CN206998617U - 弧面磨盘在线修整机构 - Google Patents

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胡敬祥
薛小宾
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Shenzhen Mengqi Semiconductor Equipment Co.,Ltd.
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Abstract

本实用新型公开了一种弧面磨盘在线修整机构,本实用新型的主要技术方案为:方向调整装置,其包括驱动电机,驱动丝杆和第一滑块组件,第一滑块组件包括滑块架和第一导轨,驱动丝杆设置在滑块架内并固定在滑块架上,第一导轨固定在所述驱动丝杆的螺母上,驱动电机驱动所述驱动丝杆正反向转动时带动第一导轨在滑块架内做伸出和缩回动作;修整刀位置调整装置,其包括第二滑块组件,直线驱动电机和修整刀,第二滑块组件与第一导轨连接并跟随第一导轨一起运行,第二滑块组件包括修整刀滑块,修整刀滑块通过直线驱动电机座与直线驱动电机连接,修整刀固定在修整刀滑块上;支撑固定装置,其包括固定在固定支架上的固定块和第一调节螺钉。

Description

弧面磨盘在线修整机构
技术领域
本实用新型涉及产品加工技术领域,尤其涉及一种弧面磨盘在线修整机构。
背景技术
研磨设备是利用磨盘对产品进行研磨加工的设备,平面研磨设备的磨盘研磨面为平面,而如果产品要求的研磨面是圆弧面,则相应的研磨设备磨盘研磨面必须做成相应的弧面。圆弧形磨盘一般有两种方法加工,一种拆掉磨盘到CNC设备上加工而成,一种用修整环修整,以上两种方法的主要缺点如下:1.第一种方法由于要拆掉磨盘加工后再组装,虽然可以达到磨盘平面度要求,但磨盘的端面跳动很难达到拆装前的标准;2.第一种方法需要拆装磨盘,增加了设备停机时间,加大了设备非工作状态的工作量;3.第二种方法虽然不用拆装磨盘,修整环是直接放在磨盘面上进行相对研磨,由于修整环是处于自由状态,所以加工后的磨盘圆弧面精度不高。4.第二种方法由于是磨盘和修整环的相对研磨,为达到圆弧形的磨盘面,修整环就必须先做成和产品相同的圆弧面;5.修整环修整的圆弧面是固定的圆弧形状,一旦产品要求更改,则必须重新制作与产品相对应的修整环。
因此解决上述问题对本领域而言是非常重要和急迫的。
发明内容
有鉴于此,本实用新型实施例提供一种弧面磨盘在线修整机构,主要目的是通过设置方向调整装置中第一导轨的运行和修整刀位置调整装置中的修整刀的运行都由电机驱动,再通过控制系统的控制,当第一导轨运行时修整刀也同时运动,从而实现磨盘圆弧研磨面的修整,并且本实用新型通过固定架直接组装在研磨设备上,磨盘研磨面需要修整时,不需要拆装磨盘,省时省力,且避免因磨盘拆装造成的磨盘面跳动增加。
为达到上述目的,本实用新型主要提供如下技术方案:
本实用新型实施例提供了一种弧面磨盘在线修整机构,包括:
方向调整装置,其包括驱动电机,驱动丝杆和第一滑块组件,所述第一滑块组件包括滑块架和第一导轨,所述滑块架为四方中空结构,驱动丝杆设置在所述滑块架内并固定在所述滑块架上,所述第一导轨固定在所述驱动丝杆的螺母上,所述驱动电机驱动所述驱动丝杆正反向转动时带动所述第一导轨在滑块架内做伸出和缩回动作;
修整刀位置调整装置,其包括第二滑块组件,直线驱动电机和修整刀,所述第二滑块组件与所述第一导轨连接并跟随第一导轨一起运行,所述第二滑块组件包括修整刀滑块,所述修整刀滑块通过直线驱动电机座与所述直线驱动电机连接,所述修整刀固定在所述修整刀滑块上,所述直线驱动电机驱动所述修整刀滑块带动所述修整刀做上下垂直运动;
支撑固定装置,其包括固定在固定支架上的固定块和第一调节螺钉,所述固定支架安装于研磨设备上,所述固定块与所述滑块架为旋转连接,并通过所述第一调节螺钉调节两者之间的旋转角度。
如前所述的,所述方向调整装置还包括传动机构,所述驱动电机通过所述传动机构驱动所述驱动丝杆正反向转动时带动所述第一导轨在滑块架内做伸出和缩回动作;
