CN206541125U - 对位镜头和曝光机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及显示装置制备技术领域,公开了一种对位镜头和曝光机,用以提高对位的准确性和方便性,提高显示装置的成品率。其中对位镜头包括镜头本体,镜头本体的周围分布有至少两种颜色的光源,且每种颜色的光源的亮度可调;与镜头本体信号连接的控制器,控制器用于当镜头本体采集到的聚焦得分值小于预先设定的阈值时产生报警信号;与控制器信号连接的报警器,报警器根据接收到的报警信号产生告警。
Description
技术领域
本实用新型涉及显示器制备技术领域,尤其涉及一种对位镜头和曝光机。
背景技术
现有技术彩色滤光片的制作多采用接近式曝光机曝光的方式,通常在使用接近式曝光机时,玻璃基板上的对位标记(Work mark)与掩模板上的对位标记(Mask mark)进行对位时,周围环境内的光线较暗,对位镜头很难找到两种对位标记,因此在对位镜头四周需要设置辅助光源。
如图1所示,在对位进行时,辅助光源03向下方投射光线,便于对位镜头01找到对位标记02并完成对位。而在现阶段高色域彩膜基板的生产过程中,在满足色度要求的前提下,光刻胶涂布的厚度不断增大,单一颜色的辅助光源发出的光线在穿透掩模板与光刻胶后,大部分光线会被散射或吸收,反射的光线强度减弱,如图2所示,这样会导致聚焦清晰度过低(即聚焦得分值Score值低于阈值),进而会造成对位失败或对位精度下降现象的发生,在生产高分辨率彩膜基板时,很容易造成像素漏光或混色,影响显示装置的显示效果。
实用新型内容
本实用新型提供了一种对位镜头和曝光机,用以提高对位的准确性和方便性,提高显示装置的成品率。
为达到上述目的,本实用新型提供以下技术方案:
本实用新型提供了一种对位镜头,用于曝光机中,包括:
镜头本体,所述镜头本体的周围分布有至少两种颜色的光源,且每种颜色的所述光源的亮度可调;
与镜头本体信号连接的控制器,所述控制器用于当所述镜头本体采集到的聚焦得分值小于预先设定的阈值时产生报警信号;
与所述控制器信号连接的报警器,所述报警器根据接收到的报警信号产生告警。
本实用新型提供的对位镜头,通过设置至少两种颜色的光源,并将光源的亮度设置的可以调节,提高光源照射向掩模板和光刻胶后反射的光线的强度,可以提高对位标记的亮度,同时通过设置的控制器和报警装置,便于提醒操作人员调节每种颜色的光源的亮度,以使得对位镜头本体在最佳的亮度下对掩模板和基板进行对位。
故本实用新型提供的对位镜头,可以提高对位的准确性和方便性,提高显示装置的成品率。
在一些可选的实施方式中,每种颜色的所述光源均包括:多个围绕所述镜头本体分布的发光单元。将光源选择的颜色多一些,能够更好的提高光源射向掩模板和光刻胶后反射的光线的强度。
在一些可选的实施方式中,每种颜色的所述光源内的发光单元呈圆形分布或呈矩形分布。这样可以使得光源发出的每种颜色的光分散些。
在一些可选的实施方式中,每个所述发光单元为发光二极管。
在一些可选的实施方式中,所述光源为四种颜色,沿所述镜头本体的半径的延伸方向、四种颜色的所述光源依次排列。
在一些可选的实施方式中,四种颜色的所述光源分别为红色光源、绿色光源、蓝色光源和白色光源。
在一些可选的实施方式中,四种颜色的所述光源分别为红色光源、绿色光源、蓝色光源和黄色光源。
在一些可选的实施方式中,上述对位镜头,还包括:
记录器,所述记录器与所述镜头本体信号连接,当对位成功时,所述记录器保存此时各个光源对应的亮度值。记录器的设置,可以便于操作人员下次再对同样的基板进行对位时可以直接控制光源输出对应的亮度,不需要再次调节光源的亮度,这样可以提高制备效率。
在一些可选的实施方式中,上述对位镜头还包括:用于调节每种颜色的光源亮度的调节钮。
本实用新型还提供了一种曝光机,包括上述任一项所述的对位镜头。由于上述对位镜头可以提高对位的准确性和方便性,提高显示装置的成品率。故本实用新型提供的曝光机具有较好的实用性和较好的曝光效率。
