CN207502101U - 太阳能电池片减反射膜制备设备的压力计对比验证装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种太阳能电池片减反射膜制备设备的压力计对比验证装置，涉及太阳能电池片制备设备技术领域。该太阳能电池片减反射膜制备设备的压力计对比验证装置包括第一压力接口、第二压力接口及连接管道。第一压力接口的数量为2个以上，其中1个第一压力接口设置在连接管道的第一端，其余第一压力接口设置在连接管道的中部；第二压力接口的数量为2个以上，其中1个第二压力接口设置在连接管道的第二端，其余第二压力接口设置在连接管道的中部。本实用新型的太阳能电池片减反射膜制备设备的压力计对比验证装置，通过对比来进行待校准压力计的校准，校准操作简单，校准效率高，解决了压力计校准操作繁琐的问题，具有进行推广应用的价值。

Description

太阳能电池片减反射膜制备设备的压力计对比验证装置

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池片制备设备技术领域，特别是涉及一种太阳能电池片减反射膜制备设备的压力计对比验证装置。

背景技术

在太阳能电池片的制备过程中，通常需要对电池片发射结面进行镀光学减反射膜。目前，氮化硅薄膜作为晶体硅太阳能电池片的光学减反射膜，同时也起到电池片表面钝化和体内钝化的作用，以提高太阳能电池的转换效率。

目前，制备氮化硅薄膜，一般采用的是等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法，配套采用德国的PECVD设备。在采用PECVD设备制备氮化硅薄膜的过程中，为了保护微波系统内部真空值的真实有效，需要对PECVD设备的多种接口上的真空压力计进行真空值校准。

对PECVD设备进行真空压力计的校准，目前采用的是用与原压力计相同法兰接口的压力计替换并对比的方式，这种方式操作繁琐，校准效率低。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种太阳能电池片减反射膜制备设备的压力计对比验证装置，以解决现有技术中存在的压力计校准操作繁琐的技术问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供的一种太阳能电池片减反射膜制备设备的压力计对比验证装置，包括第一压力接口、第二压力接口及连接管道；

