CN206872941U - 基板镀膜装夹工具 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种基板镀膜装夹工具，其结构包括外框、内框、弹簧夹、导柱；其中，弹簧夹处在内框上，内框与外框之间通过导柱连接；导柱的长度大于内框的厚度，内框的两侧装有缓冲材料。本实用新型的优点：1）对基板在真空镀膜工程中的震动起到缓冲减震的作用，从而避免基板边缘接触面压力过大而产生摩擦破损，并减小弯曲时表面的拉应力；2）降低了真空镀膜工序的破片不良率；3）为真空镀膜设备实现更快的生产节奏提供保障；4）避免了基板边缘摩擦受损，提高了产品的弯曲强度。

Description

基板镀膜装夹工具

技术领域

本实用新型涉及的是一种基板镀膜装夹工具，属于机械设备技术领域。

背景技术

平板状材料如平板玻璃在真空镀膜时由于要整面镀膜，装夹工具只可以在基板周边较窄的区域实施夹持，而镀膜工序因其工艺特点，在传送、真空与大气环境切换等环节基板受到的冲击较大；这两方面的因素造成基板在镀膜工序的震动幅度较大，当基板震动时被夹持的边缘尤其角落是主要的受力点，现有装夹工具对基板震动的缓冲功能较弱，易造成基板边缘受力过大而破裂或磨损。

现有装夹工具的主要功能实现部分由框架和弹性夹组成（其余部分还包括圆柱导轨、磁性导轨、绝缘块、连接件、二维码标牌等附件，根据具体设备细节设计，各不相同）。现有结构上框架内边缘尺寸较基板尺寸内缩一个较小的尺寸（典型如5mm）作为夹持区域，框架上安装弹性夹，生产时空置的工装弹性夹打开（由设备上的机构实现，如气缸驱动顶针顶开），基板挂上后弹性夹关闭夹住基板，传送至腔体内完成镀膜，出腔体后弹性夹再次打开，基板取走，如此循环。

造成基板破裂的主要因素是沿垂直基板平面方向的震动，震动时基板边缘成为主要受力点，现有夹具由于框架不具有弹性，其与基板接触面在震动方向上不可移动，因而不具备缓冲功能，在垂直基板面的方向上不能较好实现减震，当基板向框架一侧震动时，基板在其与框架的接触面和镀膜区的交界处受到较大的拉应力，易裂开；另一方面，框架与基板之间在接触面上产生较大的压力，往往造成基板表面摩擦受损，产生破裂的起始点。

本实用新型针对原有装夹工具的不足，提出了一种设计方案，可以对基板的震动起到缓冲减震的效果，从而避免基板边缘受力过大而破裂，为实现更高的良品率、更快的生产节奏提供保障，并且可以提高易碎材料如玻璃基板的弯曲强度。

实用新型内容

本实用新型提出的是一种基板镀膜装夹工具，其目的旨在解决现有装夹工具对基板震动的缓冲功能较弱，易造成基板边缘受力过大而破裂或磨损的问题。

本实用新型的技术解决方案：基板镀膜装夹工具，其结构包括外框1、内框2、弹簧夹3、导柱4；其中，弹簧夹3处在内框2上，内框2与外框1之间通过导柱4连接；导柱4的长度大于内框2的厚度，内框2的两侧装有缓冲材料5。

本实用新型的优点：

1）对基板在真空镀膜工程中的震动起到缓冲减震的作用，从而避免基板边缘接触面压力过大而产生摩擦破损，并减小弯曲时表面的拉应力；

2）降低了真空镀膜工序的破片不良率；

3）为真空镀膜设备实现更快的生产节奏提供保障；

4）避免了基板边缘摩擦受损，提高了产品的弯曲强度。

附图说明

附图1是基板镀膜装夹工具的结构俯视示意图。

附图2是基板镀膜装夹工具的结构右侧示意图。

附图3是基板镀膜装夹工具的局部结构放大示意图。

附图中1是外框、2是内框、3是弹簧夹、4是导柱、5是缓冲材料。

具体实施方式

对照附图1-3，基板镀膜装夹工具，其结构包括外框1、内框2、弹簧夹3、导柱4；其中，弹簧夹3处在内框2上，内框2与外框1之间通过导柱4连接；导柱4的长度大于内框2的厚度，内框2的两侧装有缓冲材料5。

所述内框2上有孔，外框1上与内框2上孔的对应位置有螺纹孔。

所述内框2上孔的尺寸大于导柱4的直径，方便内框2沿导柱4方向往复移动，使内框有一定活动范围。

所述导柱4露出内框2一端固接有圆片，圆片的直径大于内框2上孔的直径，用来防止内框2脱出；导柱4的另一端有螺纹，导柱4的另一端通过自身螺纹和外框1上的螺纹孔配合锁紧在外框1上。

所述内框2的两侧加装有弹性的缓冲材料5，如弹簧、橡胶减震垫等，产生缓冲减震的作用，优选在内框2两侧的导柱4外围套装弹簧。

本实用新型中，将框架设计为内框2与外框1两套部件，外框1负责与镀膜设备装载机构的连接（位置相对固定），内框2负责基板的夹持，弹性夹及其附属开闭机构安装在内框上，使用本方案的装夹工具，基板在夹持边缘受力能够得到缓冲，从而避免了接触面压力过大而产生摩擦破损，并减小弯曲时表面的拉应力，避免基板破裂。

实施例1

基板镀膜装夹工具，其结构由外框1、内框2、18个弹簧夹3、14个导柱4、弹簧组成；其中，18个弹簧夹3均匀分布在内框2的四周上，内框2与外框1之间通过14个导柱4连接；每个导柱4的长度大于内框2的厚度，每个导柱4在内框2的两侧套有弹簧；在内框2的同一条边上，弹簧夹3和导柱4交替分布，受力更加均匀。

所述内框2上有孔，外框1上与内框2上孔的对应位置有螺纹孔。

所述内框2上孔的尺寸大于导柱4的直径，方便内框2沿导柱4方向上下移动，使内框有一定活动范围。

所述导柱4露出内框2一端固接有圆片，圆片的直径大于内框2上孔的直径，用来防止内框2脱出；导柱4的另一端螺纹，导柱4的另一端通过自身螺纹和外框1上的螺纹孔配合锁紧在外框1上。

Claims (5)

1.基板镀膜装夹工具，其特征是包括外框、内框、弹簧夹、导柱；其中，弹簧夹处在内框上，内框与外框之间通过导柱连接；导柱的长度大于内框的厚度，内框的两侧装有缓冲材料。

2.根据权利要求1所述的基板镀膜装夹工具，其特征是所述内框上有孔，外框上与内框上孔的对应位置有螺纹孔。

3.根据权利要求2所述的基板镀膜装夹工具，其特征是所述内框上孔的尺寸大于导柱的直径。

4.根据权利要求2所述的基板镀膜装夹工具，其特征是所述导柱露出内框一端固接有圆片，圆片的直径大于内框上孔的直径；导柱的另一端有螺纹，导柱的另一端通过螺纹和外框上的螺纹孔配合锁紧在外框上。

5.根据权利要求1所述的基板镀膜装夹工具，其特征是所述内框的两侧加装有弹性的缓冲材料。