附图说明
图1为现有技术中的对位镜头的结构示意图;
图2为现有技术中的对位镜头采集到的对位标记的结构示意图;
图3为本实用新型实施例提供的对位镜头的结构示意图;
图4为本实用新型实施例提供的对位镜头采集到的对位标记的结构示意图;
图5为本实用新型提供的曝光机的一种结构示意图;
图6为本实用新型提供的曝光机的一种使用流程图。
附图标记:
01-对位镜头 02-对位标记
03-辅助光源 1-对位镜头
11-镜头本体 12-光源
2-掩模板 3-掩模板支撑台
4-光刻胶层 5-基板
6-基板支撑台 7-对位标记
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型专利保护的范围。
接近式曝光机在进行掩模板和基板对位时,对位镜头需要在黑暗的环境中,通过镜头本体周围的光源向对位标记投射光线,以辅助对位镜头找到对位标记并完成掩模板和基板的对位,但随着显示面板的分辨率不断的提高,基板的色域不断提高,光刻胶的厚度不断增加,现有技术中的镜头本体周围的单色的光源发出的光穿过掩模板和光刻胶层后,大部分光线会被吸收或散射,这样经过基板再反射向镜头本体的光线强度将较弱。
为解决上述问题,如图3、图4以及图5所示,本实用新型提供了一种对位镜头1,用于曝光机中,包括:
镜头本体11,镜头本体11的周围分布有至少两种颜色的光源12,且每种颜色的光源12的亮度可调;
与镜头本体11信号连接的控制器,控制器用于当镜头本体11采集到的聚焦得分值小于预先设定的阈值时产生报警信号;
与控制器信号连接的报警器,报警器根据接收到的报警信号产生告警。便于提醒操作人员调节每种颜色的光源12的亮度,以使得对位镜头1本体在最佳的亮度下对基板5进行对位。
本实用新型提供的对位镜头1应用于曝光机中,如图5所示,将涂覆有光刻胶层4的基板5放置于基板支撑台6上,放置有掩模板2的掩模板支撑台3与基板5正对设置,对位镜头1位于掩模板背离基板5的一侧,打开对位镜头1内的光源12,控制器根据镜头本体采集到的聚焦得分值与设定的阈值的比较结果控制报警器报警,提醒操作者调节光源12的亮度,使得镜头本体11采集到的对位标记7的清晰度不断提高,如图4所示,当对位镜头1达到对位所需要的聚焦清晰度时即对位完成。
可见,本实用新型提供的对位镜头1,通过设置至少两种颜色的光源12,并将光源12的亮度设置的可以调节,这样可以提高光源12照射向掩模板和光刻胶后反射的光线的强度,可以提高对位标记7的亮度,使得对位镜头1发出的光可以辅助镜头本体11更好的找到对位标记7并完成对位。
故本实用新型提供的对位镜头1,可以提高对位的准确性和方便性,提高显示装置的成品率。
本实用新型提供的实施例中,镜头本体11可以采用CCD摄像头,CCD,英文全称:Charge-coupled Device,中文全称:电荷耦合元件。可以称为CCD图像传感器,也叫图像控制器。CCD是一种半导体器件,能够把光学影像转化为电信号。CCD上植入的微小光敏物质称作像素(Pixel)。一块CCD上包含的像素数越多,其提供的画面分辨率也就越高。CCD的作用就像胶片一样,但它是把光信号转换成电荷信号。CCD上有许多排列整齐的光电二极管,能感应光线,并将光信号转变成电信号,经外部采样放大及模数转换电路转换成数字图像信号。
本实用新型实施例,每种颜色的光源12均包括:多个围绕镜头本体11分布的发光单元。将光源12选择的颜色多一些,能够更好的提高光源12射向掩模板和光刻胶后反射的光线的强度。
上述光源12的发光单元的排列方式可以有多种,本实用新型提供的一种实施例中,每种颜色的光源12内的发光单元呈圆形分布或呈矩形分布。这样可以使得光源12发出的每种颜色的光分散些。
可选的,每个发光单元为发光二极管。
本实用新型提供的光源12的颜色种类可以有多种,可以根据实际需要设定,一种可选的实施方式中,光源12为四种颜色,沿镜头本体11的半径的延伸方向、四种颜色的光源12依次排列。
