CN207027221U - 可更换上盘结构及抛光装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供的可更换上盘结构及抛光装置，涉及高精度抛光技术领域，该可更换上盘结构包括：上盘调节件和安装盘；上盘通过多个上盘调节件可拆卸地设置于所述安装盘的底部，所述上盘通过所述上盘调节件沿其轴线上下移动地设置于所述安装盘上。本实用新型提供的可更换上盘结构中上盘通过上盘调节件可以更换，且能够通过单个的上盘调节件调整上盘的平稳性。仅通过上盘调节件将上盘设置在安装盘上，使上盘柔性连接在安装盘上，可以随时更换上盘，或调整平稳性。具有抛光效果好和节约资源等优点。

Description

可更换上盘结构及抛光装置

技术领域

本实用新型涉及高精度抛光技术领域，尤其是涉及一种可更换上盘结构及抛光装置。

背景技术

抛光是指利用机械、化学或电化学的作用，使工件表面粗糙度降低，以获得光亮、平整表面的加工方法。是利用抛光工具和磨料颗粒或其他抛光介质对抛光件表面进行的修饰加工。

晶片等较薄的零件在抛光的过程中，需要采用高精度的抛光装置，防止对较薄的零件造成损伤。目前采用的抛光装置为下盘固定，上盘旋转进行抛光。

传统的抛光装置上盘经常使用不便于更换，使用不方便。且上盘不够平稳，导致抛光的抛光件厚度不一致，影响抛光件的抛光质量，造成资源的浪费。

实用新型内容

本实用新型的一个目的在于提供一种可更换上盘结构，以解决现有的抛光装置上盘经常使用不便于更换，且上盘不够平稳的技术问题。

本实用新型的另一个目的在于提供一种抛光装置，包括上述提供的可更换上盘结构。

为解决上述技术问题，本实用新型采用了以下技术方案；本实用新型第一方面提供的可更换上盘结构，其中，包括：上盘调节件和安装盘；

上盘通过多个上盘调节件可拆卸地设置于所述安装盘的底部，所述上盘通过所述上盘调节件沿其轴线上下移动地设置于所述安装盘上。

本实用新型提供的可更换上盘结构中上盘通过上盘调节件可以更换，且能够通过单个的上盘调节件调整上盘的平稳性。仅通过上盘调节件将上盘设置在安装盘上，使上盘柔性连接在安装盘上，可以随时更换上盘，或调整平稳性。具有抛光效果好和节约资源等优点。

在上述任一技术方案中，进一步的，所述安装盘上设置有连接件，驱动装置通过所述连接件带动所述安装盘上下移动。驱动装置为气缸，上盘和安装盘还通过电机带动转动。

在上述任一技术方案中，进一步的，所述上盘调节件为三个，三个所述上盘调节件沿所述上盘的周向均布。设置三个上盘调节件便于调整上盘的平稳。

在上述任一技术方案中，进一步的，所述调节件为调节螺栓或螺杆。

本实用新型还提供了一种抛光装置，其中，包括如上所述的可更换上盘结构，还包括对应于所述上盘设置的下盘。

在上述任一技术方案中，进一步的，所述下盘包括下盘体，所述下盘体内设置有中心件，所述中心件和所述下盘体之间设置有打磨体，所述打磨体上放置有能够转动的抛光件，抛光件能够自转且绕所述中心件公转。上盘也能够转动对抛光件进行抛光研磨。

在上述任一技术方案中，进一步的，还包括转动设置于所述打磨体上的抛光盘，所述抛光盘带动所述抛光件转动。

在上述任一技术方案中，进一步的，所述下盘体内侧沿其周向设置有内齿，所述中心件外侧沿其周向设置有外齿，所述抛光盘分别与所述内齿和外齿啮合。抛光盘外侧设置有啮齿，抛光盘分别通过内齿和外齿转动。

