CN207320081U - 一种带有压力传感器的晶圆末端执行器 - Google Patents
一种带有压力传感器的晶圆末端执行器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN207320081U CN207320081U CN201721169575.1U CN201721169575U CN207320081U CN 207320081 U CN207320081 U CN 207320081U CN 201721169575 U CN201721169575 U CN 201721169575U CN 207320081 U CN207320081 U CN 207320081U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- wafer
- pressure sensor
- plate body
- end actuator
- cable
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
一种带有压力传感器的晶圆末端执行器，包括板体，所述板体呈叉形，板体上设有一中心定位孔，一减重孔，三个晶圆承载圆台，板体底部设有三条线缆通道；所述三个晶圆承载圆台，内部均设有压力传感器；所述压力传感器顶部均设耐高温橡胶圆台形垫圈；所述耐高温橡胶圆台形垫圈直接接触承载晶圆；所述三个压力传感器的线缆通过三条线缆通道与控制器连接；本实用新型所述的一种带有压力传感器的晶圆末端执行器，可以实时分析压力数据，判断晶圆在传输时的状态，以及时发现和修正机械手臂的运动参数，以减少晶圆传输故障，降低晶圆破损。
Description
技术领域
本实用新型涉及集成电路加工技术领域，尤其涉及集成电路加工处理过程中的晶圆传输承载装置。
背景技术
集成电路技术对现代社会科技的发展尤其重要，应用十分广泛。晶圆作为当前集成电路的基础半成品，晶圆的加工处理的好坏快慢也是影响集成电路发展重要的因素之一。在晶圆的加工过程中，需要机械手臂传输晶圆，机械手臂又是通过晶圆末端执行器获取晶圆。当前，晶圆末端执行器本身并不具备侦测晶圆在传输过程中的状态，而是通过外部光电传感器进行侦测判断，此种侦测方法可有效侦测判断晶圆末端执行器承载晶圆时，晶圆的位置和物理状态，并不能有效侦测晶圆在传输过程中的偏移和脱离等状态，不能以及时发现故障，造成晶圆破损。为此，本发明特设计了一种带有压力传感器的晶圆末端执行器，可以实时分析压力数据，判断晶圆在传输时的状态，以及时发现和修正机械手臂的运动参数，以减少晶圆传输故障，降低晶圆破损。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种带有压力传感器的晶圆末端执行器，可以实时分析压力数据，判断晶圆在传输时的状态，以及时发现和修正机械手臂的运动参数，以减少晶圆传输故障，降低晶圆破损;
为实现上述目的，本实用新型所提供的技术方案是：一种带有压力传感器的晶圆末端执行器，包括板体，所述板体呈叉形，板体上设有一中心定位孔，一减重孔，三个晶圆承载圆台，板体底部设有三条线缆通道；所述三个晶圆承载圆台，内部均设有压力传感器；所述压力传感器顶部均设耐高温橡胶圆台形垫圈；所述耐高温橡胶圆台形垫圈直接接触承载晶圆；所述三个压力传感器的线缆通过三条线缆通道与控制器连接;
相较于当前的晶圆末端执行器，本实用新型的有益效果是：本发明所述的一种带有压力传感器的晶圆末端执行器，改善了在现有技术中，晶圆传输过程中的侦测方法，晶圆末端执行器本身并不具备侦测晶圆在传输过程中的状态，而是通过外部光电传感器进行侦测判断，此种侦测方法可有效侦测判断晶圆末端执行器承载晶圆时，晶圆的位置和物理状态，并不能有效侦测晶圆在传输过程中的偏移和脱离等状态，不能以及时发现故障，造成晶圆破损，本发明所述的一种带有压力传感器的晶圆末端执行器，可以实时分析压力数据，判断晶圆在传输时的状态，以及时发现和修正机械手臂的运动参数，以减少晶圆传输故障，降低晶圆破损。
附图说明
图1为带有压力传感器的晶圆末端执行器示意图；
图2为带有压力传感器的晶圆末端执行器底面示意图；
图3为晶圆承载圆台的剖面示意图;
1. 板体；2. 末端执行器板体中心定位孔；3. 减重孔；4. 第一晶圆承载圆台；5.第二晶圆承载圆台；6. 第三晶圆承载圆台；7. 板体安装孔；8. 压力传感器线缆通道；9.压力传感器；10.圆台形耐高温橡胶垫圈；11. 压力传感器线缆；12. 压力传感器固定螺钉。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步说明;