所述第一压力接口的数量为2个以上，其中1个所述第一压力接口设置在所述连接管道的第一端，其余所述第一压力接口设置在所述连接管道的中部；

所述第二压力接口的数量为2个以上，其中1个所述第二压力接口设置在所述连接管道的第二端，其余所述第二压力接口设置在所述连接管道的中部。

进一步地，所述第一压力接口为卡盘法兰接口。

该技术方案的技术效果在于：使用与机台端或/和压力计接口端的接口形式相同的卡盘法兰接口，来进行连接，进而进行压力计校准，连接方便，校准操作简单、快速。

进一步地，1个所述第一压力接口设置在所述连接管道的第一端，其余所述第一压力接口分别通过第一连接管道连接在所述连接管道的中部。

该技术方案的技术效果在于：第一压力接口通过第一连接管道与连接管道连通，既能达到校准的目的，连接结构又简单。

进一步地，所述第一连接管道垂直设置在所述连接管道的中部。

该技术方案的技术效果在于：与连接管道垂直连接的第一连接管道，保证相互连通通畅，有利于校准的准确进行；并且，组件加工简单，便于装置的生产制造。

进一步地，当所述第一连接管道的数量为2个时，2个所述第一连接管道的轴线重合。

该技术方案的技术效果在于：轴线重合，使得2个第一连接管道处于同一个平面内，使得相接处内部连通更加通畅；同时，也便于装置整体的加工。

进一步地，所述第二压力接口为普通法兰接口。

该技术方案的技术效果在于：使用与机台端或/和压力计接口端的接口形式相同的普通法兰接口，来进行连接，进而进行压力计校准，连接方便，校准操作简单，校准效率高。

进一步地，1个所述第二压力接口设置在所述连接管道的第二端，其余所述第二压力接口分别通过第二连接管道连接在所述连接管道的中部。

该技术方案的技术效果在于：第二压力接口通过第二连接管道与连接管道连通，既能达到校准的目的，并且连接结构又简单。

进一步地，所述第二连接管道垂直设置在所述连接管道的中部。

该技术方案的技术效果在于：与连接管道垂直连接的第二连接管道，保证相互连通通畅，有利于校准的准确进行；并且，组件加工简单，便于装置的生产制造。

进一步地，当所述第二连接管道的数量为2个时，2个所述第二连接管道的轴线重合。

该技术方案的技术效果在于：轴线重合，使得2个第二连接管道处于同一个平面内，使得相接处内部连通更加通畅；同时，也便于装置整体的加工。

进一步地，所述连接管道的中部设有开关阀。

该技术方案的技术效果在于：开关阀的设置，便于在校准过程中对第一压力接口或第二压力接口进行通断，使得校准过程更加便于控制。

本实用新型提供的太阳能电池片减反射膜制备设备的压力计对比验证装置，一个第一压力接口设置在连接管道的第一端，其余第一压力接口设置在连接管道的中部；一个第二压力接口设置在连接管道的第二端，其余第二压力接口设置在连接管道的中部。

本实用新型提供的太阳能电池片减反射膜制备设备的压力计对比验证装置，对PECVD设备进行真空压力计的校准时，将机台端的待校准的压力计卸下，将与机台端接口匹配的一个第一压力接口或第二压力接口连接在机台端，将待校准压力计连接在与其接口匹配的又一个第一压力接口或第二压力接口上，而后，将对比校准用的压力计连接在与其接口匹配的其他的第一压力接口或第二压力接口上，同时，对其他未参与连接的第一压力接口或第二压力接口用堵头密封，通过对比来进行待校准压力计的校准，校准操作简单，校准效率高，并且，校准后可不必将待校准压力计安装回机台端，压力计依旧能够正常使用，不影响氮化硅薄膜的制备，还使得后续的校准作业变得更加方便，解决了压力计校准操作繁琐的问题，适于进行推广应用。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例一提供的一种太阳能电池片减反射膜制备设备的压力计对比验证装置的整体结构示意图；

图2为本实用新型实施例一提供的一种太阳能电池片减反射膜制备设备的压力计对比验证装置的俯视结构示意图；

图3为本实用新型实施例一提供的一种太阳能电池片减反射膜制备设备的压力计对比验证装置中的第一压力接口的结构示意图；

图4为本实用新型实施例一提供的一种太阳能电池片减反射膜制备设备的压力计对比验证装置中的第二压力接口的结构示意图。

附图标记：

100-第一压力接口； 200-第二压力接口； 300-连接管道；

301-第一连接管道； 302-第二连接管道。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例一：

在本实施例的可选方案中，如图1所示，本实施例提供的一种太阳能电池片减反射膜制备设备的压力计对比验证装置，包括第一压力接口100、第二压力接口200及连接管道300；第一压力接口100的数量为3个，其中1个第一压力接口100设置在连接管道300的第一端，其余2个第一压力接口100设置在连接管道300的中部；第二压力接口200的数量为3个，其中1个第二压力接口200设置在连接管道300的第二端，其余2个第二压力接口200设置在连接管道300的中部。

在本实施例中，3个第一压力接口100中的1个设置在连接管道300的第一端，其余2个第一压力接口100设置在连接管道300的中部；3个第二压力接口200中的1个设置在连接管道300的第二端，其余2个第二压力接口200设置在连接管道300的中部；对PECVD设备进行真空压力计的校准时，将机台端的待校准的压力计卸下，将与机台端接口匹配的1个第一压力接口100或第二压力接口200连接在机台端，将待校准压力计连接在与其接口匹配的第2个第一压力接口100或第二压力接口200上，而后，将对比校准用的压力计连接在与其接口匹配的第3个第一压力接口100或第二压力接口200上，同时，对其他3个未进行连接的第一压力接口100或第二压力接口200用堵头密封，通过压力对比来进行待校准压力计的校准，校准操作简单，校准效率高，并且，校准后可不必将待校准压力计安装回机台端，压力计依旧能够正常使用，不影响氮化硅薄膜的制备，还使得后续的校准作业变得更加方便，本装置实现了不同接口的压力计的安装和压力对比。

在本实施例中，其余2个第一压力接口100设置在连接管道300的中部，且靠近连接管道300的第一端；其余2个第二压力接口200设置在连接管道300的中部，且靠近连接管道300的第二端。

