CN207396342U - 一种具有同位素参比腔的激光气体检测装置 - Google Patents
一种具有同位素参比腔的激光气体检测装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN207396342U CN207396342U CN201721407738.5U CN201721407738U CN207396342U CN 207396342 U CN207396342 U CN 207396342U CN 201721407738 U CN201721407738 U CN 201721407738U CN 207396342 U CN207396342 U CN 207396342U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- laser
- gas
- chamber
- reference chamber
- isotope
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn - After Issue
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 20
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 17
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 10
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 26
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 10
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims description 9
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims description 9
- 239000003292 glue Substances 0.000 claims description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 238000000862 absorption spectrum Methods 0.000 claims description 4
- 239000007799 cork Substances 0.000 claims description 3
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000000741 silica gel Substances 0.000 claims description 3
- 229910002027 silica gel Inorganic materials 0.000 claims description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 claims 2
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 10
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 2
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 2
- 238000000041 tunable diode laser absorption spectroscopy Methods 0.000 description 2
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 description 1
- 210000005056 cell body Anatomy 0.000 description 1
- 238000004868 gas analysis Methods 0.000 description 1
- 230000005622 photoelectricity Effects 0.000 description 1
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种具有同位素参比腔的激光气体检测装置。包括激光发射单元101、探测单元103以及连接气室单元102,激光发射单元101、探测单元103分别位于连接气室单元102两端,激光发射单元101包含激光器5、激光器温控装置6、激光器驱动电路板1、激光器温度控制板3、透镜A11,探测单元103包括光电探测器18、信号处理电路板21、透镜B31,激光发射单元101还包括灌封了被测气体的同位素参比腔A26,探测单元102还包括灌封了被测气体的同位素参比腔B27;激光器5位于同位素参比腔A26内。本实用新型结构简单,可靠性高,当激光器输出波长漂移出一定范围,同位素参比腔稳定的吸收峰为找寻被测气体吸收峰提供了准确的参考,为软件纠偏提供了重要依据。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种激光气体检测装置及方法,具体地说是一种具有同位素参比腔的激光气体检测装置。
