CN206616289U - 一种提拉法制备蓝宝石晶体的装置 - Google Patents
一种提拉法制备蓝宝石晶体的装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN206616289U CN206616289U CN201720361295.4U CN201720361295U CN206616289U CN 206616289 U CN206616289 U CN 206616289U CN 201720361295 U CN201720361295 U CN 201720361295U CN 206616289 U CN206616289 U CN 206616289U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- male structure
- coil
- outer male
- czochralski method
- method prepares
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims abstract description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 14
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 12
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 title claims abstract description 12
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims abstract description 9
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 9
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims abstract description 3
- 230000005611 electricity Effects 0.000 claims 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 3
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 2
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 2
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000010431 corundum Substances 0.000 description 1
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000013467 fragmentation Methods 0.000 description 1
- 238000006062 fragmentation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
本实用新型属于晶体生长设备领域,具体涉及一种提拉法制备蓝宝石晶体的装置。所要解决的技术问题是如何提高提拉法制备蓝宝石晶体的电磁效率。采用的技术方案为:一种提拉法制备蓝宝石晶体的装置,包括炉体,在炉体内部设置有坩埚,在坩埚四周包裹有石英圈,在石英圈外缠绕有电磁线圈,所述电磁线圈有外凸结构,所述外凸结构由相邻的三圈线圈构成,所述三圈线圈中间的一个线圈的内直径为D+0.75d,其余两个线圈的内直径为D+0.5d,其中,D为外凸结构之外的其他线圈的内径,d为缠绕电磁线圈的线缆的直径;相邻两个外凸结构之间的线圈圈数为3‑5圈,最上端外凸结构之上和最下端外凸结构之下的线圈圈数为2‑3圈。
Description
技术领域
本实用新型属于晶体生长设备领域,具体涉及一种提拉法制备蓝宝石晶体的装置。
背景技术
蓝宝石俗称刚玉,具有优良的机械、光学、化学、电学特性,并且能够耐高温,抗辐射被广泛用于耐磨器件、光学窗口、衬底材料、导弹整流罩等领域。目前,蓝宝石生长的工艺中,提拉法是比较好的方法之一。在提拉法生长过程中,生长炉内的热场分布,对生长出的晶体质量至关重要。生长炉内轴向和径向温度梯度过大或过小都会使晶体产生缺陷。蓝宝石晶体生长过程中,如果温度梯度过大,晶体中就会残余相当大的热应力,热应力过大就会使晶体碎裂;如果温度梯度过小时,晶体生长动力不够,晶体不能完全生长。现有技术中工装外壁由若干层实心保温层组成,由于工装的外径大、尺寸厚,使得保温层外的电磁线圈直径较大,电磁线圈同坩埚距离较远,造成电磁效率低,能耗大。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是如何提高提拉法制备蓝宝石晶体的电磁效率。
具体的,采用的技术方案为:
一种提拉法制备蓝宝石晶体的装置,包括炉体,在炉体内部设置有坩埚,在坩埚四周包裹有石英圈,在石英圈外缠绕有电磁线圈,所述电磁线圈有外凸结构,所述外凸结构由相邻的三圈线圈构成,所述三圈线圈中间的一个线圈的内直径为D+0.75d,其余两个线圈的内直径为D+0.5d,其中,D为外凸结构之外的其他线圈的内径,d为缠绕电磁线圈的线缆的直径;相邻两个外凸结构之间的线圈圈数为3-5圈,最上端外凸结构之上和最下端外凸结构之下的线圈圈数为2-3圈。
本实用新型具有如下有益效果:由于工装的外径大、尺寸厚,使得保温层外的电磁线圈直径较大,电磁线圈同坩埚距离较远,造成电磁效率低,能耗大;本实用新型通过线圈直径的规律性的微小改变,在主体线圈形成的涡流的基础上,形成多个微小变量的涡流,两种形式的涡流相互作用,有利于提高电磁线圈的加热效率。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图中,1为炉体,2为坩埚,3为石英圈,4为电磁线圈。
具体实施方式
下面的实施例可以使本领域技术人员更全面地理解本实用新型,但不以任何方式限制本实用新型。
实施例1
如图1所示,一种提拉法制备蓝宝石晶体的装置,包括炉体1,在炉体1内部设置有坩埚2,在坩埚2四周包裹有石英圈3,在石英圈3外缠绕有电磁线圈4,所述电磁线圈4有外凸结构,所述外凸结构由相邻的三圈线圈构成,所述三圈线圈中间的一个线圈的内直径为D+0.75d,其余两个线圈的内直径为D+0.5d,其中,D为外凸结构之外的其他线圈的内径,d为缠绕电磁线圈4的线缆的直径;相邻两个外凸结构之间的线圈圈数为3-5圈,最上端外凸结构之上和最下端外凸结构之下的线圈圈数为2-3圈。