本实用新型较佳实施例为：参见附图1、附图2、附图3。本实例一种带有压力传感器的晶圆末端执行器，包括板体1，所述板体1呈叉形，板体1上设有一中心定位孔2，一减重孔3，三个晶圆承载圆台，板体底部设有三条线缆通道8；所述三个晶圆承载圆台分别为第一晶圆承载圆台4，第二晶圆承载圆台5，第三晶圆承载圆台6；所述三个晶圆承载圆台，内部均设有压力传感器9，所述压力传感器9顶部均设耐高温橡胶圆台形垫圈10，所述耐高温橡胶圆台形垫圈10直接接触承载晶圆 ，所述三个压力传感器9的线缆11通过三条线缆通道8与控制器连接；
进一步地，所述中心定位孔2是在三个晶圆承载圆台所形成的圆的圆心上，也是所承载晶圆的中心位置，三个晶圆承载圆台距离中心定位孔2的距离相等；
进一步地，减重孔3和板体1的叉形，是为了减轻板体1远端的重量，减小板体1因重力影响的下垂倾角；
进一步地，压力传感器9通过固定螺钉12安装固定到板体1上的安装位置，耐高温橡胶圆台形垫圈10固定在压力传感器9的顶面，且不与板体1相接触，使三个压力传感器承受晶圆的重量，以测定压力；
进一步地，三个压力传感器通过线缆和控制器连接，以实时反馈压力测定数据；
进一步地，当晶圆处在板体1的设定承载位置时，三个压力传感器的压力数据应相近，其中第一晶圆承载圆台4和第二晶圆承载圆台5的压力传感器的测定数据应相同，第三晶圆承载圆台6的压力传感器的测定数据因晶圆缺口的关系而稍微变小，但几近相同，控制器可以根据三个压力传感器的测定数据建模分心来判断晶圆是否发生偏移，向哪个方位偏移，以及在机械手臂快速运动时，晶圆是否脱离板体1等，从而可以设定最佳运动速度，及时修正机械手臂的运动参数，以减少晶圆传输故障，降低晶圆破损;
以上所述实例只为本实用新型之较佳实例，并非以此限制本实用新型的实施范围。故任何在上述实施方式的精神和原则内所做的修改、等同替换和改进等，均应包含在该实用新型的保护范围内。
Claims (4)
1.一种带有压力传感器的晶圆末端执行器，包括板体，所述板体呈叉形，板体上设有一中心定位孔，一减重孔，三个晶圆承载圆台，板体底部设有三条线缆通道；所述三个晶圆承载圆台，内部均设有压力传感器；所述压力传感器顶部均设耐高温橡胶圆台形垫圈；所述耐高温橡胶圆台形垫圈直接接触承载晶圆；所述三个压力传感器的线缆通过三条线缆通道与控制器连接。
2.根据权利要求1所述的一种带有压力传感器的晶圆末端执行器，其特征是：所述板体上设有三个晶圆承载圆台，且三个晶圆承载圆台，内部均设有压力传感器。
3.根据权利要求1所述的一种带有压力传感器的晶圆末端执行器，其特征是：所述压力传感器顶部均设耐高温橡胶圆台形垫圈，且耐高温橡胶圆台形垫圈直接接触承载晶圆。
4.根据权利要求1所述的一种带有压力传感器的晶圆末端执行器，其特征是：所述板体底部设有三条线缆通道，三个压力传感器的线缆穿过三条线缆通道与控制器连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201721169575.1U CN207320081U (zh) | 2017-09-13 | 2017-09-13 | 一种带有压力传感器的晶圆末端执行器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201721169575.1U CN207320081U (zh) | 2017-09-13 | 2017-09-13 | 一种带有压力传感器的晶圆末端执行器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN207320081U true CN207320081U (zh) | 2018-05-04 |
Family
ID=62387183
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201721169575.1U Active CN207320081U (zh) | 2017-09-13 | 2017-09-13 | 一种带有压力传感器的晶圆末端执行器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN207320081U (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111933564A (zh) * | 2020-09-27 | 2020-11-13 | 北京京仪自动化装备技术有限公司 | 传送机械手 |