背景技术
激光气体分析检测一般采用可调谐半导体激光吸收光谱(TDLAS)技术进行气体浓度检测。当一束具有连续波长的红外光通过某物质,物质分子中某个基团的振动频率或转动频率和红外光的频率一样时,分子就吸收能量发生能级跃迁,该处波长的光会被物质吸收,从而形成该物质分子的特征红外吸收光谱。
激光输出波长与工作电流和工作温度有关。一些现场环境温度变化较大、硬件使用时间过长等会使激光器输出波长发生变化,导致被测气体吸收峰发生漂移。当激光器输出波长漂移出一定范围,仪器无法进行测量。另外,在实际低浓度的测量中,有时无法判断是实际浓度过低还是激光器波长漂移出扫描范围,导致误测。
发明内容
本实用新型针对现有技术存在的问题提供了一种具有同位素参比腔的激光气体检测装置及方法。
本实用新型的技术解决方案是:一种具有同位素参比腔的激光气体检测装置,包括激光发射单元、探测单元以及连接气室单元,激光发射单元、探测单元分别位于连接气室单元两端,所述激光发射单元包含激光器、激光器温控装置、激光器驱动电路板、激光器温度控制板、透镜A,所述探测单元包括光电探测器、信号处理电路板、透镜B,所述激光发射单元还包括灌封了被测气体的同位素参比腔A,所述探测单元还包括灌封了被测气体的同位素参比腔B;所述激光器位于同位素参比腔A内,所述光电探测器位于同位素参比腔B内。
根据本实用新型实施例,所述同位素参比腔A、同位素参比腔B上部分别设置有灌封用通孔,灌封完成后用橡胶软塞和堵头加专用胶水进行封存。
根据本实用新型实施例,所述激光器温度控制板通过专用胶水密封粘接在激光器安装座上,所述激光器驱动电路板通过连接螺钉固定在所述激光器安装座上;所述光电探测器通过螺钉压紧密封圈密封固定在探测器安装座上,所述光电探测器引线由探测器安装座上的通孔穿出与信号处理电路板相连,信号处理电路板通过连接螺钉固定在探测器安装座上。
根据本实用新型实施例,所述连接气室单元包括连接气室、出气口、进气口,连接气室安装在气室固定板上,气室固定板安装在底座上,连接气室两端设有气室密封圈A、气室密封圈B。
根据本实用新型实施例,所述透镜A通过压紧环A螺纹压紧密封圈A方式固定在发射端安装座上;所述透镜B通过压紧环B螺纹压紧密封圈B方式固定在接收端安装座上;其作用为:1.固定透镜;2.密封同位素参比腔。
根据本实用新型实施例,所述连接气室上还设有温控装置,所述温控装置包括加热棒、温度传感器,加热棒通过加热棒压紧片固定在连接气室上,温度传感器通过导热硅胶粘接埋入连接气室。
根据本实用新型实施例,所述同位素参比腔A、同位素参比腔B灌封的为被测气体同位素或与被测气体吸收谱线相邻近的气体;同时,同位素气体具有非吸附性、非腐蚀性,且稳定性好,密封性好,不会对激光发射单元以及探测单元产生影响。
所述的激光器采用VCSEL或者DFB激光器。
所述的激光发射单元的激光器和探测器位于同位素参比腔内,能有效避免环境背景气体干扰,无需吹扫。
一种具有同位素参比腔的激光气体检测方法,当一些场合环境温度变化较大或硬件老化导致激光器输出波长发生漂移,需要进行二次谐波纠偏时,软件会自动寻峰纠偏。
软件自动寻峰纠偏是通过以下步骤实现的:软件在不断输出的三角波内选取一定范围,通过寻找最大值点和最大值点两边找最小值的方法,找到所述范围内的波形,并将所有波形正常的峰根据峰峰值由大到小存入,将峰峰值大于某特定范围的峰判断为有效波形。若有效波形为零,则返回初始状态选取另一范围重新扫描;若只找到同位素吸收峰或同位素与被测气体吸收峰同时找到,则根据同位素稳定的吸收峰和两个吸收峰之间邻近的特定间距范围,可判断激光器输出波长是否发生偏移。若激光器输出波长发生偏移,软件通过纠偏温度补偿,调整激光器波长,将同位素的二次谐波固定在一定的允许范围内,此时待测气体的吸收峰也会纠正到正确范围内。
进一步地,利用同位素参比腔的已知浓度和信号幅值的对应关系,该装置可以进行自标定,无需通入被测气体标气进行标定。
本实用新型装置结构简单,可靠性高,利用同位素气体分子结构与吸收谱线的相似性,即使在低浓度测量中,没有待测气体的吸收峰,同位素气体的吸收峰依然存在,当激光器输出波长漂移出一定范围,同位素参比腔稳定的吸收峰为找寻被测气体吸收峰提供了准确的参考,为软件纠偏提供了重要依据。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图左视图。
图2为本实用新型的结构示意图剖视图。
图3为不加同位素参比腔正常情况下测量波形示意图。
图4为增加同位素参比腔纠偏后测量波形示意图。