本领域技术人员应理解,以上实施例仅是示例性实施例,在不背离本实用新型的精神和范围的情况下,可以进行多种变化、替换以及改变。
Claims (1)
1.一种提拉法制备蓝宝石晶体的装置,其特征在于,包括炉体(1),在炉体(1)内部设置有坩埚(2),在坩埚(2)四周包裹有石英圈(3),在石英圈(3)外缠绕有电磁线圈(4),所述电磁线圈(4)有外凸结构,所述外凸结构由相邻的三圈线圈构成,所述三圈线圈中间的一个线圈的内直径为D+0.75d,其余两个线圈的内直径为D+0.5d,其中,D为外凸结构之外的其他线圈的内径,d为缠绕电磁线圈(4)的线缆的直径;相邻两个外凸结构之间的线圈圈数为3-5圈,最上端外凸结构之上和最下端外凸结构之下的线圈圈数为2-3圈。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201720361295.4U CN206616289U (zh) | 2017-04-08 | 2017-04-08 | 一种提拉法制备蓝宝石晶体的装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201720361295.4U CN206616289U (zh) | 2017-04-08 | 2017-04-08 | 一种提拉法制备蓝宝石晶体的装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN206616289U true CN206616289U (zh) | 2017-11-07 |
Family
ID=60235756
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201720361295.4U Active CN206616289U (zh) | 2017-04-08 | 2017-04-08 | 一种提拉法制备蓝宝石晶体的装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN206616289U (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113747623A (zh) * | 2021-08-17 | 2021-12-03 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 一种用于冻融阀放料的中频感应线圈及其使用方法 |
-
2017
- 2017-04-08 CN CN201720361295.4U patent/CN206616289U/zh active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113747623A (zh) * | 2021-08-17 | 2021-12-03 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 一种用于冻融阀放料的中频感应线圈及其使用方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN103215635B (zh) | 一种蓝宝石单晶炉保温结构 | |
CN105256371B (zh) | 一种提高物理气相传输法晶体生长炉温场均匀性的装置 | |
CN105200515A (zh) | 一种用于SiC单晶生长炉的感应线圈及其应用 | |
CN206616289U (zh) | 一种提拉法制备蓝宝石晶体的装置 | |
CN205152397U (zh) | 一种提高物理气相传输法晶体生长炉温场均匀性的装置 | |
CN107604439A (zh) | 一种生长大尺寸碳化硅单晶的热场结构 | |
CN202440568U (zh) | 一种用于生长碳化硅晶棒的石墨坩埚 | |
CN103205803B (zh) | 在蓝宝石单晶炉中应用的氧化锆保温结构 | |
CN202931585U (zh) | 一种感应线圈加热冷却用同轴电极 | |
WO2017181764A1 (zh) | 一种精密控制6英寸碳化硅单晶生长温场的方法 | |
CN102249534B (zh) | 大直径光纤预制棒感应拉丝炉加温装置 | |
CN103469305B (zh) | 蓝宝石晶体长晶方法及其专用长晶设备 | |
CN105316759A (zh) | 一种带有内部水冷单晶炉用涂层热屏 | |
CN202430328U (zh) | 一种用于直拉单晶炉热场的加热器 | |
CN204097595U (zh) | 一种四节式炭素材料组合坩埚 | |
CN102912430A (zh) | 一种蓝宝石晶体生长设备及生长方法 | |
CN205774932U (zh) | 一种应用在碳化硅单晶炉中的氧化锆保温结构 | |
CN202175738U (zh) | 电磁效率高的提拉法生长蓝宝石晶体的炉体 | |
CN203091356U (zh) | 一种管道防腐层的去除装置 | |
CN203923460U (zh) | 单晶炉热场及具有该单晶炉热场的单晶炉 | |
CN202658262U (zh) | 一种用于拉制5寸区熔单晶硅加热线圈 | |
CN202658263U (zh) | 一种用于拉制6寸区熔单晶硅加热线圈 | |
CN205821516U (zh) | 一种泡生法蓝宝石晶体生长籽晶夹结构 | |
CN207294941U (zh) | 方硅芯铸锭炉炉体 | |
CN204335003U (zh) | 一种新型电磁炉线盘支架 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant | ||
TR01 | Transfer of patent right | ||
TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20200921 Address after: 030600 Shanxi Jinzhong Shanxi demonstration zone Jinzhong Development Zone Huitong Industrial Park Machinery Park No. 2 Patentee after: Chen Hong Address before: 030600 No. 2 machinery Park, Jinzhong Development Zone, Shanxi, Jinzhong Patentee before: SHANXI ZHONGJU JINGKE SEMICONDUCTOR Co.,Ltd. |