CN206696390U - 具有半导体元件置放模块之测试装置 - Google Patents

具有半导体元件置放模块之测试装置 Download PDF

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CN206696390U CN201720406403.5U CN201720406403U CN206696390U CN 206696390 U CN206696390 U CN 206696390U CN 201720406403 U CN201720406403 U CN 201720406403U CN 206696390 U CN206696390 U CN 206696390U
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陈南良
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Abstract

本实用新型公开了一种具有半导体元件置放模块之测试装置,包括机台、设于所述机台上的标准IC暂存区、测完IC暂存区、半导体元件测试区以及取放装置,其中所述标准IC暂存区内放置着至少一样本半导体元件,所述半导体元件测试区内设置着至少一测试模块,所述取放装置能驱动一半导体元件取放单元作水平及垂直方向的移动,当所述测试模块在运作中出现不良品数目超过设定值时,由所述取放装置将所述样本半导体元件由所述标准IC暂存区移载至所述测试模块,加以进一步验证,确认测试结果的正确性。

Description

具有半导体元件置放模块之测试装置
技术领域
本实用新型涉及半导体元件测试装置的技术领域,尤其指一种在测试运作中,能在短时间内对特定测试模块进行再次验证的具有半导体元件置放模块之测试装置。
背景技术
半导体元件测试装置是对半导体元件进行电性测试,用以区分出良品与不良品,当机台运作一段时间后,有时内部的测试模块可能产生故障,造成产品的不良品率升高,此时并无法判断是否为半导体元件本身电性异常或是测试模块损坏,所以通常需要中断半导体元件测试作业,进行额外的检修作业去发现检测异常的产生源,加以去除,因此不管半导体元件二次检测的程序或是停机检查机台,都是须花费额外的时间及人力,无形中也会增加测试成本及降低生产效率。且由于不是在不良品产生的第一时间内就加以复检或检查机台,往往须花费更多的人力及时间,才能发现异常产生原因,并将故障排除,也会让成本增加。
为此本申请人思考是否能于测试过程中,提供自动化的自我检测模式,适时消除因测试模块故障而产生误判的情形,如此将更为有效率地提升测试结果的准确性。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种具有半导体元件置放模块之测试装置,能实时确认测试装置是否异常,并加以排除,藉此提高测试作业的效率,从而克服现有技术的不足。
为达到上述目的,本实用新型的技术方案如下:
本实用新型公开了一种具有半导体元件置放模块之测试装置,是在机台上设有标准IC暂存区、测完IC暂存区、半导体元件测试区、以及取放装置,其中所述标准IC暂存区内放置着至少一样本半导体元件,所述半导体元件测试区内设置着至少一测试模块,所述取放装置能驱动至少一半导体元件取放单元作水平及垂直方向的移动,当所述测试模块在运作中出现不良品数目超过设定值时,由所述取放装置将所述样本半导体元件由所述标准IC暂存区移载至所述测试模块,并加以进一步验证,确认测试结果的正确性。
藉由本实用新型的具有半导体元件置放模块之测试装置,其机台上所设置的标准IC暂存区、测完IC暂存区,能将测试后列为不良品的半导体元件,暂时储放于所述测完IC完暂存区,待所述取放装置将样本半导体元件重新置放于原测试的测试模块,进一步验证测试结果, 若仍发生测试异常,就可实时发出一异常讯号,协助工程人员正确判断及排除异常原因。
在本实用新型中,所述标准IC暂放区可供放置多种不同的样本半导体元件,以供厂商能针对不同的异常情形设计适当的验证程序,提供一个或多个样本半导体元件至测试模块,以便更正确地了解异常发生原因。
本实用新型进一步包括有IC贴胶区与IC出料区,让所述取放装置能依设定将测试后的半导体元件移载至相对应的作业区内,以方便后续作业的进行。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例描述中或现有技术中所需要使用的附图作简单地介绍。
图1为本实用新型实施例1所公开的一种具有半导体元件置放模块之测试装置的剖视结构示意图;
图2为本实用新型实施例2所公开的一种具有半导体元件置放模块之测试装置的结构示意图。