图中:1-激光器驱动电路板;2-连接螺钉;3-激光器温度控制板;4-激光器安装座;5-激光器;6-激光器温控装置;7-灌封用通孔;8-橡胶软塞;9-堵头;10-发射端座;11-透镜A;12-密封圈A;13-压紧环A;14-气室密封圈A;15-出气口;16-连接气室;17-进气口;18-光电探测器;19-探测器安装座;20-连接螺钉;21-信号处理电路板;22-加热棒;23-加热棒压紧片;24-气室固定板;25-底座;26-同位素参比腔A;27-同位素参比腔B;28-气室密封圈B;29-压紧环B;30-密封圈B;31-透镜B;32-温度传感器;33-密封圈;101-激光发射单元;102-连接气室单元;103-探测单元;201-未加同位素参比腔正常情况下被测气体二次谐波;202-增加同位素参比腔纠偏后同位素气体二次谐波;203-增加同位素参比腔纠偏后被测气体二次谐波。
具体实施方式
下面对照附图结合实施例对本实用新型作进一步的说明。
参照图1、图2所示,一种具有同位素参比腔的激光气体检测装置,包括激光发射单元101、探测单元103以及连接气室单元102,激光发射单元101、探测单元103分别位于连接气室单元102两端,所述激光发射单元101包含激光器5、激光器温控装置6、激光器驱动电路板1、激光器温度控制板3、透镜A11,所述探测单元103包括光电探测器18、信号处理电路板21、透镜B31,所述激光发射单元101还包括灌封了被测气体的同位素参比腔A26,所述探测单元102还包括灌封了被测气体的同位素参比腔B27;所述激光器5位于同位素参比腔A26内,所述光电探测器18位于同位素参比腔B27内;光电探测器18与同位素参比腔B27之间设有密封圈33。
所述连接气室单元102包括连接气室16、出气口15、进气口17,连接气室16安装在气室固定板24上,气室固定板24安装在底座25上,连接气室16两端设有气室密封圈A14、气室密封圈B28。
所述同位素参比腔A26、同位素参比腔B27上部分别设置有灌封用通孔7,灌封完成后用橡胶软塞8和堵头9加专用胶水进行封存。
所述激光器温度控制板3通过专用胶水密封粘接在激光器安装座4上,所述激光器驱动电路板1通过连接螺钉2固定在所述激光器安装座4上;所述光电探测器18通过螺钉压紧密封圈密封固定在探测器安装座19上,所述光电探测器18引线由探测器安装座19上的通孔穿出与信号处理电路板21相连,信号处理电路板21通过连接螺钉20固定在探测器安装座19上。
所述透镜A11通过压紧环A13螺纹压紧密封圈A12方式固定在发射端安装座10上;所述透镜B31通过压紧环B29螺纹压紧密封圈B30方式固定在接收端安装座上。
所述连接气室16上还设有温控装置,所述温控装置包括加热棒22、温度传感器32,加热棒22通过加热棒压紧片23固定在连接气室16上,温度传感器32通过导热硅胶粘接埋入连接气室16。
激光器5采用VCSEL或者DFB激光器。
当检测装置开始工作时,测量光束穿过同位素参比腔A26、经过透镜A11会聚,穿过被测气体,经过透镜B31会聚、同位素参比腔B27被光电探测器18接收。
由于同位素气体分子结构相似的特性,其吸收谱线与被测气体吸收谱线相邻近,此时会出现相邻的两个二次谐波吸收峰。当一些场合环境温度变化较大或硬件老化导致激光器输出波长发生漂移,两个二次谐波吸收峰也会发生漂移,此时需要进行二次谐波纠偏,软件会自动寻峰纠偏。
如图3所示,201-未加同位素参比腔正常情况下被测气体二次谐波。
如图4所示,202-增加同位素参比腔纠偏后同位素气体二次谐波;203-增加同位素参比腔纠偏后被测气体二次谐波。
软件自动寻峰纠偏是通过以下步骤实现的:软件在不断输出的三角波内选取一定范围,通过寻找最大值点和最大值点两边找最小值的方法,找到所述范围内的波形,并将所有波形正常的峰根据峰峰值由大到小存入,将峰峰值大于某特定范围的峰判断为有效波形。若有效波形为零,则返回初始状态选取另一范围重新扫描;若只找到同位素吸收峰或同位素与被测气体吸收峰同时找到,则根据同位素稳定的吸收峰和两个吸收峰之间邻近的特定间距范围,可判断激光器输出波长是否发生偏移。若激光器输出波长发生偏移,软件通过纠偏温度补偿,调整激光器波长,将同位素的二次谐波固定在一定的允许范围内,此时待测气体的吸收峰也会纠正到正确范围内。
以上列举的仅为本实用新型的具体实施例,显然,本实用新型不限于以上实施例。
Claims (7)
1.一种具有同位素参比腔的激光气体检测装置,包括激光发射单元(101)、探测单元(103)以及连接气室单元(102),激光发射单元(101)、探测单元(103)分别位于连接气室单元(102)两端,所述激光发射单元(101)包含激光器(5)、激光器温控装置(6)、激光器驱动电路板(1)、激光器温度控制板(3)、透镜A(11),所述探测单元(103)包括光电探测器(18)、信号处理电路板(21)、透镜B(31),其特征在于所述激光发射单元(101)还包括灌封了被测气体的同位素参比腔A(26),所述探测单元(103)还包括灌封了被测气体的同位素参比腔B(27);所述激光器(5)位于同位素参比腔A(26)内,所述光电探测器(18)位于同位素参比腔B(27)内。
