

具体地，隔离变压器10的二次侧12通过连接线组20与平面阴极30的阴极、平面阴极30的阳极和控制开关组连接形成负载输出回路之后，负载输出回路的电流便会作用于平面阴极30与阳极底板之间在磁场作用下而滋生出的长针状毛刺，进而就实现了对毛刺的烧蚀，使得平面阴极30与阳极底板之间的毛刺量显著减少，进而也就避免了平面阴极30与阳极底板之间通过毛刺电性连通的现象发生，如此就消除了镀膜线平面阴极30出现短路的情况。

进一步地，断开直流电源，并闭合控制开关组N次，N≥2；并于每次断开控制开关组时测量平面阴极30对地的电阻，同时测量所述平面阴极30对地的电阻阻值大小，若电阻阻值为零则需重新开始上述步骤，若电阻阻值不为零则说明平面阴极30的短路故障已消除，那么此时便可开启直流电源点靶。如此就快速有效的解决了镀膜线平面阴极30出现短路造成跳靶后无法再次开启的技术问题。

在本实施例中，如图2所示，隔离变压器10的高压侧11设有用于接通220V或380V单相电33的高压输入端13，隔离变压器10的二次侧12设有用于输出12V或24V单相电的低压输出端14。

进一步地，通过在隔离变压器10的高压侧11设有用于接通220V或380V单相电33的高压输入端13，那么220V或380V单相电33便可自隔离变压器10的高压输入端13进入隔离变压器10内并转变为低压电自隔离变压器10的二次侧12设有的低压输出端14输出，如此就实现了对外接标准电压向安全测试电压的转变，既也就是将220V或380V单相电33转化为12V或24V的低压电。使得镀膜线平面阴极30短路的检修的过程在一个适宜的电压条件下进行，如此便保证了镀膜线平面阴极30短路的检修的安全性和可操作性。

进一步地，通过选用220V或380V单相电33作为隔离变压器10的高压输入端13的接入电，由于单相电一根相线和一根零线构成的最为常见的电能输送形式，那么220V或380V单相电33便较为容易在镀膜线平面阴极30工作环境中找到，如此便大大提升了对镀膜线平面阴极30短路检修的便利性。

更进一步地，通过选择12V或24V的低压电作为隔离变压器10的低压输出端14所输出的电压，那么由于12V或24V低压电的电压范围处于人体安全电压范围之内，且远小于人体安全电压的上限，如此就有效地保护了操作人员的人身安全，提升了镀膜线平面阴极30短路的检修作业环境的安全性。同时，12V或24V低压电由于其较低的电压范围，那么其也不会在短路检修过程中损坏镀膜线平面阴极30内的电子设备。如此，通过选择12V或24V的低压电作为隔离变压器10的低压输出端14所输出的电压，就兼顾了对操作人员人身安全的保护和对镀膜线平面阴极30内的电子设备的保护。

在本实施例中，如图2所示，连接线组20包括阳极连接线21和阴极连接线22，阳极连接线21的两端分别与隔离变压器10的低压输出端14和平面阴极30的阳极端31电性连接，阴极连接线22的两端分别与隔离变压器10的低压输出端14和平面阴极30的阴极端32电性连接。

进一步地，通过使得连接线组20包括阳极连接线21和阴极连接线22，那么隔离变压器10的低压输出端14和平面阴极30的阳极端31便能够通过阳极连接线21电性连通，同时隔离变压器10的低压输出端14和平面阴极30的阴极端32也可以通过阴极连接线22电性连通。如此，隔离变压器10的低压输出端14便能够与平面阴极30的阳极端31和阴极端32通过阳极连接线21和阴极连接线22电性连通，形成负载回路，进而实现对平面阴极30与阳极底板之间的毛刺进行烧蚀。

在本实施例中，如图2所示，隔离变压器10的低压输出端14设有用于与阳极连接线21电性连接的阳极接口15和用于与阴极连接线22电性连接的阴极接口16。具体地，阳极接口15和阴极接口16之间间隔有一定距离设置，且阳极接口15和阴极接口16的表面均涂有不同的标识颜色，同时阳极接口15和阴极接口16的表面也设有不同纹路的压花网格。

进一步地，通过在隔离变压器10的低压输出端14设有阳极接口15，那么阳极连接线21便能够插接入阳极接口15中以与隔离变压器10电性连接，通过在隔离变压器10的低压输出端14设有阴极接口16，那么阴极连接线22便能够插接入阴极接口16中以与隔离变压器10电性连接。如此，阳极连接线21的两端分别与隔离变压器10低压输出端14的阳极接口15和平面阴极30的阳极端电性连接，构成了12V或24V低压电的相线，而阴极连接线22的两端分别与隔离变压器10低压输出端14的阴极接口16和平面阴极30的阴极端电性连接，构成了12V或24V低压电的零线。

更进一步地，通过使得阳极接口15和阴极接口16之间间隔有一定距离设置，那么接驳于阳极接口15的阳极连接线21和接驳于阴极接口16的阴极连接线22便不会在与隔离变压器10低压输出端14处相互影响，从而避免了阳极连接线21和阴极连接线22由于距离过近而相互缠绕，进而影响使用的问题。

优选地，通过在阳极接口15和阴极接口16的表面均涂有不同的标识颜色，那么操作人员便能够快速准确的识别出隔离变压器10低压输出端14的阳极接口15和阴极接口16，进而就能够快速搭接负载回路，如此便显著节省了对镀膜线平面阴极30短路的检修所需的时间。