如前所述的,所述第一滑块组件还包括设置在所述滑块架内的上下相对的两个第一滑块和设置在所述滑块架内的左右相对的两个第二滑块,所述两个第一滑块和所述两个第二滑块均位于所述滑块架和所述第一导轨之间。
如前所述的,所述第一滑块组件还包括第二调节螺钉和第三调节螺钉;
至少一个第一滑块通过所述第二调节螺钉与所述滑块架浮动连接,并通过所述第二调节螺钉施力紧靠在第一导轨上;
至少一个第二滑块通过所述第三调节螺钉与所述滑块架浮动连接,并通过所述第三调节螺钉施力紧靠在第一导轨上。
如前所述的,所述传动机构包括皮带和两个带轮,两个所述带轮之间通过皮带连接,其中,一个所述带轮与驱动电机连接,另一个所述带轮与所述驱动丝杆连接。
如前所述的,所述驱动丝杆通过两角接触轴承固定于滑块架上。
如前所述的,所述第二滑块组件还包括修整刀架和第二导轨,所述第二导轨设置在所述修整刀架上,所述修整刀滑块设置在所述第二导轨上并可在第二导轨上上下滑动。
如前所述的,所述第二导轨为直线交叉导轨。
如前所述的,所述滑块架通过圆柱销与所述固定块旋转连接。
如前所述的,所述第一导轨为四方柱形中空结构。
借由上述技术方案,本实用新型弧面磨盘在线修整机构至少具有以下优点:
本实用新型的弧面磨盘在线修整机构通过设置方向调整装置中的所述第一导轨固定在所述驱动丝杆的螺母上,所述驱动电机驱动所述驱动丝杆正反向转动时带动所述第一导轨在滑块架内做伸出和缩回动作,以及设置修整刀位置调整装置中的第二滑块组件固定在第一导轨上并跟随第一导轨一起运行,所述第二滑块组件包括修整刀滑块,所述修整刀固定在所述修整刀滑块上,使第一导轨和修整刀的运行都由电机驱动,再通过控制系统的控制,当第一导轨运行时修整刀也同时运动,从而实现磨盘圆弧研磨面的修整,并且由于第一导轨和修整刀的运行都由电机独立驱动,改变第一导轨与修整刀运行的速度配比,可以达到多种磨盘圆弧研磨面,以及本实用新型通过固定架可直接装在研磨设备上,磨盘研磨面需要修整时,不需要拆装磨盘,省时省力,且避免因磨盘拆装造成的磨盘面跳动增加;另外,本机构调整简单,第一次使用时只需要调整第一调节螺钉,使第一导轨与磨盘研磨面平行即可,后面再修盘时不需要再调节,可保持长期稳定性。
上述说明仅是本实用新型技术方案的概述,为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段,并可依照说明书的内容予以实施,以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
图1是本实用新型的实施例提供的一种弧面磨盘在线修整机构结构示意图一;
图2是本实用新型的实施例提供的一种弧面磨盘在线修整机构结构示意图二;
图3是本实用新型的实施例提供的一种弧面磨盘在线修整机构结构示意图三。
具体实施方式
为更进一步阐述本实用新型为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例,对依据本实用新型申请的具体实施方式、结构、特征及其功效,详细说明如后。在下述说明中,不同的“一实施例”或“实施例”指的不一定是同一实施例。此外,一或多个实施例中的特定特征、结构、或特点可由任何合适形式组合。
如图1-图3所示,本实用新型的一个实施例提供的一种弧面磨盘在线修整机构,其包括:方向调整装置1,修整刀位置调整装置2和支撑固定装置3,其中,
方向调整装置1,其包括驱动电机11,传动机构12,驱动丝杆13,第一滑块组件14,驱动电机11通过传动机构12与驱动丝杆13连接,第一滑块组件14包括滑块架141,第一导轨142,设置在滑块架141内的上下相对的两个第一滑块143和设置在滑块架141内的左右相对的两个第二滑块144,驱动丝杆13设置在滑块架141内并固定在滑块架141上,第一导轨142固定在驱动丝杆13的螺母上,驱动电机11通过传动机构12驱动驱动丝杆13正反向转动时带动第一导轨142做伸出和缩回动作,两个第一滑块143和两个第二滑块144均位于滑块架141和第一导轨142之间;