附图标记说明:1-机台、2-半导体元件测试区、21-测试模块、3-标准IC暂存区、31-置放区、4-测完IC暂存区、41-置放区、5-取放装置、51-半导体元件取放单元、52-轨道机构、6-IC贴胶区、7-IC出料区、71-置放区。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
如图1所示,为本实用新型实施例1的具有半导体元件置放模块之测试装置的结构示意图,本实用新型的架构是在机台1上设有半导体元件测试区2、标准IC暂存区3、测完IC暂存区4、以及取放装置5。
所述半导体元件测试区2为测试半导体元件电性的主要工作区域,其内设有至少一测试模块21,实际上为了提升效率,一般设有复数组测试模块21,以一次性进行复数半导体元件的测试。
所述标准IC暂存区3具有至少一置放区31,每组置放区31内放置着至少一样本半导体元件,所述置放区31可配合所述复数测试模块21而为相对的数目,但并不以此为限。所述样本半导体元件的数目也可有多种不同的半导体元件,以免更换测试不同半导体元件时须重新放置其他组半导体元件。
所述测完IC暂存区4具有至少一置放区41,所述置放区41内具有载盘,以供放置测试完的半导体元件,本实施例中主要是作为不良品的暂存区,但并不以此为限,亦可规划少量的良品区。
所述取放装置5是用以吸取半导体元件于所述半导体元件测试区2、所述标准IC暂存区3、或测完IC暂存区4的间移载。其结构包括至少一半导体元件取放单元51及轨道机构52,所述轨道机构52负责带动所述半导体元件取放单元51作水平方向(X-Y轴)的移动,所述半导体元件取放单元51则具有吸取半导体元件及作垂直方向(Z轴)移动的能力,藉由系统设定,适时将不同的半导体元件放置于适当的作业区内。
接着就本实用新型的运用模式作一简单的说明,待测半导体元件由所述取放装置5移载所述半导体元件测试区2内相对应的所述测试模块21内,依测试结果将测试完的半导体元件移载所述测完IC暂存区4相对应的置放区41内,若在单位时间或预定测试数量内,某一测试模块21出现不良品数目超过设定值时,则将进行一验证程序,由所述取放装置5自所述标准IC暂存区3内吸取相对应的样本半导体元件,之后并移动放置于欲验证的所述测试模块21处,进行相对的验证测试,如果判定为良品,则代表系统正常,持续进行测试作业。但如果被判定为不良品,代表所述测试模块21已现异常情形,此时机器可实时产生一异常讯号,协助工程人员进行异常的排除,如更换一组新的测试模块或进行检修。如此一来,运用本实用新型的设计就能在短时间内,确认是测试结果是否正确,或进行异常排除,藉此提升生产效率。
如图2所示,为本实用新型实施例2的具有半导体元件置放模块之测试装置的结构示意图。在本实施例2进一步包括有IC贴胶区6与IC出料区7,所述IC出料区7内亦具有复数组置放区71,此两区主要是收集经组测试后为良品的半导体元件,及收集少数不良品的半导体元件,依厂商出货的方式是将半导体元件放置于所述IC贴胶区6或是所述IC出料区7的载盘上。其中半导体元件的移载作业亦由所述取放装置5负责。于一较佳的实施例中,半导体元件可为裸晶(Bare die),透过本实用新型具有半导体元件置放模块之测试装置,可将裸晶放置于IC贴胶区6,以利进行封装的后续制程。
对所公开的实施例的上述说明,使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的,本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下,在其它实施例中实现。因此,本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例,而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (3)

1.一种具有半导体元件置放模块之测试装置,其特征在于:包括机台、设于所述机台上的标准IC暂存区、测完IC暂存区、半导体元件测试区以及取放装置,其中所述标准IC暂存区内放置着至少一样本半导体元件,而所述半导体元件测试区内设置着至少一测试模块,所述取放装置能驱动一半导体元件取放单元作水平及垂直方向的移动,当所述测试模块在运作中出现不良品数目超过设定值时,再由所述取放装置将所述样本半导体元件由所述标准IC暂存区移载至所述测试模块,加以进一步验证,确认测试结果的正确性。
2.根据权利要求1所述的一种具有半导体元件置放模块之测试装置,其特征在于:该测试装置还包括一IC出料区。
3.根据权利要求1所述的一种具有半导体元件置放模块之测试装置,其特征在于:该测试装置还包括一IC贴胶区。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108169934A (zh) * 2017-12-15 2018-06-15 苏州华兴源创电子科技有限公司 一种液晶面板检测方法和系统

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