CN206973083U - 双层波纹管 - Google Patents

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刘锦东
任星利
张学勇
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Ordos Yuansheng Optoelectronics Co Ltd
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Abstract

本实用新型提供一种双层波纹管,属于真空腔室配件技术领域,本实用新型的双层波纹管,包括相互连接的内波纹管和外波纹管,所述外波纹管为透明结构。由于本实用新型中的外波纹管采用的是透明结构,因此当内波纹管发生泄漏时,可以透过外波纹管及时发现泄漏的位置,对波纹管进行替换。与此同时由于外波纹管的存在,也不会导致真空度突然变差,所以若不替换波纹管,该波纹管还是可以继续使用,直至外波纹管也发生泄漏,以此看来本实用新型中的双层波纹管具有更长的使用寿命,且易于观察发生泄漏的位置。

Description

双层波纹管
技术领域
本实用新型属于真空腔室配件技术领域,具体涉及一种双层波纹管。
背景技术
真空腔室中使用的波纹管经常会因为制作缺陷,人为不小心碰撞及反复伸缩动作导致泄漏(Leak)的发生,即使只是很微小的泄漏,也会导致真空腔室的真空度发生剧烈性变化,导致腔室真空度下降,从而影响器件寿命。一般发生泄漏的位置十分隐蔽,且极其微小,无法实时发现,所以一旦发生泄漏,就只能停止生产,更换新的波纹管,重新开始生产,严重影响设备的生产能力。
因此,如何预防波纹管泄漏,以及提前发现泄漏成为是亟需要解决的技术问题。
实用新型内容
本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一,提供一种双层波纹管,用以解决如何预防波纹管泄漏,以及提前发现泄漏的问题。
解决本实用新型技术问题所采用的技术方案是一种(双层波纹管,包括相互连接的内波纹管和外波纹管,所述外波纹管为透明结构。
优选的是,所述内波纹管和所述外波纹管均包括第一端部、第二端部,以及位于第一端部和第二端部的波纹部;其中,所述内波纹管的第一端部与所述外波纹管的第一端部连接;所述内波纹管的第二端部与所述外波纹管的第二端部连接;且所述内波纹管的波纹部的伸缩系数大于所述外波纹管的波纹部的伸缩系数。
优选的是,所述内波纹管和所述外波纹管的材料相同。
进一步优选的是,所述内波纹管的第一端部与所述外波纹管的第一端部为一体成型结构;所述内波纹管的第二端部与所述外波纹管的第二端部为一体成型结构。进一步优选的是,所述内波纹管和所述外波纹管的材料包括真空塑料、橡胶、透明金属中的任意一种。
优选的是,所述内波纹管和所述外波纹管的材料不同。
进一步优选的是,所述外波纹管的材料包括真空塑料、橡胶、透明金属中的任意一种。
进一步优选的是,所述内波纹管的材料包括不锈钢、高密度聚乙烯。
进一步优选的是,所述外波纹管的波纹部的伸缩系数为0.4。
进一步优选的是,所述外波纹管的波纹部的伸缩系数为0.6。
本发明具有如下有益效果:
由于本发明中的外波纹管采用的是透明结构,因此当内波纹管发生泄漏时,可以透过外波纹管及时发现泄漏的位置,对波纹管进行替换。与此同时由于外波纹管的存在,也不会导致真空度突然变差,所以若不替换波纹管,该波纹管还是可以继续使用,直至外波纹管也发生泄漏,以此看来本发明中的双层波纹管具有更长的使用寿命,且易于观察发生泄漏的位置。
附图说明
图1为本实用新型的实施例1、2的双层波纹管的结构示意图。
其中附图标记为:1、内波纹管;2、外波纹管;11、内波纹管的第一端部;12、内波纹管的第二端部;13、内波纹管的波纹部;21、外波纹管的第一端部;22、外波纹管的第二端部;23、外波纹管的波纹部。
具体实施方式
为使本领域技术人员更好地理解本实用新型的技术方案,下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细描述。
实施例1:
如图1所示,本实施例提供一种双层波纹管,包括相互连接的内波纹管1和外波纹管2,其中外波纹管2为透明结构。
本实施例中所提供的波纹管为双层波纹管,较现有技术中的单层波纹管而言具有更长的使用寿命。具体的,该双层波纹管使用过程中,一般来说,泄漏会先发生在内波纹管1上,随后才可能发生在外波纹管2上,而本实施例中的外波纹管2采用的是透明结构,因此当内波纹管1发生泄漏时,可以透过外波纹管2及时发现泄漏的位置,对波纹管进行替换。与此同时由于外波纹管2的存在,也不会导致真空度突然变差,所以若不替换波纹管,该波纹管还是可以继续使用,直至外波纹管2也发生泄漏,以此看来本实施例中的双层波纹管具有更长的使用寿命,且易于观察发生泄漏的位置。
实施例2:
本实施例提供一种双层波纹管,包括内波纹管1和透明结构的外波纹管2;其中,内波纹管1和外波纹管2均包括第一端部、第二端部,以及位于第一端部和第二端部的波纹部;其中,内波纹管的第一端部11与外波纹管的第一端部21连接;内波纹管的第二端部12与外波纹管的第二端部22连接;且内波纹管的波纹部13的伸缩系数大于外波纹管的波纹部23的伸缩系数。
本实施例中的伸缩系数是指,位于第一端部和第二端部之间的波纹部沿波纹管轴向的变形能力或者拉伸能力。
由于本实施例的双层波纹管的内波纹管的波纹部13的伸缩系数大于外波纹管的波纹部23的伸缩系数,因此在双层波纹管随设备运动时,内波纹管1开始受力时,外波纹管2还未开始受力,故即使内波纹管1由于受到较大力已经发生变形导致破损时,外波纹管2仍未受力或受力很少,以使外波纹管2不至破损,从而保证生产可以继续,等到维护检测时发现有泄漏问题再进行更换。
作为本实施例中的一种优选实现方式,如图1所示,双层波纹管的内波纹管1和外波纹管2采用相同的材料,且内波纹管的波纹部13的伸缩系数大于外波纹管的波纹部23的伸缩系数,也就是说,内波纹管的波纹部13的形态不同于外波纹管2的形态,即内波纹管的波纹部13的弯曲程度小于外波纹管2的弯曲程度。
将上述的双层波纹管应用至真空设备中,在生产中由于内波纹管1的内部会有液体流通,所以外波纹管2可保护内波纹管1免受外界的挤压,以及挤压过程中产生摩擦而导致损坏的问题;而且即使内波纹管1发生泄漏,外波纹管2仍可继续充当内壁进行液体流通,从而延长波纹管的使用寿命;同时,而此类情况出现时,在进行维护时就可以根据内波纹管1和外波纹管2之间是否有泄漏的液体进行泄漏判断,以便提前预防。
其中,该双层波纹管的内波纹管1和外波纹管2均为透明结构,这二者的材料优选为真空塑料,橡胶,透明金属等。当然,也可以采用其他透明材料。
由于波纹管1和外波纹管2的材料相同,因此,优选的内波纹管的第一端部11与外波纹管的第一端部21为一体成型结构;内波纹管的第二端部12与外波纹管的第二端部22为一体成型结构。也即内波纹管1与外波纹管2为一体成型结构,该种结构的双层波纹管制备简单,且成本低。
在此需要说明的是,若内波纹管的第一端部11与外波纹管的第一端部21为一体成型结构;内波纹管的第二端部12与外波纹管的第二端部22为一体成型结构,此时图1中内波纹管的第一端部11与外波纹管的第一端部21之间接缝,以及内波纹管的第二端部12与外波纹管的第二端部22之间的接缝是没有的。当然,即使波纹管1和外波纹管2的材料相同,这两者的两个端部也可以不是一体成型结构,也就是说如图1中所示,两者的两个端部之间的是存在接缝的。
作为本实施例的第二种优选实现方式,双层波纹管的内波纹管1和外波纹管2采用不同的材料。其中,外波纹管2的材料为透明材料,优选为真空塑料、橡胶、透明金属中的任意一种;内波纹管1的材料优选为不锈钢或高密度聚乙烯(HDPE)。
此时,内波纹管的波纹部13和外波纹管的波纹部23的伸缩系数可以相同也可以不同。优选的内波纹管的波纹部13的伸缩系数大于外波纹管的波纹部23的伸缩系数。由于内波纹管的波纹部13的伸缩系数大于外波纹管的波纹部23的伸缩系数,因此在双层波纹管随设备运动时,内波纹管1开始受力时,外波纹管2还未开始受力,故即使内波纹管1由于受到较大力已经发生变形导致破损时,外波纹管2仍未受力或受力很少,以使外波纹管2不至破损,从而保证生产可以继续,等到维护检测时发现有泄漏问题再进行更换。
其中,外波纹管的波纹部23的伸缩系数优选为0.4;外波纹管的波纹部13的伸缩系数优选为0.6。
之所以如此配置内波纹管1和外波纹管2的伸缩系数的原因是:波纹管的波纹部的伸缩系数超过0.7时,波纹管伸缩性较差,如果在经常性反复性伸缩过程中极易破损导致泄漏,而太低则会增加制造成本,且对外波纹管的波纹部23的伸缩系数制作要求更高。当外波纹管的波纹部23伸缩系数为0.5时,内层进行动作时,外层也会受到作用力,反复性动作之后如果外层管制作本身有缺陷,可能会发生泄漏起不到保护作用,所以优先选用外波纹管的波纹部23的伸缩系数为0.4的透明不锈钢,因为是常用材料,相对选用其他材料会节省生产成本。同理,内波纹管的波纹部13的伸缩系数为0.6。
可以理解的是,以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式,然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言,在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下,可以做出各种变型和改进,这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。

Claims (8)

1.一种双层波纹管,包括相互连接的内波纹管和外波纹管,其特征在于,所述外波纹管为透明结构;
所述内波纹管和所述外波纹管均包括第一端部、第二端部,以及位于第一端部和第二端部之间的波纹部;其中,所述内波纹管的第一端部与所述外波纹管的第一端部连接;所述内波纹管的第二端部与所述外波纹管的第二端部连接;且所述内波纹管的波纹部的伸缩系数大于所述外波纹管的波纹部的伸缩系数。
2.根据权利要求1所述的双层波纹管,其特征在于,所述内波纹管和所述外波纹管的材料相同。
3.根据权利要求2所述的双层波纹管,其特征在于,所述内波纹管的第一端部与所述外波纹管的第一端部为一体成型结构;所述内波纹管的第二端部与所述外波纹管的第二端部为一体成型结构。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的双层波纹管,其特征在于,所述内波纹管和所述外波纹管的材料包括橡胶。
5.根据权利要求1所述的双层波纹管,其特征在于,所述内波纹管和所述外波纹管的材料不同。
6.根据权利要求5所述的双层波纹管,其特征在于,所述外波纹管的材料包括橡胶。
7.根据权利要求1所述的双层波纹管,其特征在于,所述外波纹管的波纹部的伸缩系数为0.4。
8.根据权利要求1所述的双层波纹管,其特征在于,所述外波纹管的波纹部的伸缩系数为0.6。
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