CN207146414U - 硅烷废气焚烧净化系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅烷废气焚烧净化系统，它包括依次连接的焚烧炉(2)、多管除尘器(3)、布袋除尘器(4)、风机(5)和烟囱(6)。焚烧炉(2)前端安装有燃烧器(1)。本实用新型结构设计合理，安全可靠，硅烷废气处理效率高，无二次污染，既经济又环保。

Description

硅烷废气焚烧净化系统

技术领域

本实用新型涉及一种硅烷废气焚烧系统，具体的说是一种用于电池、微电子、光电子工业的硅烷废气处理净化系统。

背景技术

硅烷作为一种提供硅组分的气体源，可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物。因其高纯度和能实现精细控制，已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体。硅烷广泛应用于微电子、光电子工业，用于制造太阳电池、平板显示器、玻璃和钢铁镀层，并且是迄今世界上唯一的大规模生产粒状高纯度硅的中间产物。硅烷的高科技应用还在不断出现，包括用于制造先进陶瓷、复合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等，成为许多新技术、新材料、新器件的基础。硅烷又以它特有的自燃、爆炸性而著称。硅烷有非常宽的自发着火范围和极强的燃烧能量，决定了它是一种高危险性的气体。

实用新型内容

实用新型目的：本实用新型的目的是提供一种硅烷废气焚烧净化系统，结构设计合理，安全可靠，硅烷废气处理效率高，无二次污染，既经济又环保。

技术方案：为了实现以上目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种硅烷废气焚烧净化系统，它包括焚烧炉、多管除尘器、布袋除尘器、风机和烟囱。

作为优选方案，以上所述的硅烷废气焚烧净化系统，所述的焚烧炉尾部与多管除尘器进气口相连，多管除尘器出气口与布袋除尘器进气口相连，布袋除尘器出气口与风机进风口相连，风机出风口与烟囱相连。

作为优选方案，以上所述的硅烷废气焚烧净化系统，所述的焚烧炉前端中心轴线上水平安装燃烧器，所述的燃烧器上设有硅烷气入口，助燃煤气入口，助燃风入口和惰性气入口；突发状况下用惰性气进行吹扫，更安全可靠。

作为优选方案，以上所述的硅烷废气焚烧净化系统，所述的焚烧炉为卧式双炉壳结构，由内炉壳和外炉壳嵌套构成内炉壳内部的燃烧室、外炉壳后端部的混合室和内炉壳和外炉壳之间的夹套层。所述的外炉壳前端设有冷却风入口。夹套层及夹套层内的冷却风同时冷却内炉壳和外炉壳，取代耐火材料和保温材料，降低成本。另外，没有耐火材料，启炉停炉的时候无需温度保护，可急停急启，便于应对突发状况，增加操作灵活度。燃烧室可保证硅烷废气焚烧完全，焚烧产生的烟气进入混合室进行冷却，降低到适宜进入多管除尘器的温度。

作为优选方案，以上所述的硅烷废气焚烧净化系统，所述的内炉壳和外炉壳前端面板重合且同中心轴。内炉壳和外炉壳的长度和半径可根据硅烷废气量、助燃煤气量和停留时间计算。

作为优选方案，以上所述的硅烷废气焚烧净化系统，所述的内炉壳和外炉壳之间设有若干旋流片，旋流片位于内炉壳尾部，圆周均布。旋流片不仅起到支撑内炉壳和外炉壳的作用，也使冷却风以某一角度旋转进入混合室，增强混合效果，提高冷却效率，有效降低焚烧后烟气的温度。

本实用新型提供的的硅烷废气焚烧净化系统，实际操作原理为：

硅烷企业生产过程中产生的硅烷废气引入燃烧器，以厂区自有煤气助燃，进入焚烧炉内的燃烧室进行焚烧。助燃煤气量确保硅烷废气完全燃烧。焚烧产生的热烟气进入混合室，同时以常温空气为冷却风经夹套层和旋流片进入混合室。冷却风同时冷却内炉壳和外炉壳，代替耐火材料和保温材料，节省成本，增加操作灵活度。旋流片使冷却风和燃烧室出来的热烟气在混合室内呈旋流状混合，增强混合效果。整个焚烧炉保持微负压状态，保证气体无泄漏，安全可靠。冷却后的烟气进入多管除尘器，除去大粒径颗粒，再进入布袋除尘器除去剩余固体颗粒，降低对下游设备的磨损的同时提高除尘效率。经两级除尘处理后的达标烟气最终进入烟囱排放。若遇到突发状况，可紧急停炉并用惰性气进行吹扫。

有益效果：本实用新型提供的硅烷废气焚烧净化系统和现有技术相比存在以下优点：

(1)本实用新型提供的硅烷废气焚烧及净化系统，对硅烷气浓度波动适应范围广，采用多管除尘器和布袋除尘器两级除尘，除尘效率高，设备寿命长且运行成本低。

(2)本实用新型提供的硅烷废气焚烧净化系统，工艺简单合理，安全可靠，硅烷废气处理效率高，无二次污染，既经济又环保。

附图说明

图1为本实用新型提供的硅烷废气焚烧净化系统的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例，进一步阐明本实用新型，应理解这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围，在阅读了本实用新型之后，本领域技术人员对本实用新型的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。

如图1所示，一种硅烷废气焚烧净化系统，它包括焚烧炉2、多管除尘器3、布袋除尘器4、风机5和烟囱6。

焚烧炉2尾部与多管除尘器3进气口相连，多管除尘器3出气口与布袋除尘器4进气口相连，布袋除尘器4出气口与风机5进风口相连，风机5出风口与烟囱6相连。

所述的焚烧炉2前端中心轴线上水平安装有燃烧器1，所述的燃烧器1设有硅烷气入口1-1，助燃煤气入口1-2，助燃风入口1-3和惰性气入口1-4。

所述的焚烧炉2为卧式双炉壳结构，由内炉壳2-1和外炉壳2-2嵌套构成燃烧室2-4、混合室2-5和夹套层2-6。

所述的外炉壳2-2前端设有冷却风入口2-7。

所述的内炉壳2-1和外炉壳2-2前端面板重合，且内炉壳2-1和外炉壳2-2同中心轴。

所述的内炉壳2-1和外炉壳2-2之间设有若干旋流片2-3，旋流片2-3位于内炉壳2-1尾部，呈圆周均布。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (6)

1.一种硅烷废气焚烧净化系统，其特征在于，它包括焚烧炉(2)、多管除尘器(3)、布袋除尘器(4)、风机(5)和烟囱(6)；

焚烧炉(2)尾部与多管除尘器(3)进气口相连，多管除尘器(3)出气口与布袋除尘器(4)进气口相连，布袋除尘器(4)出气口与风机(5)进风口相连，风机(5)出风口与烟囱(6)相连。

2.根据权利要求1所述的硅烷废气焚烧净化系统，其特征在于，所述焚烧炉(2)前端的中心轴线上水平安装有燃烧器(1)，所述的燃烧器(1)上开设有硅烷气入口(1-1)，助燃煤气入口(1-2)，助燃风入口(1-3)和惰性气入口(1-4)。

3.根据权利要求1所述的硅烷废气焚烧净化系统，其特征在于，所述的焚烧炉(2)为卧式双炉壳结构，由内炉壳(2-1)和外炉壳(2-2)嵌套构成燃烧室(2-4)、混合室(2-5)和夹套层(2-6)。

4.根据权利要求3所述的硅烷废气焚烧净化系统，其特征在于，所述的外炉壳(2-2)前端设有冷却风入口(2-7)。

5.根据权利要求4所述的硅烷废气焚烧净化系统，其特征在于，所述的内炉壳(2-1)和外炉壳(2-2)前端面板重合，内炉壳(2-1)和外炉壳(2-2)同中心轴。

6.根据权利要求5所述的硅烷废气焚烧净化系统，其特征在于，内炉壳(2-1)和外炉壳(2-2)之间设有旋流片(2-3)，旋流片(2-3)位于内炉壳(2-1)尾部，呈圆周均匀分布。