2.根据权利要求1所述的一种具有同位素参比腔的激光气体检测装置,其特征在于所述同位素参比腔A(26)、同位素参比腔B(27)上部分别设置有灌封用通孔(7),灌封完成后用橡胶软塞(8)和堵头(9)加专用胶水进行封存。
3.根据权利要求1所述的一种具有同位素参比腔的激光气体检测装置,其特征在于所述激光器温度控制板(3)通过专用胶水密封粘接在激光器安装座(4)上,所述激光器驱动电路板(1)通过连接螺钉(2)固定在所述激光器安装座(4)上;所述光电探测器(18)通过螺钉压紧密封圈密封固定在探测器安装座(19)上,所述光电探测器(18)引线由探测器安装座(19)上的通孔穿出与信号处理电路板(21)相连,信号处理电路板(21)通过连接螺钉(20)固定在探测器安装座(19)上。
4.根据权利要求1所述的一种具有同位素参比腔的激光气体检测装置,其特征在于所述连接气室单元(102)包括连接气室(16)、出气口(15)、进气口(17),连接气室(16)安装在气室固定板(24)上,气室固定板(24)安装在底座上,连接气室(16)两端设有气室密封圈A(14)、气室密封圈B(28)。
5.根据权利要求1所述的一种具有同位素参比腔的激光气体检测装置,其特征在于所述透镜A(11)通过压紧环A(13)螺纹压紧密封圈A(12)方式固定在发射端安装座(10)上;所述透镜B(31)通过压紧环B(29)螺纹压紧密封圈B(30)方式固定在接收端安装座上。
6.根据权利要求4所述的一种具有同位素参比腔的激光气体检测装置,其特征在于所述连接气室(16)上还设有温控装置,所述温控装置包括加热棒(22)、温度传感器(32),加热棒(22)通过加热棒压紧片(23)固定在连接气室(16)上,温度传感器(32)通过导热硅胶粘接埋入连接气室(16)。
7.根据权利要求1所述的一种具有同位素参比腔的激光气体检测装置,其特征在于所述同位素参比腔A(26)、同位素参比腔B(27)灌封的为被测气体同位素或与被测气体吸收谱线相邻近的气体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201721407738.5U CN207396342U (zh) | 2017-10-30 | 2017-10-30 | 一种具有同位素参比腔的激光气体检测装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201721407738.5U CN207396342U (zh) | 2017-10-30 | 2017-10-30 | 一种具有同位素参比腔的激光气体检测装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN207396342U true CN207396342U (zh) | 2018-05-22 |
Family
ID=62326878
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201721407738.5U Withdrawn - After Issue CN207396342U (zh) | 2017-10-30 | 2017-10-30 | 一种具有同位素参比腔的激光气体检测装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN207396342U (zh) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107607488A (zh) * | 2017-10-30 | 2018-01-19 | 武汉市安科睿特科技有限公司 | 一种具有同位素参比腔的激光气体检测装置及方法 |
CN109813679A (zh) * | 2019-01-31 | 2019-05-28 | 山东微感光电子有限公司 | 基于垂直腔面发射激光器的甲烷检测模块设计方法及装置 |
CN110261328A (zh) * | 2019-07-19 | 2019-09-20 | 宁波海尔欣光电科技有限公司 | 校准激光波长的方法及装置、气体浓度分析仪 |
-
2017
- 2017-10-30 CN CN201721407738.5U patent/CN207396342U/zh not_active Withdrawn - After Issue
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107607488A (zh) * | 2017-10-30 | 2018-01-19 | 武汉市安科睿特科技有限公司 | 一种具有同位素参比腔的激光气体检测装置及方法 |
CN107607488B (zh) * | 2017-10-30 | 2024-03-19 | 武汉市安科睿特科技有限公司 | 一种具有同位素参比腔的激光气体检测装置及方法 |