需要说明的是，机台端的接口形式通常有两种，卡盘法兰接口和普通法兰接口，对应地，压力计的接口形式通常也为这两种。

在本实施例的可选方案中，如图3所示，第一压力接口100为卡盘法兰接口。

在本实施例中，当机台端的接口形式为卡盘法兰接口时，使用第一压力接口100与机台端连接；当待校准压力计或对比校准用压力计的接口形式为卡盘法兰接口时，使用第一压力接口100与压力计接口端连接。

在本实施例中，使用与机台端或/和压力计接口端的接口形式相同的卡盘法兰接口，来进行连接，进而进行压力计校准，连接方便，校准操作简单、快速。

在本实施例的可选方案中，如图2所示，3个第一压力接口100中的1个设置在连接管道300的第一端，其余2个第一压力接口100分别通过2个第一连接管道301连接在连接管道300的中部。

在本实施例中，第一连接管道301的一端连接在连接管道300的中部，与连接管道300连通，第一压力接口100连接在第一连接管道301的另一端，与连接管道300连通，连接管道300和2个第一连接管道301构成3个第一压力接口100的连接通道。

在本实施例中，2个第一压力接口100分别通过2个第一连接管道301与连接管道300连通，既能达到校准的目的，连接结构又简单。

在本实施例的可选方案中，2个第一连接管道301均垂直设置在连接管道300的中部。

在本实施例中，第一连接管道301垂直连接在连接管道300上，2个第一连接管道301相互平行。

在本实施例中，与连接管道300垂直连接的第一连接管道301，保证相互连通通畅，有利于校准的准确进行；并且，组件加工简单，便于装置的生产制造。

在本实施例的可选方案中，2个第一连接管道301的轴线重合。

在本实施例中，2个第一连接管道301在各自的长度方向上相互对齐，也就是说，2个第一连接管道301相互平行且对齐设置在连接管道300的两侧。

在本实施例中，轴线重合，使得2个第一连接管道301处于同一个平面内，使得相接处内部连通更加通畅；同时，也便于装置整体的加工。

在本实施例的可选方案中，如图4所示，第二压力接口200为普通法兰接口。

在本实施例中，当机台端的接口形式为普通法兰接口时，使用第二压力接口200与机台端连接；当待校准压力计或对比校准用压力计的接口形式为普通法兰接口时，使用第二压力接口200与压力计接口端连接。

在本实施例中，使用与机台端或/和压力计接口端的接口形式相同的普通法兰接口，来进行连接，进而进行压力计校准，连接方便，校准操作简单，校准效率高。

在本实施例的可选方案中，3个第二压力接口200中的1个设置在连接管道300的第二端，其余2个第二压力接口200分别通过2个第二连接管道302连接在连接管道300的中部。

在本实施例中，第二连接管道302的一端连接在连接管道300的中部，与连接管道300连通，第二压力接口200连接在第二连接管道302的另一端，与连接管道300连通，连接管道300和2个第二连接管道302构成3个第一压力接口100的连接通道。