更优选地，通过在阳极接口15和阴极接口16的表面设有不同纹路的压花网格。那么操作人员就能够在微光或弱光条件下通过接触阳极接口15和阴极接口16的表面设有的不同纹路的压花网格来判断和区分阳极接口15和阴极接口16，如此便显著减小了阳极连接线21和阴极连接线22分别与阳极接口15和阴极接口16相接驳的时间，从而降低了在微光或弱光条件下对镀膜线平面阴极30短路进行检修所需的时间。

在本实施例中，阳极连接线21的直径和阴极连接线22的直径均为2.5mm或4.0mm。进一步地，通过将阳极连接线21的直径和阴极连接线22的直径均设定为2.5mm或4.0mm。如此设计，便兼顾了保证阳极连接线21和阴极连接线22的连接强度的和降低阳极连接线21和阴极连接线22的电阻值。

优选地，阳极连接线21的直径和阴极连接线22的直径均为4.0mm，如此就实现了对满足阳极连接线21和阴极连接线22的连接强度以及降低阳极连接线21和阴极连接线22的电阻值之间的最优平衡。

在本实施例中，阳极连接线21和阴极连接线22均为单芯铜线或多芯铜线。

在本实施例中，如图2所示，控制开关组包括第一控制开关23，第一控制开关23设于隔离变压器10与220V或380V单相电33的输出端之间并与隔离变压器10和220V或380V单相电33的输出端电性连接。

进一步地，通过使得控制开关组包括第一控制开关23，并将第一控制开关23设于隔离变压器10与220V或380V单相电33的输出端之间并与隔离变压器10和220V或380V单相电33的输出端电性连接，如此便实现了对隔离变压器10与220V或380V单相电33的输出端之间的连通电路的通断控制。

在本实施例中，如图2所示，控制开关组还包括第二控制开关24，第二控制开关24设于阳极连接线21上且与隔离变压器10的低压输出端14和平面阴极30的阳极端电性连接。

进一步地，通过使得控制开关组包括第二控制开关24，并使得第二控制开关24设于阳极连接线21上且与隔离变压器10的低压输出端14和平面阴极30的阳极端31电性连接，如此便实现了对隔离变压器10的低压输出端14和平面阴极30的阳极端31之间电路连通的控制。

更进一步地，通过使得控制开关组包括第一控制开关23和第二控制开关24，并将第一控制开关23设于隔离变压器10与220V或380V单相电33的输出端之间，将第二控制开关24设于隔离变压器10的低压输出端14和平面阴极30的阳极端31之间，那么便同时实现了对隔离变压器10和220V或380V单相电33输入的控制以及对隔离变压器10的低压输出端14和平面阴极30的阳极端31电性连通的控制，从而显著地提升了对镀膜线平面阴极30短路进行检修的可操作性和电路通断的可控性。

在本实施例中，如图2所示，第一控制开关23和第二控制开关24均为闸刀开关。进一步地，通过将第一控制开关23和第二控制开关24均设为闸刀开关，而得益于闸刀开关结构简单，易于制造且造价低廉的特点，如此检修镀膜线平面阴极30短路的实现成本便可得到大幅下降。同时得益于闸刀开关工作可靠性高，且具有高压隔断能力，如此且保证了操作人员的人身安全。

具体地，在进行检修工作中的步骤S4时，主要是先将第一控制开关23闭合，然后闭合所述第二控制开关24N次，其中N≥2。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种镀膜线平面阴极短路检修装置，其特征在于：包括隔离变压器、用于将所述隔离变压器与平面阴极电性连通的连接线组和用于控制电路通断的控制开关组，所述隔离变压器设有用于接入220V或380V单相电的高压侧和用于输出低压电的二次侧，所述连接线组的一端与所述隔离变压器的二次侧电性连接，所述连接线组的另一端与所述平面阴极电性连接，所述控制开关组与所述连接线组电性连接。

2.根据权利要求1所述的镀膜线平面阴极短路检修装置，其特征在于：所述隔离变压器的高压侧设有用于接通220V或380V单相电的高压输入端，所述隔离变压器的二次侧设有用于输出12V或24V单相电的低压输出端。

3.根据权利要求1所述的镀膜线平面阴极短路检修装置，其特征在于：所述连接线组包括阳极连接线和阴极连接线，所述阳极连接线的两端分别与所述隔离变压器的低压输出端和所述平面阴极的阳极端电性连接，所述阴极连接线的两端分别与所述隔离变压器的低压输出端和所述平面阴极的阴极端电性连接。

4.根据权利要求3所述的镀膜线平面阴极短路检修装置，其特征在于：所述隔离变压器的低压输出端设有用于与所述阳极连接线电性连接的阳极接口和用于与所述阴极连接线电性连接的阴极接口。

5.根据权利要求3所述的镀膜线平面阴极短路检修装置，其特征在于：所述阳极连接线的直径和所述阴极连接线的直径均为2.5mm或4.0mm。

6.根据权利要求3所述的镀膜线平面阴极短路检修装置，其特征在于：所述阳极连接线和所述阴极连接线均为单芯铜线或多芯铜线。

7.根据权利要求3所述的镀膜线平面阴极短路检修装置，其特征在于：所述控制开关组包括第一控制开关，所述第一控制开关设于所述隔离变压器与所述220V或380V单相电的输出端之间并与所述隔离变压器和所述220V或380V 单相电的输出端电性连接。

8.根据权利要求7所述的镀膜线平面阴极短路检修装置，其特征在于：所述控制开关组还包括第二控制开关，所述第二控制开关设于所述阳极连接线上且与所述隔离变压器的低压输出端和所述平面阴极的阳极端电性连接。

9.根据权利要求8所述的镀膜线平面阴极短路检修装置，其特征在于：所述第一控制开关和所述第二控制开关均为闸刀开关。