在上述任一技术方案中，进一步的，所述抛光盘上设置有用于固定所述抛光件的固定孔。所述抛光盘上设置有单个或多个固定孔，所述固定孔的形状可以为矩形或圆形。

在上述任一技术方案中，进一步的，所述固定上盘的安装盘上设置有第一卡接件，所述下盘上对应于所述第一卡接件设置有第二卡接件。

所述上盘上设置有通孔，所述安装盘上设置有穿过所述通孔的第一卡接件，所述下盘上对应于所述第一卡接件设置有第二卡接件。

所述第二卡接件的顶端设置于所述下盘体上方，所述第二卡接件的底端套设于所述中心件内。

所述第一卡接件为多个卡爪，所述第二卡接件为卡盘。所述卡盘上设置有多个卡孔，所述卡孔与所述卡爪一一对应。

本实用新型提供的抛光装置中调整上盘调节件更换上盘或调整单个的上盘调节件调整上盘的平稳性。上盘转动带动抛光盘绕中心件的轴线转动和自转，对抛光盘上的抛光件进行抛光。

采用上述技术方案，本实用新型具有如下有益效果：

本实用新型提供的可更换上盘结构中上盘通过上盘调节件可以更换，且能够通过单个的上盘调节件调整上盘的平稳性。仅通过上盘调节件将上盘设置在安装盘上，使上盘柔性连接在安装盘上，可以随时更换上盘，或调整平稳性。具有抛光效果好和节约资源等优点。

进一步的，所述安装盘上设置有连接件，驱动装置通过所述连接件带动所述安装盘上下移动。驱动装置为气缸，上盘和安装盘还通过电机带动转动。

进一步的，所述上盘调节件为三个，三个所述上盘调节件沿所述上盘的周向均布。设置三个上盘调节件便于调整上盘的平稳。

进一步的，所述调节件为调节螺栓或螺杆。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述部分中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例一提供的可更换上盘结构的立体结构示意图；

图2为本实用新型实施例一提供的抛光装置的侧面结构示意图；

图3为本实用新型实施例一提供的抛光装置中卡盘的结构示意图；

图4为本实用新型实施例一提供的抛光装置中下盘和抛光盘的结构示意图；

图5为本实用新型实施例一提供的抛光装置中抛光盘的结构示意图。

附图标记：

1：连接件； 2：安装盘； 3：上盘调节件；

4：上盘； 5：卡爪； 6：卡盘；

7：下盘； 8：抛光盘； 9：中心件；

10：下盘体； 11：卡孔； 12：固定孔；

14：打磨体。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面结合具体的实施方式对本实用新型做进一步的解释说明。

图1为本实用新型实施例一提供的可更换上盘结构的立体结构示意图；图2为本实用新型实施例一提供的抛光装置的侧面结构示意图；图3为本实用新型实施例一提供的抛光装置中卡盘的结构示意图；图4为本实用新型实施例一提供的抛光装置中下盘和抛光盘的结构示意图；图5为本实用新型实施例一提供的抛光装置中抛光盘的结构示意图。

如图1至图5所示，本实用新型第一方面的实施例提供的可更换上盘结构，包括上盘调节件3和安装盘2；

上盘4通过多个上盘调节件3可拆卸地设置于所述安装盘2的底部，所述上盘4通过所述上盘调节件3沿其轴线上下移动地设置于所述安装盘2上。

如图1所示，上盘4通过所述上盘调节件3上下移动地设置于安装盘2上，上下位置即图1中的上下位置。

本实用新型提供的可更换上盘4结构中上盘4通过上盘调节件3可以更换，且能够通过单个的上盘调节件3调整上盘4的平稳性。仅通过上盘调节件3将上盘4设置在安装盘2上，使上盘4柔性连接在安装盘2上，可以随时更换上盘4，或调整平稳性。具有抛光效果好和节约资源等优点。

在上述任一技术方案中，进一步的，所述安装盘2上设置有连接件1，驱动装置通过所述连接件1带动所述安装盘2上下移动。驱动装置为气缸，上盘4和安装盘2还通过电机带动转动。

在上述任一技术方案中，进一步的，所述上盘调节件3为三个，三个所述上盘调节件3沿所述上盘4的周向均布。设置三个上盘调节件3便于调整上盘4的平稳。

在上述任一技术方案中，进一步的，所述调节件为调节螺栓或螺杆。

为了便于控制压力，本实用新型中的安装盘2上设置有压力传感器用于控制打磨量。

本实用新型还提供了一种抛光装置，其中，包括如上所述的可更换上盘4结构，还包括对应于所述上盘4设置的下盘7。

在上述任一技术方案中，进一步的，所述下盘7包括下盘体10，所述下盘体10内设置有中心件9，所述中心件9和所述下盘体10之间设置有打磨体14，所述打磨体14上放置有能够转动的抛光件，抛光件能够自转且绕所述中心件9公转。上盘4也能够转动对抛光件进行抛光研磨。