CN109813679A (zh) * | 2019-01-31 | 2019-05-28 | 山东微感光电子有限公司 | 基于垂直腔面发射激光器的甲烷检测模块设计方法及装置 |
CN109813679B (zh) * | 2019-01-31 | 2022-01-11 | 山东微感光电子有限公司 | 基于垂直腔面发射激光器的甲烷检测模块设计方法及装置 |
CN110261328A (zh) * | 2019-07-19 | 2019-09-20 | 宁波海尔欣光电科技有限公司 | 校准激光波长的方法及装置、气体浓度分析仪 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN207396342U (zh) | 一种具有同位素参比腔的激光气体检测装置 | |
CN107014774B (zh) | 一种并联双气室痕量气体分析系统及气体浓度计算方法 | |
US7957001B2 (en) | Wavelength-modulation spectroscopy method and apparatus | |
US9234905B2 (en) | Method of calibrating and calibration apparatus for a moisture concentration measurement apparatus | |
US20070034792A1 (en) | Method and apparatus for detecting gas concentration with infrared absorption characteristics | |
CN106033054B (zh) | 一种激光温湿度测量装置及方法 | |
CN107328738B (zh) | 一种串联双气室痕量气体分析系统及气体浓度计算方法 | |
WO1995025272A1 (en) | Infrared method and apparatus for measuring gas concentration including electronic calibration | |
CN109917153B (zh) | 加速度计参数标定装置及使用其的参数标定方法 | |
CA2018568A1 (en) | Non-dispersive infrared gas analyzer system | |
CN104764719B (zh) | 一种基于吸收峰锁定模式的内燃机排放气体成分测量装置 | |
US5850354A (en) | Calibration method for NDIR equipment and calibration apparatus | |
CN109813679B (zh) | 基于垂直腔面发射激光器的甲烷检测模块设计方法及装置 | |
CN108507966A (zh) | 一种红外光谱气体传感器及数据处理方法 | |
CN104111162A (zh) | 待测发光元件的光检测装置及其方法 | |
US5739535A (en) | Optical gas analyzer | |
KR20230095781A (ko) | 다중 대기 오염 가스 동시 측정장치 | |
CN107607488A (zh) | 一种具有同位素参比腔的激光气体检测装置及方法 | |
CN104614338A (zh) | 红外气体分析设备及其分析方法 | |
CN106768351B (zh) | 红外探测器单模多变的响应度测试系统和方法 | |
CN111678886A (zh) | 一种tdlas测定sf6设备中湿度的标定和验证方法 | |
CN108072623A (zh) | 一种二氧化硫含量化学传感器和光谱仪相互校验的方法 | |
CN104062251B (zh) | 一种采用空间反射结构的光纤传输式长光程激光气体传感器 | |
CN115993346A (zh) | 基于tdlas及温度补偿的大气质量监测方法及系统 | |
CN113281292B (zh) | 一种气体泄漏检测装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant | ||
AV01 | Patent right actively abandoned |
Granted publication date: 20180522 Effective date of abandoning: 20240319 |
|
AV01 | Patent right actively abandoned |
Granted publication date: 20180522 Effective date of abandoning: 20240319 |
|
AV01 | Patent right actively abandoned | ||
AV01 | Patent right actively abandoned |