CN207373488U - 一种用于单晶硅棒切片的夹具工装 - Google Patents

一种用于单晶硅棒切片的夹具工装 Download PDF

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付涛
段景波
解培玉
崔陈晨
张大基
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Abstract

本实用新型公开了一种用于单晶硅棒切片的夹具工装,其特征在于:包括底架、固定安装于底架中间用于承载单晶硅棒的中间支撑板、所述中间支撑板的两侧设有可活动的用于夹紧单晶硅棒的夹板、贯穿中间支撑板和夹板用于带动夹板活动的中间丝杠、中间丝杠一端与手轮连接,所述中间支撑板和夹板上设有切割线槽。本实用新型的有益效果是实现了单晶硅棒切片加工的工作效率,且结构简单。

Description

一种用于单晶硅棒切片的夹具工装
技术领域
本实用新型涉及多晶硅切割技术领域,具体说是种用于单晶硅棒切片的夹具工装。
背景技术
目前,多晶硅切割机对晶硅切割通常是切割成段,通过V型或类似结构的夹爪进行夹持后辅助晶托设备完成切割。
中国专利文献中,发明名称为“一种单晶硅截断机”、公开号为CN205522034U的实用新型专利公开了一种技术方案,公开了单棒夹具组件,包括V型底座、安装在V型底座上的四组浮动支撑单元、安装在V型底座上且与直线导轨上的滑块固定连接的连接板、安装至V型底座上的转轴固定座、可转动安装在转轴固定座上的转轴、安装在转轴的一端并与晶托框架上的齿条相配合的齿轮、以及安装在转轴另一端的手轮。上述技术方案能够实现较长硅棒切割多段的需求,但是上述方案无法实现晶硅段的切片,且结构复杂。
实用新型内容
为了解决上述技术问题,本实用新型提供一种用于单晶硅棒切片的夹具工装,目的是利用多晶截断机实现单晶硅棒高效的切片。
为达到上述目的,本发明的技术方案如下:
一种用于单晶硅棒切片的夹具工装,其特征在于:包括底架、固定安装于底架中间用于承载单晶硅棒的中间支撑板、所述中间支撑板的两侧设有可活动的用于夹紧单晶硅棒的夹板、贯穿中间支撑板和夹板用于带动夹板活动的中间丝杠、中间丝杠一端与手轮连接,所述中间支撑板和夹板上设有切割线槽。
和现有技术相比,本方案基于单晶硅棒切割的构思,设计了单晶硅棒切片夹具。通过中间支撑板和夹板夹持固定单晶硅棒,摇动手轮通过中间丝杠驱动夹板相向运动至两夹板开口最大,将单晶硅棒放入中间支撑板上,摇动手轮驱动夹板将单晶硅棒夹紧;中间支撑板和夹板上设有容纳切割线的切割线槽,防止切切线切到板上造成断线。
基于上述方案,本发明还做出了如下改进:
所述夹板上设有数组用于进一步夹紧单晶硅棒的弹簧顶头,弹簧顶头的组数≥切割线槽数量+1。本改进方案中,针对端面不规则形状的单晶硅棒,在切割过程中,夹板和中间支撑板难以实现单晶硅棒的夹紧,本方案设计了弹簧顶头,可实现不规则形状端面单晶硅棒的夹紧;此外,为了保证切片后的晶硅不脱落,设计了数组弹簧顶头,保证每个切片都能被夹紧。
所述底架上设有锁紧顶头。本改进方案是为了实现夹具在晶托上的固定,锁紧顶头将夹具顶在晶托上,保证夹具位置不动。
所述中间丝杠的两侧还设有用于导向定位支撑板滑动的导向轴。本改进方案是为了实现夹板的顺利滑动,通过导向轴的定位、导向作用,保证夹板受力均匀、不偏移。
所述中间丝杠和导向轴外罩有弹性护罩。本改进方案中为了防止切割液喷淋到中间丝杠和导向轴上,设置了弹性保护罩,保证夹板在活动中,弹性护罩相应拉伸或压缩,实现保护作用。
所述底架上设有滚轮和导轨。本改进方案中夹具通过导轨装在晶托上面,可沿切割机晶托上的轨道滑动,节省劳动量;夹具可沿导轨滑动调整夹具位置。
附图说明
图1本实用新型的夹具工装正视图;
图2本实用新型的夹具工装俯视图。
图中,1、底架,2、中间支撑板,3、夹板,4、中间丝杠,5、手轮,6、切割线槽,7、弹簧顶头,8、导向轴,9、锁紧顶头,10、弹性护罩,11、滚轮。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的具体实施作进一步描述。
如图1、2所示,一种用于单晶硅棒切片的夹具工装,包括底架1、固定安装于底架1中间用于承载单晶硅棒的中间支撑板2、中间支撑板2的两侧设有可活动的用于夹紧单晶硅棒的夹板、贯穿中间支撑板2和夹板3用于带动夹板3活动的中间丝杠4、中间丝杠4一端与手轮5连接,所述中间支撑板2和夹板3上设有切割线槽6。夹板3上设有数组用于进一步夹紧单晶硅棒的弹簧顶头7,弹簧顶头7的组数≥切割线槽数量+1。中间丝杠4的两侧还设有用于导向定位支撑板2滑动的导向轴8。中间丝杠4和导向轴8外罩有弹性护罩10。底架1上设有滚轮11和导轨,将导轨放置在晶托上,夹具可沿导轨滑动以便调整切割位置。底架1上设有与晶托配合使用的锁紧顶头9。
上述夹具的使用方法为:将夹具放在晶托上,上料时硅棒先放置于中间支撑板上,摇动手轮中间丝杠转动带动两侧夹板同时往中间支撑板移动,两侧夹板上弹簧顶头夹住,将夹具推动至切割位置,通过锁紧顶头顶住晶托,以便切割过程中夹具不发生位移,切割线通过夹板与中间支撑板上均留有的切割线槽完成切割。

Claims (6)

1.一种用于单晶硅棒切片的夹具工装,其特征在于:包括底架、固定安装于底架中间用于承载单晶硅棒的中间支撑板、所述中间支撑板的两侧设有可活动的用于夹紧单晶硅棒的夹板、贯穿中间支撑板和夹板用于带动夹板活动的中间丝杠、中间丝杠一端与手轮连接,所述中间支撑板和夹板上设有切割线槽。
2.根据权利要求1所述的夹具工装,其特征在于:所述夹板上设有数组用于进一步夹紧单晶硅棒的弹簧顶头,弹簧顶头的组数≥切割线槽数量+1。
3.根据权利要求1或2所述的夹具工装,其特征在于:所述底架上设有锁紧顶头。
4.根据权利要求1或2所述的夹具工装,其特征在于:所述中间丝杠的两侧还设有用于导向定位支撑板滑动的导向轴。
5.根据权利要求4所述的夹具工装,其特征在于:所述中间丝杠和导向轴外罩有弹性护罩。
6.根据权利要求1或2所述的夹具工装,其特征在于:所述底架上设有滚轮和导轨。
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