下盘7包括下盘体10和打磨体14，打磨体14通过固定件设置于基座上，所述固定件能够沿其轴线上下移动地设置于所述基座上。

基座包括容纳腔体和与容纳腔体连接的固定边缘，打磨体14通过固定件上的固定柱设置于容纳腔体内，下盘体10固定设置于固定边缘上。

在上述任一技术方案中，进一步的，还包括转动设置于所述打磨体14上的抛光盘8，所述抛光盘8带动所述抛光件转动。

下盘体10包括组装体，所述组装体可拆卸设置于所述基座上，将组装体拆卸下便于取出抛光盘8。

在上述任一技术方案中，进一步的，所述下盘体10内侧沿其周向设置有内齿，所述中心件9外侧沿其周向设置有外齿，所述抛光盘8分别与所述内齿和外齿啮合。抛光盘8外侧设置有啮齿，抛光盘8分别通过内齿和外齿转动。

在上述任一技术方案中，进一步的，所述抛光盘8上设置有用于固定所述抛光件的固定孔12。所述抛光盘8上设置有单个或多个固定孔12，所述固定孔12的形状可以为矩形或圆形。

在上述任一技术方案中，进一步的，所述固定上盘4的安装盘2上设置有第一卡接件，所述下盘7上对应于所述第一卡接件设置有第二卡接件。

所述上盘4上设置有通孔，所述安装盘2上设置有穿过所述通孔的第一卡接件，所述下盘7上对应于所述第一卡接件设置有第二卡接件。

所述第二卡接件的顶端设置于所述下盘体10上方，所述第二卡接件的底端套设于所述中心件9内。

所述第一卡接件为多个卡爪5，所述第二卡接件为卡盘6。所述卡盘6上设置有多个卡孔11，所述卡孔11与所述卡爪5一一对应。

本实用新型提供的抛光装置中调整上盘调节件3更换上盘4或调整单个的上盘调节件3调整上盘4的平稳性。上盘4转动带动抛光盘8绕中心件9的轴线转动和自转，对抛光盘8上的抛光件进行抛光。

综上所述，本实用新型提供的可更换上盘4结构中上盘4通过上盘调节件3可以更换，且能够通过单个的上盘调节件3调整上盘4的平稳性。仅通过上盘调节件3将上盘4设置在安装盘2上，使上盘4柔性连接在安装盘2上，可以随时更换上盘4，或调整平稳性。具有抛光效果好和节约资源等优点。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。此外，本领域的技术人员能够理解，尽管在此所述的一些实施例包括其它实施例中所包括的某些特征而不是其它特征，但是不同实施例的特征的组合意味着处于本实用新型的范围之内并且形成不同的实施例。例如，在上面的权利要求书中，所要求保护的实施例的任意之一都可以以任意的组合方式来使用。

Claims (10)

1.一种可更换上盘结构，其特征在于，包括：上盘调节件和安装盘；

上盘通过多个上盘调节件可拆卸地设置于所述安装盘的底部，所述上盘通过所述上盘调节件沿其轴线上下移动地设置于所述安装盘上。

2.根据权利要求1所述的可更换上盘结构，其特征在于，

所述安装盘上设置有连接件，驱动装置通过所述连接件带动所述安装盘上下移动。

3.根据权利要求1所述的可更换上盘结构，其特征在于，

所述上盘调节件为三个，三个所述上盘调节件沿所述上盘的周向均布。

4.根据权利要求1所述的可更换上盘结构，其特征在于，

所述调节件为调节螺栓或螺杆。

5.一种抛光装置，其特征在于，包括如权利要求1-4任意一项所述的可更换上盘结构，还包括对应于所述上盘设置的下盘。

6.根据权利要求5所述的抛光装置，其特征在于，所述下盘包括下盘体，所述下盘体内设置有中心件，所述中心件和所述下盘体之间设置有打磨体，所述打磨体上放置有能够转动的抛光件。

7.根据权利要求6所述的抛光装置，其特征在于，还包括转动设置于所述打磨体上的抛光盘，所述抛光盘带动所述抛光件转动。

8.根据权利要求7所述的抛光装置，其特征在于，所述下盘体内侧沿其周向设置有内齿，所述中心件外侧沿其周向设置有外齿，所述抛光盘分别与所述内齿和外齿啮合。

9.根据权利要求7所述的抛光装置，其特征在于，所述抛光盘上设置有用于固定所述抛光件的固定孔。

10.根据权利要求5所述的抛光装置，其特征在于，所述安装盘上设置有第一卡接件，所述下盘上对应于所述第一卡接件设置有第二卡接件。