修整刀位置调整装置2,其包括第二滑块组件21,直线驱动电机22和修整刀23,第二滑块组件21固定在第一导轨142上并跟随第一导轨142一起运行,所述第二滑块组件21包括修整刀架211,第二导轨212,修整刀滑块213,修整刀架211固定在第一导轨142上,第二导轨212固定在修整刀架211上,修整刀滑块213设置在第二导轨212上,并可在第二导轨212上滑动,直线驱动电机22通过直线驱动电机座24与修整刀滑块213连接,修整刀23固定在修整刀滑块213上,直线驱动电机22驱动修整刀滑块213带动修整刀23做上下垂直运动;
支撑固定装置3,其包括固定在固定支架31上的固定块32和第一调节螺钉33,固定支架31安装于研磨设备4上,固定块32与滑块架141为旋转连接,第一调节螺钉33用于调节滑块架141和固定块32的旋转角度。
具体的,对弧面磨盘研磨面进行修整时,先将弧面磨盘在线修整机构通过固定支架31固定在研磨设备上,然后通过第一调节螺钉33调节滑块架141和固定块32的旋转角度,最终使第一导轨142与磨盘研磨面平行,启动驱动电机11,驱动电机11通过传动机构12带动驱动丝杆13正向转动,此时,驱动丝杆13带动第一导轨142向磨盘方向伸出,第二滑块组件21跟随第一导轨142一起向磨盘方向伸出,当修整刀23接触到磨盘时,启动直线驱动电机22,直线驱动电机22驱动修整刀滑块213在第二导轨212上向下运行,修整刀23跟随第三滑板213一起向下运行,即可对磨盘41的弧面研磨面411进行修整。
本实用新型的弧面磨盘在线修整机构通过设置方向调整装置中的所述第一导轨固定在所述驱动丝杆的螺母上,所述驱动电机驱动所述驱动丝杆正反向转动时带动所述第一导轨在滑块架内做伸出和缩回动作,以及设置修整刀位置调整装置中的第二滑块组件固定在第一导轨上并跟随第一导轨一起运行,所述第二滑块组件包括修整刀滑块,所述修整刀固定在所述修整刀滑块上,使第一导轨和修整刀的运行都由电机驱动,再通过控制系统的控制,当第一导轨运行时修整刀也同时运动,从而实现磨盘圆弧研磨面的修整,并且由于第一导轨和修整刀的运行都由电机独立驱动,改变第一导轨与修整刀运行的速度配比,可以达到多种磨盘圆弧研磨面,以及本实用新型通过固定架可直接装在研磨设备上,磨盘研磨面需要修整时,不需要拆装磨盘,省时省力,且避免因磨盘拆装造成的磨盘面跳动增加;另外,本机构调整简单,第一次使用时只需要调整第一调节螺钉,使第一导轨与磨盘研磨面平行即可,后面再修盘时不需要再调节,可保持长期稳定性。
进一步的,为了弥补机械加工精度的不足,如图1所示,第一滑块组件14还包括第二调节螺钉145和第三调节螺钉(图中未示出);
至少一个第一滑块143通过第二调节螺钉145与滑块架141浮动连接,并通过第二调节螺钉15施力紧靠在第一导轨142上;
至少一个第二滑块144通过第三调节螺钉与滑块架141浮动连接,并通过第三调节螺钉施力紧靠在第一导轨142上。
进一步的,如图1所示,传动机构12包括皮带121和两个带轮122,两个带轮122之间通过皮带121连接,其中,一个带轮122与驱动电机11连接,另一个带轮122与驱动丝杆13连接,该结构的设置,保证驱动丝杆13转速的恒定。
进一步的,为了使驱动丝杆13能够承受更高的轴向力,驱动丝杆13通过两角接触轴承(图中未示出)固定于滑块架141上。
进一步的,为了保证修整刀进给位置的准确性,所述第二导轨212为直线交叉导轨,直线交叉导轨的高刚性和高精度保证了修整刀进给位置的准确性。
进一步的,如图1所示,滑块架141通过圆柱销34与固定块32实现旋转连接,并通过第一调节螺钉33调节两者的旋转角度,使弧面磨盘在线修整机构平行于磨盘研磨面。
进一步的,如图1所示,第一导轨142为四方柱形中空结构。
本实用新型的弧面磨盘在线修整机构通过设置方向调整装置中的所述第一导轨固定在所述驱动丝杆的螺母上,所述驱动电机驱动所述驱动丝杆正反向转动时带动所述第一导轨在滑块架内做伸出和缩回动作,以及设置修整刀位置调整装置中的第二滑块组件固定在第一导轨上并跟随第一导轨一起运行,所述第二滑块组件包括修整刀滑块,所述修整刀固定在所述修整刀滑块上,使第一导轨和修整刀的运行都由电机驱动,再通过控制系统的控制,当第一导轨运行时修整刀也同时运动,从而实现磨盘圆弧研磨面的修整,并且由于第一导轨和修整刀的运行都由电机独立驱动,改变第一导轨与修整刀运行的速度配比,可以达到多种磨盘圆弧研磨面,以及本实用新型通过固定架可直接装在研磨设备上,磨盘研磨面需要修整时,不需要拆装磨盘,省时省力,且避免因磨盘拆装造成的磨盘面跳动增加;另外,本机构调整简单,第一次使用时只需要调整第一调节螺钉,使第一导轨与磨盘研磨面平行即可,后面再修盘时不需要再调节,可保持长期稳定性。