一种具体实施方式中,四种颜色的光源12分别为红色光源、绿色光源、蓝色光源和白色光源。
另一种具体实施方式中,四种颜色的光源12分别为红色光源、绿色光源、蓝色光源和黄色光源。
为了便于调节光源12的亮度,可以在对位镜头1内设置一些控制光源12亮度的调节按钮,操作人员可以旋动调节按钮调节光源12的亮度,也可以通过操作手柄控制光源12的亮度。
进一步的,上述对位镜头1,还包括:
记录器,记录器与镜头本体11信号连接,当对位成功时,记录器保存此时各个光源12对应的亮度值。记录器的设置,可以便于操作人员下次再进行同样的基板5对位时可以直接控制光源12输出对应的亮度,不需要再次调节光源12的亮度,这样可以提高制备效率。
上述对位镜头还包括:用于调节每种颜色的光源亮度的调节钮,该调节钮可以设置于镜头本体上。
如图5所示,本实用新型还提供了一种曝光机,包括上述任一项所述的对位镜头1。由于上述对位镜头1可以提高对位的准确性和方便性,提高显示装置的成品率。故本实用新型提供的曝光机具有较好的实用性和较好的曝光效率。
本实用新型提供的曝光机在使用时,一种使用方式为:如图5和图6所示,将涂覆有光刻胶层4的基板5放置于基板支撑台6上,放置有掩模板2的掩模板支撑台3与基板5正对设置,对位镜头1位于掩模板背离基板5的一侧,执行步骤S601:对位镜头1内的光源12开启,执行步骤S602:镜头本体11搜索视野范围内的对位标记7,执行步骤S603:移动基板支撑台6或掩模板支撑台3进行基板5和掩模板2的对位,执行步骤S604:采集对位标记7处聚焦得分值并与预先设定的阈值对比,若该聚焦得分值小于预先设定的阈值,则执行步骤S606:发出警报提醒操作人调节光源12的亮度、直至聚焦得分值大于预先设定的阈值;若该聚焦得分值大于预先设定的阈值,则执行步骤S605:对位完成并开始曝光操作。
显然,本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样,倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内,则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
Claims (10)
1.一种对位镜头,用于曝光机中,其特征在于,包括:
镜头本体,所述镜头本体的周围分布有至少两种颜色的光源,且每种颜色的所述光源的亮度可调;
与镜头本体信号连接的控制器,所述控制器用于当所述镜头本体采集到的聚焦得分值小于预先设定的阈值时产生报警信号;
与所述控制器信号连接的报警器,所述报警器根据接收到的报警信号产生告警。
2.根据权利要求1所述的对位镜头,其特征在于,每种颜色的所述光源均包括:多个围绕所述镜头本体分布的发光单元。
3.根据权利要求2所述的对位镜头,其特征在于,每种颜色的所述光源内的发光单元呈圆形分布或呈矩形分布。
4.根据权利要求3所述的对位镜头,其特征在于,每个所述发光单元为发光二极管。
5.根据权利要求1所述的对位镜头,其特征在于,所述光源为四种颜色,沿所述镜头本体的半径的延伸方向、四种颜色的所述光源依次排列。
6.根据权利要求5所述的对位镜头,其特征在于,四种颜色的所述光源分别为红色光源、绿色光源、蓝色光源和白色光源。
7.根据权利要求5所述的对位镜头,其特征在于,四种颜色的所述光源分别为红色光源、绿色光源、蓝色光源和黄色光源。
8.根据权利要求1~7任一项所述的对位镜头,其特征在于,还包括:
记录器,所述记录器与所述镜头本体信号连接,当对位成功时,所述记录器保存此时各个光源对应的亮度值。
9.根据权利要求8所述的对位镜头,其特征在于,还包括:用于调节每种颜色的光源亮度的调节钮。
10.一种曝光机,其特征在于,包括如权利要求1~9任一项所述的对位镜头。
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