CN206768274U - 用于提拉炉生长大尺寸晶体的籽晶杆 - Google Patents
用于提拉炉生长大尺寸晶体的籽晶杆 Download PDFInfo
- Publication number
- CN206768274U CN206768274U CN201720400514.5U CN201720400514U CN206768274U CN 206768274 U CN206768274 U CN 206768274U CN 201720400514 U CN201720400514 U CN 201720400514U CN 206768274 U CN206768274 U CN 206768274U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- seed
- seed crystal
- crystal
- head
- rod
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Abstract
本实用新型公开了一种用于提拉炉生长大尺寸晶体的籽晶杆,其包括籽晶杆身、籽晶杆头、籽晶头、籽晶身,籽晶杆身通过与提拉炉中的提拉机构相连接从而实现籽晶杆的连接和固定,籽晶杆身与籽晶杆头连接,籽晶头与籽晶身连接等,本实用新型由于籽晶头和籽晶杆头是采用接触面,籽晶受力均匀,能够有效的避免籽晶因受力不均匀而断裂的现象,从而防止晶体掉落,提高晶体的成品率;另外,籽晶杆在转动的时候,籽晶不会出现晃动摇摆的现象,有利于籽晶的对中,所生长的晶体重量越重,尤其是生长大尺寸的晶体时,籽晶杆固定籽晶的效果越好。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种籽晶杆,特别是涉及一种用于提拉炉生长大尺寸晶体的籽晶杆。
背景技术
提拉炉生长晶体所使用的籽晶杆,通常是将籽晶一端打孔或者用锉刀在籽晶一端磨出一个槽,使用销子将籽晶和籽晶杆贯穿在一起,从而将籽晶和籽晶杆连接固定在一起。但这种连接方式存在以下三个缺陷:
一、由于籽晶和籽晶杆是通过销子连接和固定,籽晶和籽晶杆之间相互配合不牢固,在籽晶杆旋转的过程中籽晶存在晃动、摇摆的现象,不利于晶体的生长。
二、由于籽晶一端是通过开孔或者开槽使用销子固定,当所生长的晶体较重时,在晶体生长结束后,销子所固定的籽晶一端受力不均匀且受力较大,极易造成籽晶扭折断裂而出现晶体掉落的现象。
三、在生长高温晶体时,特别是生长熔点超过2000℃以上的晶体时,由于铱销位置离液面较近,温度较高,铱销易出现高温下变形弯曲甚至粘连在铱杆上导致铱销断裂或者与铱杆粘连而无法取下。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种用于提拉炉生长大尺寸晶体的籽晶杆,其能够有效的解决目前籽晶杆使用铱销所带的来籽晶固定不稳、籽晶在铱销处受力不均、铱销弯曲断裂、铱销与铱杆粘连等问题,确保晶体生长过程的稳定运行。
本实用新型是通过下述技术方案来解决上述技术问题的:一种用于提拉炉生长大尺寸晶体的籽晶杆,其特征在于,其包括籽晶杆身、籽晶杆头、籽晶头、籽晶身,籽晶杆身与籽晶杆头连接,籽晶头和籽晶杆头是通过接触面耦合在一起,籽晶头与籽晶身连接,利用籽晶自身的重力实现籽晶头和籽晶杆头的紧密贴合,籽晶杆身通过与一个提拉炉中的提拉机构相连接从而实现籽晶杆的连接和固定,籽晶头与籽晶身是由单晶体整体式切割加工出来。
优选地,所述籽晶杆身和籽晶杆头的材料为铱金或铂金或钨钼。
优选地,所述籽晶杆身为空心圆柱体。
优选地,所述籽晶杆身和籽晶杆头是通过焊接方式相连接,籽晶杆身和籽晶杆头同心。
优选地,所述籽晶杆身内径为5-30mm,壁厚为0.5-3mm。
优选地,所述籽晶杆头为空心圆台。
优选地,所述籽晶头的形状为圆台状。
优选地,所述籽晶身为圆柱体。
本实用新型的积极进步效果在于:一,由于籽晶头和籽晶杆头是通过面接触耦合在一起,籽晶受力比较均匀,能够有效的避免籽晶因受力不均匀而断裂的现象,从而防止晶体掉落。二,籽晶杆在转动的时候,籽晶不会出现晃动摇摆的现象,有利于籽晶的对中,所生长的晶体重量越重,尤其是生长大尺寸的晶体时,籽晶杆固定籽晶的效果越好。三,籽晶杆与籽晶之间不采用销子固定,不会出现采用销子固定导致的销子弯曲、断裂或粘连问题,另外也节省了销子的采购成本。