以上所述,仅为本实用新型的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,可轻易想到变化或替换,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此,本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种弧面磨盘在线修整机构,其特征在于,包括:
方向调整装置,其包括驱动电机,驱动丝杆和第一滑块组件,所述第一滑块组件包括滑块架和第一导轨,所述滑块架为四方中空结构,驱动丝杆设置在所述滑块架内并固定在所述滑块架上,所述第一导轨固定在所述驱动丝杆的螺母上,所述驱动电机驱动所述驱动丝杆正反向转动时带动所述第一导轨在滑块架内做伸出和缩回动作;
修整刀位置调整装置,其包括第二滑块组件,直线驱动电机和修整刀,所述第二滑块组件与所述第一导轨连接并跟随第一导轨一起运行,所述第二滑块组件包括修整刀滑块,所述修整刀滑块通过直线驱动电机座与所述直线驱动电机连接,所述修整刀固定在所述修整刀滑块上,所述直线驱动电机驱动所述修整刀滑块带动所述修整刀做上下垂直运动;
支撑固定装置,其包括固定在固定支架上的固定块和第一调节螺钉,所述固定支架安装于研磨设备上,所述固定块与所述滑块架为旋转连接,并通过所述第一调节螺钉调节两者之间的旋转角度。
2.根据权利要求1所述的弧面磨盘在线修整机构,其特征在于,
所述方向调整装置还包括传动机构,所述驱动电机通过传动机构驱动所述驱动丝杆正反向转动时带动所述第一导轨在滑块架内做伸出和缩回动作。
3.根据权利要求1或2所述的弧面磨盘在线修整机构,其特征在于,
所述第一滑块组件还包括设置在所述滑块架内的上下相对的两个第一滑块和设置在所述滑块架内的左右相对的两个第二滑块,所述两个第一滑块和所述两个第二滑块均位于所述滑块架和所述第一导轨之间。
4.根据权利要求3所述的弧面磨盘在线修整机构,其特征在于,
所述第一滑块组件还包括第二调节螺钉和第三调节螺钉;
至少一个第一滑块通过所述第二调节螺钉与所述滑块架浮动连接,并通过所述第二调节螺钉施力紧靠在第一导轨上;
至少一个第二滑块通过所述第三调节螺钉与所述滑块架浮动连接,并通过所述第三调节螺钉施力紧靠在第一导轨上。
5.根据权利要求2所述的弧面磨盘在线修整机构,其特征在于,
所述传动机构包括皮带和两个带轮,两个所述带轮之间通过皮带连接,其中,一个所述带轮与驱动电机连接,另一个所述带轮与所述驱动丝杆连接。
6.根据权利要求1所述的弧面磨盘在线修整机构,其特征在于,
所述驱动丝杆通过两角接触轴承固定于滑块架上。
7.根据权利要求1所述的弧面磨盘在线修整机构,其特征在于,
所述第二滑块组件还包括修整刀架和第二导轨,所述第二导轨设置在所述修整刀架上,所述修整刀滑块设置在所述第二导轨上并可在第二导轨上上下滑动。
8.根据权利要求7所述的弧面磨盘在线修整机构,其特征在于,
所述第二导轨为直线交叉导轨。
9.根据权利要求1所述的弧面磨盘在线修整机构,其特征在于,
所述滑块架通过圆柱销与固定块连接。
10.根据权利要求1所述的弧面磨盘在线修整机构,其特征在于,
所述第一导轨为四方柱形中空结构。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN108581843A (zh) * 2018-04-28 2018-09-28 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所) 抛光修整装置及研磨抛光设备

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