CN207217214U - 一种小弧源磁路结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种小弧源磁路结构，包括磁铁组件，主轴、密封组件、同步轮、平键、定位套环、主轴高度调节机构；磁铁组件的下方连接一主轴；主轴穿入密封组件；同步轮；其特征在于，主轴上设置第一键槽；第一键槽内设置一平键；平键嵌入到第一键槽和同步轮上开设的第二键槽组成的凹槽中；同步轮的下方设置一定位套环；在定位套环的下方设置一主轴高度调节机构；通过在主轴上设置一主轴高度调节机构，进行在磁路结构的远、近状态下的调节，在不影响小弧源磁路结构的转动的状况下，形成小弧源磁路结构高低调节，克服了单一的固定式的磁路结构无法调节磁路的远、近方向的技术问题，满足了镀膜产品对于磁路结构的要求。

Description

一种小弧源磁路结构

技术领域

本实用新型涉及磁路结构尤其涉及一种小弧源磁路结构。

背景技术

现在的多弧离子镀中多采用小弧源作为核心镀膜装置，这类型的小弧源一般都采用固定位置的磁路结构，这种的磁路结构无法调节高度也无法旋转，不能满足镀膜产品高均匀性的要求。

实用新型内容

本实用新型的目的是根据上述现有技术的不足之处，本实用新型目的实现一种小弧源磁路结构，包括磁铁组件，主轴、密封组件、同步轮、平键、定位套环、主轴高度调节机构；所述的磁铁组件的下方连接一主轴；所述的主轴穿入密封组件；同步轮；其特征在于，所述的主轴上设置第一键槽；所述的第一键槽内设置一平键；所述的平键嵌入到第一键槽和同步轮上开设的第二键槽组成的凹槽中；所述的同步轮与主轴为滑动连接；所述的同步轮通过驱动力，驱动所述的主轴带动所述的磁铁组件旋转；所述的同步轮的下方设置一定位套环；在定位套环的下方设置一主轴高度调节机构。

进一步，所述的主轴高度调节机构还包括底座、调节长螺栓、内卡套、调节环、紧固螺栓；所述的主轴高度调节机构的底座上开设一圆孔；在圆孔内将内卡套套在主轴上；在内卡套的外侧套入第一轴承；并在内卡套的下方设置调节环；在调节环的中心位置穿入紧固螺栓，并拧入开设在主轴上的螺纹孔中；在调节环的中心对称位置穿入调节长螺栓；并拧入设置在内卡套螺纹通孔中。

进一步，所述的底座上以120°角设置3根立柱；立柱与底座为螺纹连接结构；在立柱的上方设置螺纹孔，螺栓穿过密封组件的下法兰以及垫层与立柱螺纹连接。

进一步，所述的密封组件，包括上法兰、下法兰、第二轴承、第三轴承、第一间隔环、第二间隔环；在上法兰、下法兰上个开设一个轴承孔；将第二轴承、第三轴承分别置于轴承孔中；在第二轴承的下方设置第二间隔环；在第二轴承的上方设置凸块；在凸块的上方放置填料；在填料的上方设置第一间隔环，在第一间隔环的上方设置第三轴承；主轴从上至下以此穿过第三轴承、第一间隔环、填料、第二轴承、凸块、第二间隔环；第二间隔环设置在下法兰下方的同步轮上；间隔第二轴承和同步轮。

进一步，所述的磁铁组件包括圆板、磁铁；在圆板上环形分布若干个磁铁。

进一步，所述的第一键槽的长度大于平键的长度。

进一步，在所述的同步轮上正对第一键槽的方向上设置一定位螺栓。

本实用新型的技术效果在于，通过在主轴上设置一主轴高度调节机构，进行磁路结构的远、近状态下的调节，在不影响小弧源磁路结构的转动的状况下，形成小弧源磁路结构高低调节，克服了单一的固定式的磁路结构无法调节磁路的技术问题，本实用新型中的磁路磁路结构既可以调节高度也可以旋转，满足了镀膜产品对于磁路结构的要求。

附图说明

图1是本实用新型的示意图。

图2是本实用新型的主视图。

图3是本实用新型的仰视图。

图4是本实用新型的在伸出状态下的全剖视图。

图5是本实用新型的在缩回状态下的全剖视图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

结合附图1、附图2、附图3、附图4、附图5所示，本实施例公开了一种小弧源磁路结构，包括磁铁组件1，主轴2、密封组件3、同步轮10、平键4、定位套环6、主轴高度调节机构100；在本实施例中，磁铁组件1的下方连接一主轴2；主轴2穿入密封组件3；同步轮10在主轴2上设置第一键槽21；第一键槽21内设置一平键4；平键4嵌入到第一键槽21和同步轮10上开设的第二键槽22组成的凹槽中；同步轮10与主轴2为滑动连接；同步轮10通过驱动力，这里所述的驱动力为电机驱动；电机可以是异步电机，同步电机、伺服电机中的任意一种；利用电机驱动主轴2带动磁铁组件1旋转；同时，在同步轮10 的下方设置一定位套环6；在定位套环6的下方设置一主轴高度调节机构100。上述的结构是主要解决单一的固定式的磁路结构无法调节磁路的技术问题；通过电机驱动同步轮10 驱动磁铁组件1旋转，再利用在主轴2的端部设置主轴高度调节机构100；进行整体设置在主轴2上的磁铁组件1进行伸出、缩回的状态的操作；实现了磁路结构既可以调节高度也可以旋转的要求，从而满足了镀膜产品对于磁路结构的要求。

在实施例中，结合附图4、附图5所示，在附图4中所显示的是主轴高度调节机构100在伸出的状态；在附图5中所显示的是主轴高度调节机构100在缩回的状态，在主轴高度调节机构100还包括底座14、调节长螺栓8、内卡套11、调节环12、紧固螺栓13；在主轴高度调节机构100中的底座14上开设一圆孔；在圆孔内将内卡套11套在主轴2上；在内卡套11的外侧套入第一轴承7；并在内卡套11的下方设置调节环12；在调节环12的中心位置穿入紧固螺栓13，并拧入开设在主轴2上的螺纹孔中；在调节环12的中心对称位置穿入调节长螺栓8；并拧入设置在内卡套11上的螺纹通孔中。本实施例中的主轴高度调节机构100，利用调节长螺栓8以及调节环12之间的设置，拉动主轴2向下端进行移动，由于主轴2上设置第一键槽21的长度要大于平键4的长度，使得主轴2可以向下的移动，由于磁铁组件1的下方连接一主轴2，这样可以是磁铁组件1进行伸出和缩回的操作。从整体的实施效果上上形成了磁铁组件1的调节。

为了进一步实现实施例中的技术效果，结合附图2.附图3，所示，在底座14上以120°角设置3根立柱15；立柱15与底座14为螺纹连接结构；在立柱15的上方设置螺纹孔 151，螺栓17穿过密封组件3的下法兰31以及垫层32与立柱15螺纹连接。这样立柱15 形成了支撑作用，支撑了密封组件3与主轴高度调节机构100之间的支撑作用，为主轴2 的调节起到了支撑作用。

为了实现小弧源磁路结构的最终调节功能，在密封组件3，包括上法兰33、下法兰31、第二轴承34、第三轴承35、第一间隔环36、第二间隔环37；在上法兰33、下法兰33上个开设一个轴承孔；将第二轴承34、第三轴承35分别置于轴承孔中；在第二轴承34的下方设置第二间隔环37；在第二轴承34的上方设置凸块38；在凸块38的上方放置填料39；在填料39的上方设置第一间隔环36，在第一间隔环36的上方设置第三轴承35；主轴2 从上至下以此穿过第三轴承35、第一间隔环36、填料39、第二轴承34、凸块38、第二间隔环37；第二间隔环37设置在下法兰31下方的同步轮10上；间隔第二轴承24和同步轮 10。

为了实现小弧源磁路结构的技术效果，结合附图1、附图2所示，在所述的磁铁组件1包括圆板101、磁铁102；在圆板101上环形分布若干个磁铁102。

结合附图4、附图5所示，为了固定同步轮10与主轴2之间的相对位置，在同步轮 10上正对第一键槽21的方向上设置一定位螺栓5。

作为本实用新型的优选的实施例，对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型，也是本实用新型的保护范围。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (7)

1.一种小弧源磁路结构，包括磁铁组件，主轴、密封组件、同步轮、平键、定位套环、主轴高度调节机构；所述的磁铁组件的下方连接一主轴；所述的主轴穿入密封组件；同步轮；其特征在于，所述的主轴上设置第一键槽；所述的第一键槽内设置一平键；所述的平键嵌入到第一键槽和同步轮上开设的第二键槽组成的凹槽中；所述的同步轮与主轴为滑动连接；所述的同步轮通过驱动力，驱动所述的主轴带动所述的磁铁组件旋转；所述的同步轮的下方设置一定位套环；在定位套环的下方设置一主轴高度调节机构。

2.如权利要求1所述的一种小弧源磁路结构，其特征在于，所述的主轴高度调节机构还包括底座、调节长螺栓、内卡套、调节环、紧固螺栓；所述的主轴高度调节机构的底座上开设一圆孔；在圆孔内将内卡套套在主轴上；在内卡套的外侧套入第一轴承；并在内卡套的下方设置调节环；在调节环的中心位置穿入紧固螺栓，并拧入开设在主轴上的螺纹孔中；在调节环的中心对称位置穿入调节长螺栓；并拧入设置在内卡套上的螺纹通孔中。

3.如权利要求2所述的一种小弧源磁路结构，其特征在于，所述的底座上以120°角设置3根立柱；立柱与底座为螺纹连接结构；在立柱的上方设置螺纹孔，螺栓穿过密封组件的下法兰以及垫层与立柱螺纹连接。

4.如权利要求1所述的一种小弧源磁路结构，其特征在于，所述的密封组件，包括上法兰、下法兰、第二轴承、第三轴承、第一间隔环、第二间隔环、填料；在上法兰、下法兰上个开设一个轴承孔；将第二轴承、第三轴承分别置于轴承孔中；在第二轴承的下方设置第二间隔环；在第二轴承的上方设置凸块；在凸块的上方放置填料；在填料的上方设置第一间隔环，在第一间隔环的上方设置第三轴承；主轴从上至下依次穿过第三轴承、第一间隔环、填料、第二轴承、凸块、第二间隔环；第二间隔环设置在下法兰下方的同步轮上；间隔第二轴承和同步轮。

5.如权利要求1所述的一种小弧源磁路结构，其特征在于，所述的磁铁组件包括圆板、磁铁；在圆板上环形分布若干个磁铁。

6.如权利要求1所述的一种小弧源磁路结构，其特征在于，所述的第一键槽的长度大于平键的长度。

7.如权利要求1所述的一种小弧源磁路结构，其特征在于，在所述的同步轮上正对第一键槽的方向上设置一定位螺栓。