CN207483898U - 一种多晶硅坩埚护板 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种多晶硅坩埚护板，包括多块护板单体，多块所述护板单体首尾依次连接围成放置坩埚的空间；多块所述护板单体的首端分别设置有卯槽，尾端分别设置有与相邻所述护板单体的所述卯槽对应的榫钩。本实用新型通过在护板单体的两侧分别设置榫钩和卯槽，能够通过榫卯相扣连接固定，实现多块护板的连接和固定，石墨护板的榫钩和卯槽的一体化，可以节省成本，减少坩埚护板在炉体内的占用空间，增加了所装的料在炉内运行的安全性。同时，将榫卯和护板主结构一体化，不会造成榫卯遗失，节省了成本，且安装方便简单高效，提高了工作效率。

Description

一种多晶硅坩埚护板

技术领域

本实用新型涉及多晶铸锭技术领域，更具体地说，涉及一种多晶硅坩埚护板。

背景技术

在多晶硅铸锭过程中，需要将硅料放置在石英坩埚中，并通过铸锭炉将硅料加热熔化后再通过降低温度实现长晶。石英坩埚的形变温度界点为1075℃，开始软化的温度界点为1200℃，完全软化温度界点为1730℃，硅的熔点约为1420℃，故在熔化过程中，石英坩埚是处于轻微软化情况的。在长晶过程中，由于晶体的生长固化，会对坩埚有一定的外撑力作用，因此在熔化和长晶整个过程中，坩埚护板的保护作用都是必不可少且极其重要的。因此对于坩埚的固定和保护，简单高效且牢固的护板就显得至关重要。

目前，多晶硅铸锭坩埚护板的固定方式大体有两种。第一种使用较为广泛，即通过螺杆、螺母连接方式固定，此方法在竖直放置好四块护板后才能逐个将螺母旋紧，因而护板紧固前具有一定的倒下风险，且每个护板至少需要固定四个螺母，会增加装护板时间降低工作效率，在使用过程中，由于螺纹易断裂，需要经常更换护板，且螺杆、螺母需要单独的无尘装料桶放置，易丢失，造成生产成本上升。另一种方式为用钼丝在护板的开槽处进行捆绑固定，此操作繁琐且钼丝为一次性消耗，增加了生产成本。

综上所述，如何有效地解决多晶硅坩埚护板拆装不便、成本高等问题，是目前本领域技术人员急需解决的问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种，该坩埚护板的结构设计可以有效地解决多晶硅坩埚护板拆装不便、成本高的问题.

为了达到上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种多晶硅坩埚护板，包括多块护板单体，多块所述护板单体首尾依次连接围成放置坩埚的空间；多块所述护板单体的首端分别设置有卯槽，尾端分别设置有与相邻所述护板单体的所述卯槽对应的榫钩。

优选地，上述多晶硅坩埚护板中，包括四块所述护板单体，且四块所述护板单体的形状均相同，以围成用于放置所述坩埚的正方体空间。

优选地，上述多晶硅坩埚护板中，所述护板单体的首端开设有向内侧的挂钩状的所述卯槽。

优选地，上述多晶硅坩埚护板中，所述卯槽的一侧侧壁为由所述护板单体的外侧向内、与所述护板单体的内侧垂直的垂直壁，所述垂直壁的底端向外呈弧线过渡形成挂钩状的所述卯槽。

优选地，上述多晶硅坩埚护板中，所述护板单体的内侧对应所述卯槽的弧线过渡位置呈弧形，以与所述弧线相连呈尖角。

优选地，上述多晶硅坩埚护板中，所述护板单体均为石墨护板。

优选地，上述多晶硅坩埚护板中，所述护板单体的内侧面用于与所述坩埚的外侧面接触贴合。

本实用新型提供的多晶硅坩埚护板包括多块护板单体，多块护板单体首尾依次连接围成中空结构，用于放置坩埚。多块护板单体的首端分别设置有卯槽，尾端分别设置有与相邻护板单体的卯槽对应的榫钩。

应用本实用新型提供的坩埚护板，在安装时，先在多晶硅投炉车上放置一块石墨护板；在石墨护板上放置坩埚，如正方体石英坩埚。而后将第一块护板单体放置靠在石英坩埚一侧，带有卯槽的侧面和石英坩埚的一面在同一个平面上；接着将第二块护板单体先靠着石英坩埚，再沿着石英坩埚将有榫钩的一侧慢慢推移至与卯槽相扣，即固定安装好两侧护板；依次根据需要将剩余的护板单体按照相同的操作安装，直至最后一块护板。在其与护板均固定好的状态下，最后一块护板从上往下扣住推移至合适位置，即可完全固定好坩埚。对应的拆除过程为：先从下往上将一块单体护板拔出；而后将其他各护板单体按顺序依次拆卸下来集中放置在预定位置。

综上，本实用新型通过在护板单体的两侧分别设置榫钩和卯槽，能够通过榫卯相扣连接固定，实现多块护板的连接和固定，石墨护板的榫钩和卯槽的一体化，可以节省成本，减少坩埚护板在炉体内的占用空间，增加了所装的料在炉内运行的安全性。同时，将榫卯和护板主结构一体化，不会造成榫卯遗失，节省了成本，且安装方便简单高效，提高了工作效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型一个具体实施例的多晶硅坩埚护板的组合结构示意图；

图2为护板单体的三维结构示意图；

图3为护板单体的俯视结构示意图。

附图中标记如下：

护板单体1，榫钩2，卯槽3。

具体实施方式

本实用新型实施例公开了一种多晶硅坩埚护板，以便于坩埚护板的拆装，降低成本。

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-图3，图1为本实用新型一个具体实施例的多晶硅坩埚护板的组合结构示意图；图2为护板单体的三维结构示意图；图3为护板单体的俯视结构示意图。

在一个具体实施例中，本实用新型提供的多晶硅坩埚护板包括多块护板单体1。

多块护板单体1首尾依次连接围成中空结构，用于放置坩埚。坩埚一般为石英坩埚，坩埚的形状常见的为正方体，故多块护板单体1首尾依次连接围成正方体的中空结构。具体护板单体1的数量可根据需要设置，对于正方体的坩埚而言，优选的可以包括四块护板单体1，两两相连围成正方体空腔。具体护板单体1的大小根据坩埚的大小对应设置。

多块护板单体1的首端分别设置有卯槽3，尾端分别设置有与相邻护板单体1的卯槽3对应的榫钩2。需要说明的是，此处及下文提到的护板单体1的首端和尾端分别指护板单体1用于与相邻护板单体1连接的左右两侧，仅为了限定二者相对的位置关系。榫钩2和卯槽3的形状对应，装配时一块护板单体1的榫钩2插接于相邻的另一护板单体1的卯槽3内，从而将二者固定连接。

应用本实用新型提供的多晶硅坩埚护板，在安装时，先在多晶硅投炉车上放置一块石墨护板；在石墨护板上放置坩埚，如正方体石英坩埚。而后将第一块护板单体1放置靠在石英坩埚一侧，带有卯槽3的侧面和石英坩埚的一面在同一个平面上；接着将第二块护板单体1先靠着石英坩埚，再沿着石英坩埚将有榫钩2的一侧慢慢推移至与卯槽3相扣，即固定安装好两侧护板；依次根据需要将剩余的护板单体1按照相同的操作安装，直至最后一块护板。在其与护板均固定好的状态下，最后一块护板从上往下扣住推移至合适位置，即可完全固定好坩埚。对应的拆除过程为：先从下往上将一块单体护板拔出；而后将其他各护板单体1按顺序依次拆卸下来集中放置在预定位置。

综上，本实用新型通过在护板单体1的两侧分别设置榫钩2和卯槽3，能够通过榫卯相扣连接固定，实现多块护板的连接和固定，石墨护板的榫钩2和卯槽3的一体化，可以节省成本，减少坩埚护板在炉体内的占用空间，增加了所装的料在炉内运行的安全性。同时，将榫卯和护板主结构一体化，不会造成榫卯遗失，节省了成本，且安装方便简单高效，提高了工作效率。

具体的，包括四块护板单体1，且四块护板单体1的形状均相同，以围成用于放置坩埚的正方体空间。安装时，在多晶硅投炉车上放置一块正方体石墨护板；在石墨护板上放置正方体石英坩埚。而后，将第一块护板单体1放置靠在石英坩埚一侧，带有卯槽3的侧面和石英坩埚的一面在同一个平面上；接着第二块石墨护板先靠着石英坩埚，再沿着石英坩埚将有榫钩2的一侧慢慢推移至与卯槽3相扣，即固定安装好两侧护板；第三块护板也参照上述安装过程，将第三块护板安装固定好；第四块护板在其他三块护板安装固定好的状态下，通过从上往下扣住推移至合适位置，即可完全固定好坩埚。当然，根据坩埚的形状及大小，可以调整护板单体1的数量及形状大小，以使得护板单体1两两相连后围成与坩埚形状一致的空腔即可。

进一步地，护板单体1的首端开设有向内侧的挂钩状的卯槽3。也就是卯槽3的槽口位于护板单体1的外侧，卯槽3向护板单体1内侧延伸且呈挂钩状。如此设置，便于卯槽3与榫钩2的配合。且挂钩状结构有效保证了榫钩2与卯槽3的连接可靠性。

更进一步地，卯槽3的一侧侧壁为由护板单体1的外侧向内、与护板单体1的内侧垂直的垂直壁，垂直壁的底端向外呈弧线过渡形成挂钩状的卯槽3。也就是如图3所示，护板单体1处有一垂直角度进入，再切以弧形的弯钩状挂钩，形成挂钩状卯槽3。

优选的，护板单体1的内侧对应卯槽3的弧线过渡位置呈弧形，以与弧线相连呈尖角。也就是如图3所示，切以弧形的弯钩状挂钩，并在护板单体1的内侧面相同位置处再加工成月牙状似的弧形状，以方便安装。也就是卯槽3的槽底和与垂直壁相对的另一侧侧壁为均匀过渡的弧线，与弧线对应的护板单体1的内侧面上也加工成弧形，并与卯槽3侧壁相连，因而护板单体1的首端呈尖角。

在上述各实施例的基础上，护板单体1均为石墨护板。石墨护板能够有效支撑坩埚，以对坩埚的提供良好的固定和保护作用。当然，根据需要换单体也可以采用其他能够满足上述需求的、现有技术中常规的材料。

进一步地，护板单体1的内侧面用于与坩埚的外侧面接触贴合。护板单体1的内侧面和坩埚的外侧面相接触并贴在一起，从而对坩埚的支撑更为稳固。

本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (7)

1.一种多晶硅坩埚护板，包括多块护板单体(1)，多块所述护板单体(1)首尾依次连接围成放置坩埚的空间；其特征在于，多块所述护板单体(1)的首端分别设置有卯槽(3)，尾端分别设置有与相邻所述护板单体(1)的所述卯槽(3)对应的榫钩(2)。

2.根据权利要求1所述的多晶硅坩埚护板，其特征在于，包括四块所述护板单体(1)，且四块所述护板单体(1)的形状均相同，以围成用于放置所述坩埚的正方体空间。

3.根据权利要求1所述的多晶硅坩埚护板，其特征在于，所述护板单体(1)的首端开设有向内侧的挂钩状的所述卯槽(3)。

4.根据权利要求3所述的多晶硅坩埚护板，其特征在于，所述卯槽(3)的一侧侧壁为由所述护板单体(1)的外侧向内、与所述护板单体(1)的内侧垂直的垂直壁，所述垂直壁的底端向外呈弧线过渡形成挂钩状的所述卯槽(3)。

5.根据权利要求4所述的多晶硅坩埚护板，其特征在于，所述护板单体(1)的内侧对应所述卯槽(3)的弧线过渡位置呈弧形，以与所述弧线相连呈尖角。

6.根据权利要求1-5任一项所述的多晶硅坩埚护板，其特征在于，所述护板单体(1)均为石墨护板。

7.根据权利要求6所述的多晶硅坩埚护板，其特征在于，所述护板单体(1)的内侧面用于与所述坩埚的外侧面接触贴合。