| CN112216633A (zh) * | 2020-09-27 | 2021-01-12 | 北京京仪自动化装备技术有限公司 | 用于传送机械手的晶圆检测系统及方法 |
| WO2022010554A1 (en) * | 2020-07-09 | 2022-01-13 | Applied Materials, Inc. | Transfer carousel with detachable chucks |
-
2017
- 2017-09-13 CN CN201721169575.1U patent/CN207320081U/zh active Active
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2022010554A1 (en) * | 2020-07-09 | 2022-01-13 | Applied Materials, Inc. | Transfer carousel with detachable chucks |
| CN111933564A (zh) * | 2020-09-27 | 2020-11-13 | 北京京仪自动化装备技术有限公司 | 传送机械手 |
| CN112216633A (zh) * | 2020-09-27 | 2021-01-12 | 北京京仪自动化装备技术有限公司 | 用于传送机械手的晶圆检测系统及方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN207320081U (zh) | 一种带有压力传感器的晶圆末端执行器 | |
| US11476138B2 (en) | Diagnostic system of substrate transfer hand | |
| KR20180009059A (ko) | 반도체 공장 자동화 시스템의 파라미터 모니터링 시스템 및 방법 | |
| ATE465851T1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur handhabung von teilen | |
| CN107560741B (zh) | 一种盾构滚刀温度检测装置及方法 | |
| CN111645064A (zh) | 机械手位置校准装置及方法、机械手控制系统 | |
| CN107170701B (zh) | 机械手、半导体加工设备及机械手工作状态的检测方法 | |
| CN105429302B (zh) | 输电线路实时风偏在线检测系统 | |
| KR20100137429A (ko) | 입출력 및 챔버 슬릿 밸브를 위한 일체형 로컬 기판 중심 탐지장치를 위한 방법 및 장치 | |
| CN105058414A (zh) | 具备故障检测和参数校正功能的平面扭簧装置 | |
| CN211576413U (zh) | 一种可量值溯源的在线智能双传感器温度监测装置 | |
| CN109138990A (zh) | 一种油田带压作业万向随动冗余智能接箍探测装置 | |
| US11285621B2 (en) | Compliant robot end-effector and method of controlling the same | |
| CN110160679B (zh) | 一种铁路道岔密贴力检测方法及系统 | |
| CN208443357U (zh) | 一种用于tbm的撑靴偏转的检测装置 | |
| CN206563555U (zh) | 一种聚氨酯保温层测厚仪 | |
| CN108037134B (zh) | 一种核电厂bonna管道检测系统及方法 | |
| CN214930219U (zh) | 一种足式机器人关节力矩检测机构及足式机器人 | |
| US20210129337A1 (en) | End effector bump detector | |
| CN107449525A (zh) | 一种超温警示盒 | |
| CN203398091U (zh) | 一种硅片生产中用于取片的机械手 | |
| CN107861106A (zh) | 自动校正毫米波雷达纵向偏差的智能自行车及校准方法 | |
| CN204408010U (zh) | 电站设备的就地整合型健康诊断管理装置 | |
| CN109545722B (zh) | 半导体生产系统及其量测系统和量测设备 | |
| CN209579586U (zh) | 协作机器人装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |