CN206872941U - 基板镀膜装夹工具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种基板镀膜装夹工具,其结构包括外框、内框、弹簧夹、导柱;其中,弹簧夹处在内框上,内框与外框之间通过导柱连接;导柱的长度大于内框的厚度,内框的两侧装有缓冲材料。本实用新型的优点:1)对基板在真空镀膜工程中的震动起到缓冲减震的作用,从而避免基板边缘接触面压力过大而产生摩擦破损,并减小弯曲时表面的拉应力;2)降低了真空镀膜工序的破片不良率;3)为真空镀膜设备实现更快的生产节奏提供保障;4)避免了基板边缘摩擦受损,提高了产品的弯曲强度。
Description
技术领域
本实用新型涉及的是一种基板镀膜装夹工具,属于机械设备技术领域。
背景技术
平板状材料如平板玻璃在真空镀膜时由于要整面镀膜,装夹工具只可以在基板周边较窄的区域实施夹持,而镀膜工序因其工艺特点,在传送、真空与大气环境切换等环节基板受到的冲击较大;这两方面的因素造成基板在镀膜工序的震动幅度较大,当基板震动时被夹持的边缘尤其角落是主要的受力点,现有装夹工具对基板震动的缓冲功能较弱,易造成基板边缘受力过大而破裂或磨损。
现有装夹工具的主要功能实现部分由框架和弹性夹组成(其余部分还包括圆柱导轨、磁性导轨、绝缘块、连接件、二维码标牌等附件,根据具体设备细节设计,各不相同)。现有结构上框架内边缘尺寸较基板尺寸内缩一个较小的尺寸(典型如5mm)作为夹持区域,框架上安装弹性夹,生产时空置的工装弹性夹打开(由设备上的机构实现,如气缸驱动顶针顶开),基板挂上后弹性夹关闭夹住基板,传送至腔体内完成镀膜,出腔体后弹性夹再次打开,基板取走,如此循环。
造成基板破裂的主要因素是沿垂直基板平面方向的震动,震动时基板边缘成为主要受力点,现有夹具由于框架不具有弹性,其与基板接触面在震动方向上不可移动,因而不具备缓冲功能,在垂直基板面的方向上不能较好实现减震,当基板向框架一侧震动时,基板在其与框架的接触面和镀膜区的交界处受到较大的拉应力,易裂开;另一方面,框架与基板之间在接触面上产生较大的压力,往往造成基板表面摩擦受损,产生破裂的起始点。
本实用新型针对原有装夹工具的不足,提出了一种设计方案,可以对基板的震动起到缓冲减震的效果,从而避免基板边缘受力过大而破裂,为实现更高的良品率、更快的生产节奏提供保障,并且可以提高易碎材料如玻璃基板的弯曲强度。
实用新型内容
本实用新型提出的是一种基板镀膜装夹工具,其目的旨在解决现有装夹工具对基板震动的缓冲功能较弱,易造成基板边缘受力过大而破裂或磨损的问题。
本实用新型的技术解决方案:基板镀膜装夹工具,其结构包括外框1、内框2、弹簧夹3、导柱4;其中,弹簧夹3处在内框2上,内框2与外框1之间通过导柱4连接;导柱4的长度大于内框2的厚度,内框2的两侧装有缓冲材料5。
本实用新型的优点:
1)对基板在真空镀膜工程中的震动起到缓冲减震的作用,从而避免基板边缘接触面压力过大而产生摩擦破损,并减小弯曲时表面的拉应力;
2)降低了真空镀膜工序的破片不良率;
3)为真空镀膜设备实现更快的生产节奏提供保障;
4)避免了基板边缘摩擦受损,提高了产品的弯曲强度。
附图说明
附图1是基板镀膜装夹工具的结构俯视示意图。
附图2是基板镀膜装夹工具的结构右侧示意图。
附图3是基板镀膜装夹工具的局部结构放大示意图。
附图中1是外框、2是内框、3是弹簧夹、4是导柱、5是缓冲材料。
具体实施方式
对照附图1-3,基板镀膜装夹工具,其结构包括外框1、内框2、弹簧夹3、导柱4;其中,弹簧夹3处在内框2上,内框2与外框1之间通过导柱4连接;导柱4的长度大于内框2的厚度,内框2的两侧装有缓冲材料5。
所述内框2上有孔,外框1上与内框2上孔的对应位置有螺纹孔。
所述内框2上孔的尺寸大于导柱4的直径,方便内框2沿导柱4方向往复移动,使内框有一定活动范围。
所述导柱4露出内框2一端固接有圆片,圆片的直径大于内框2上孔的直径,用来防止内框2脱出;导柱4的另一端有螺纹,导柱4的另一端通过自身螺纹和外框1上的螺纹孔配合锁紧在外框1上。
所述内框2的两侧加装有弹性的缓冲材料5,如弹簧、橡胶减震垫等,产生缓冲减震的作用,优选在内框2两侧的导柱4外围套装弹簧。
本实用新型中,将框架设计为内框2与外框1两套部件,外框1负责与镀膜设备装载机构的连接(位置相对固定),内框2负责基板的夹持,弹性夹及其附属开闭机构安装在内框上,使用本方案的装夹工具,基板在夹持边缘受力能够得到缓冲,从而避免了接触面压力过大而产生摩擦破损,并减小弯曲时表面的拉应力,避免基板破裂。
实施例1
基板镀膜装夹工具,其结构由外框1、内框2、18个弹簧夹3、14个导柱4、弹簧组成;其中,18个弹簧夹3均匀分布在内框2的四周上,内框2与外框1之间通过14个导柱4连接;每个导柱4的长度大于内框2的厚度,每个导柱4在内框2的两侧套有弹簧;在内框2的同一条边上,弹簧夹3和导柱4交替分布,受力更加均匀。
所述内框2上有孔,外框1上与内框2上孔的对应位置有螺纹孔。
所述内框2上孔的尺寸大于导柱4的直径,方便内框2沿导柱4方向上下移动,使内框有一定活动范围。
所述导柱4露出内框2一端固接有圆片,圆片的直径大于内框2上孔的直径,用来防止内框2脱出;导柱4的另一端螺纹,导柱4的另一端通过自身螺纹和外框1上的螺纹孔配合锁紧在外框1上。
Claims (5)
1.基板镀膜装夹工具,其特征是包括外框、内框、弹簧夹、导柱;其中,弹簧夹处在内框上,内框与外框之间通过导柱连接;导柱的长度大于内框的厚度,内框的两侧装有缓冲材料。
2.根据权利要求1所述的基板镀膜装夹工具,其特征是所述内框上有孔,外框上与内框上孔的对应位置有螺纹孔。
3.根据权利要求2所述的基板镀膜装夹工具,其特征是所述内框上孔的尺寸大于导柱的直径。
4.根据权利要求2所述的基板镀膜装夹工具,其特征是所述导柱露出内框一端固接有圆片,圆片的直径大于内框上孔的直径;导柱的另一端有螺纹,导柱的另一端通过螺纹和外框上的螺纹孔配合锁紧在外框上。
5.根据权利要求1所述的基板镀膜装夹工具,其特征是所述内框的两侧加装有弹性的缓冲材料。
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Publications (1)
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Country Status (1)
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CN (1) | CN206872941U (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN108761870A (zh) * | 2018-08-22 | 2018-11-06 | 南京中电熊猫液晶材料科技有限公司 | 减少彩色滤光片制造厂内防玻璃基板破片的方法 |
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2017
- 2017-06-14 CN CN201720690525.1U patent/CN206872941U/zh active Active
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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