附图说明
图1为本实用新型用于提拉炉生长大尺寸晶体的籽晶杆的机构示意图。
具体实施方式
下面结合附图给出本实用新型较佳实施例,以详细说明本实用新型的技术方案。
如图1所示,本实用新型用于提拉炉生长大尺寸晶体的籽晶杆包括籽晶杆身1、籽晶杆头2、籽晶头3、籽晶身4,籽晶杆身1与籽晶杆头2连接,籽晶头和籽晶杆头是通过面接触耦合在一起,利用籽晶自身4的重力实现籽晶头3和籽晶杆头2的紧密贴合,籽晶杆身4通过与一个提拉炉中的提拉机构相连接从而实现籽晶杆的连接和固定,籽晶头3与籽晶身4是由单晶体整体式切割加工出来。
籽晶杆身1和籽晶杆头2的材料都为铱金或铂金或钨钼等材料,这样熔点、强度和硬度都很高。
籽晶杆身1为空心圆柱体,这样籽晶身4可以从中贯穿。
籽晶杆身1和籽晶杆头2是通过焊接方式相连接,籽晶杆身1和籽晶头 3同心,这样可保持籽晶身4的同心度。
籽晶杆身1内径为5-30mm(最好是13mm),壁厚为0.5-3mm(最好是 1.8mm),结构简单。
籽晶杆头2为空心圆台,这样可以容易与籽晶头3连接。
籽晶杆头2的上底面内径为13mm,下底面内径为12mm,壁厚为2mm,高为13mm。
籽晶头3的形状为圆台状,这样可以紧密贴合籽晶杆头2。
籽晶头3的上底面直径为13mm,下底面直径为11.9mm,高为10mm。
籽晶身4为圆柱体,这样可以用于晶体生长。
籽晶身4的直径为11.9mm。
本实用新型的工作原理如下:籽晶杆身通过与提拉炉中的提拉机构相连接从而实现籽晶杆的连接和固定,籽晶杆身用于连接和固定籽晶杆头,籽晶杆头用于连接和固定籽晶头,籽晶头用于保证籽晶的同心度,籽晶身作为引晶用于晶体生长。
综上所述,本实用新型由于籽晶头和籽晶杆头通过面接触耦合在一起,籽晶受力比较均匀,能够有效的避免籽晶因受力不均匀而断裂的现象,从而防止晶体掉落,提高晶体的成品率,籽晶杆在转动的时候,籽晶不会出现晃动摇摆的现象,有利于籽晶的对中,所生长的晶体重量越重,尤其是生长大尺寸的晶体时,籽晶杆固定籽晶的效果越好。
以上所述的具体实施例,对本实用新型的解决的技术问题、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明,所应理解的是,以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已,并不用于限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内,所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种用于提拉炉生长大尺寸晶体的籽晶杆,其特征在于,其包括籽晶杆身、籽晶杆头、籽晶头、籽晶身,籽晶杆身与籽晶杆头连接,籽晶头和籽晶杆头是通过接触面耦合在一起,籽晶头与籽晶身连接,利用籽晶自身的重力实现籽晶头和籽晶杆头的紧密贴合,籽晶杆身通过与一个提拉炉中的提拉机构相连接从而实现籽晶杆的连接和固定,籽晶头与籽晶身是由单晶体整体式切割加工出来。
2.如权利要求1所述的用于提拉炉生长大尺寸晶体的籽晶杆,其特征在于,所述籽晶杆身和籽晶杆头的材料为铱金或铂金或钨钼。
3.如权利要求1所述的用于提拉炉生长大尺寸晶体的籽晶杆,其特征在于,所述籽晶杆身为空心圆柱体。
4.如权利要求1所述的用于提拉炉生长大尺寸晶体的籽晶杆,其特征在于,所述籽晶杆身和籽晶杆头是通过焊接方式相连接,籽晶杆身和籽晶杆头同心。
5.如权利要求1所述的用于提拉炉生长大尺寸晶体的籽晶杆,其特征在于,所述籽晶杆身内径为5-30mm,壁厚为0.5-3mm。
6.如权利要求1所述的用于提拉炉生长大尺寸晶体的籽晶杆,其特征在于,所述籽晶杆头为空心圆台。
7.如权利要求1所述的用于提拉炉生长大尺寸晶体的籽晶杆,其特征在于,所述籽晶头的形状为圆台状。