在本实施例中，2个第二压力接口200分别通过2个第二连接管道302与连接管道300连通，既能达到校准的目的，连接结构又简单。

在本实施例的可选方案中，2个第二连接管道302均垂直设置在连接管道300的中部。

在本实施例中，第二连接管道302垂直连接在连接管道300上，2个第二连接管道302相互平行。

在本实施例中，与连接管道300垂直连接的第二连接管道302，保证相互连通通畅，有利于校准的准确进行；并且，组件加工简单，便于装置的生产制造。

在本实施例的可选方案中，2个第二连接管道302的轴线重合。

在本实施例中，2个第二连接管道302在各自的长度方向上相互对齐，也就是说，2个第二连接管道302相互平行且对齐设置在连接管道300的两侧。

在本实施例中，轴线重合，使得2个第二连接管道302处于同一个平面内，使得相接处内部连通更加通畅；同时，也便于装置整体的加工。

并且，位于连接管道300同侧的第二连接管道302与第一连接管道301的轴线相互平行，即第二连接管道302与第一连接管道301的轴线位于同一个平面上。

在本实施例的可选方案中，连接管道300的中部设有开关阀。

在本实施例中，开关阀设置在第一连接管道301与第二连接管道302之间。

在本实施例中，开关阀的设置，便于在校准过程中对第一压力接口100或第二压力接口200进行通断，使得校准过程更加便于控制。

实施例二：

在本实施例的可选方案中，区别于实施例一，本实施例提供的一种太阳能电池片减反射膜制备设备的压力计对比验证装置，包括第一压力接口100、第二压力接口200及连接管道300；第一压力接口100的数量为2个，其中1个第一压力接口100设置在连接管道300的第一端，其余1个第一压力接口100设置在连接管道300的中部；第二压力接口200的数量为2个，其中1个第二压力接口200设置在连接管道300的第二端，其余1个第二压力接口200设置在连接管道300的中部。

在本实施例中，2个第一压力接口100中的1个设置在连接管道300的第一端，其余1个第一压力接口100设置在连接管道300的中部；2个第二压力接口200中的1个设置在连接管道300的第二端，其余1个第二压力接口200设置在连接管道300的中部；对PECVD设备进行真空压力计的校准时，将机台端的待校准的压力计卸下，将与机台端接口匹配的第1个第一压力接口100或第二压力接口200连接在机台端，将待校准压力计连接在与其接口匹配的第2个第一压力接口100或第二压力接口200上，而后，将与剩余的第一压力接口100或第二压力接口200匹配的对比校准用的压力计，连接在剩余的第一压力接口100或第二压力接口200上，同时，对未参与连接的第一压力接口100或第二压力接口200用堵头密封，通过压力对比来进行待校准压力计的校准，校准操作简单。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种太阳能电池片减反射膜制备设备的压力计对比验证装置，其特征在于，包括第一压力接口(100)、第二压力接口(200)及连接管道(300)；

所述第一压力接口(100)的数量为2个以上，其中1个所述第一压力接口(100)设置在所述连接管道(300)的第一端，其余所述第一压力接口(100)设置在所述连接管道(300)的中部；

所述第二压力接口(200)的数量为2个以上，其中1个所述第二压力接口(200)设置在所述连接管道(300)的第二端，其余所述第二压力接口(200)设置在所述连接管道(300)的中部。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池片减反射膜制备设备的压力计对比验证装置，其特征在于，所述第一压力接口(100)为卡盘法兰接口。

3.根据权利要求1所述的太阳能电池片减反射膜制备设备的压力计对比验证装置，其特征在于，1个所述第一压力接口(100)设置在所述连接管道(300)的第一端，其余所述第一压力接口(100)分别通过第一连接管道(301)连接在所述连接管道(300)的中部。

4.根据权利要求3所述的太阳能电池片减反射膜制备设备的压力计对比验证装置，其特征在于，所述第一连接管道(301)垂直设置在所述连接管道(300)的中部。

5.根据权利要求4所述的太阳能电池片减反射膜制备设备的压力计对比验证装置，其特征在于，当所述第一连接管道(301)的数量为2个时，2个所述第一连接管道(301)的轴线重合。

6.根据权利要求1所述的太阳能电池片减反射膜制备设备的压力计对比验证装置，其特征在于，所述第二压力接口(200)为普通法兰接口。

7.根据权利要求1所述的太阳能电池片减反射膜制备设备的压力计对比验证装置，其特征在于，1个所述第二压力接口(200)设置在所述连接管道(300)的第二端，其余所述第二压力接口(200)分别通过第二连接管道(302)连接在所述连接管道(300)的中部。

8.根据权利要求7所述的太阳能电池片减反射膜制备设备的压力计对比验证装置，其特征在于，所述第二连接管道(302)垂直设置在所述连接管道(300)的中部。

9.根据权利要求8所述的太阳能电池片减反射膜制备设备的压力计对比验证装置，其特征在于，当所述第二连接管道(302)的数量为2个时，2个所述第二连接管道(302)的轴线重合。

10.根据权利要求1所述的太阳能电池片减反射膜制备设备的压力计对比验证装置，其特征在于，所述连接管道(300)的中部设有开关阀。