8.如权利要求1所述的用于提拉炉生长大尺寸晶体的籽晶杆,其特征在于,所述籽晶身为圆柱体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201720400514.5U CN206768274U (zh) | 2017-04-17 | 2017-04-17 | 用于提拉炉生长大尺寸晶体的籽晶杆 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201720400514.5U CN206768274U (zh) | 2017-04-17 | 2017-04-17 | 用于提拉炉生长大尺寸晶体的籽晶杆 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN206768274U true CN206768274U (zh) | 2017-12-19 |
Family
ID=60630292
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201720400514.5U Active CN206768274U (zh) | 2017-04-17 | 2017-04-17 | 用于提拉炉生长大尺寸晶体的籽晶杆 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN206768274U (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114686979A (zh) * | 2022-03-31 | 2022-07-01 | 徐州鑫晶半导体科技有限公司 | 可竖移止晃的提拉机构及其使用方法 |
-
2017
- 2017-04-17 CN CN201720400514.5U patent/CN206768274U/zh active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114686979A (zh) * | 2022-03-31 | 2022-07-01 | 徐州鑫晶半导体科技有限公司 | 可竖移止晃的提拉机构及其使用方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN206768274U (zh) | 用于提拉炉生长大尺寸晶体的籽晶杆 | |
CN202017072U (zh) | 单晶炉二次加料装置 | |
CN105145386A (zh) | 一种饲料供给装置 | |
CN104328485A (zh) | 一种提高直拉硅单晶生长速度的新型导流筒 | |
CN201762481U (zh) | 单晶炉籽晶夹头机构 | |
CN201842895U (zh) | 单晶硅生长炉的石墨坩埚 | |
CN202968737U (zh) | 一种晶体夹持装置及区熔单晶炉 | |
CN202090097U (zh) | 碳/碳复合材料组合坩埚 | |
CN206547293U (zh) | 一种便携式玉米播种机 | |
CN204918840U (zh) | 一种应用于蓝宝石炉中晶体生长的新型籽晶夹头 | |
CN208869715U (zh) | 单晶炉连续投料连续生长的阻隔装置 | |
CN209649204U (zh) | 水钻下料装置 | |
CN202214446U (zh) | 一种用于防止硅液飞溅的保护装置 | |
CN207713691U (zh) | 一种用于茶油籽的蒸运装置 | |
CN207303836U (zh) | 一种输电线路绝缘子串“r”销拔销钳 | |
CN202047168U (zh) | 一种单晶硅生长用籽晶夹头 | |
CN207347705U (zh) | 单晶炉石英坩埚的安装装置 | |
CN207904412U (zh) | 一种籽晶夹持结构 | |
CN206368220U (zh) | 一种籽晶杆 | |
CN207072979U (zh) | 一种单晶硅导流筒 | |
CN206285983U (zh) | 一种用于破碎玻璃的装置 | |
CN206109258U (zh) | 用于清洁剂生产的植物蛋白提取装置 | |
CN204125563U (zh) | 一种对中可调的籽晶夹持装置 | |
CN206173471U (zh) | 一种防结垢籽晶夹头 | |
CN201395640Y (zh) | 单晶炉的下炉体结构 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |