CN206529542U - 一种单晶炉转轴冷却装置 - Google Patents
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Abstract
一种单晶炉转轴冷却装置，该单晶炉的坩埚在升降机构的带动下上升或下降并在下降后置于机架上，坩埚的底部固定连接有通过减速电机带动旋转的转轴以使转轴带动坩埚旋转，转轴的下端伸入冷却装置的水套内，以使水套内的冷却水对转轴进行冷却降温，所述冷却装置还包括固定安装在机架上的用以防止水套发生周向位移的限位架。本实用新型冷却效果好，且不易损坏，保证生产效率，降低生产成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶硅棒生产制造时所用的单晶炉技术领域，具体涉及一种单晶炉转轴冷却装置。
背景技术
单晶炉是单晶硅棒拉制中的重要设备，设备的正常运转是保证单晶硅棒正常拉制的关键因素。在拉制硅单晶硅棒的过程中，单晶炉的转轴带动坩埚转动，转轴位于单晶炉高温炉台内部，因此需要对转轴进行冷却以保证转轴正常工作，并延长转轴的使用寿命。
现有技术中对单晶炉转轴进行冷却的冷却装置结构复杂，冷却效果差，造成转轴经常损坏，严重影响生产。且现有技术中采用水套对转轴进行冷却降温时，水套在转轴的转动作用下容易发生周向位移，容易损坏水套，轻者造成冷却水泄露，重者会损坏单晶炉，影响生产。
实用新型内容
为解决对单晶炉转轴进行冷却的冷却装置的冷却效果差以及采用水套冷却时水套容易损坏的技术问题，本实用新型的目的是提供一种单晶炉转轴冷却装置，冷却效果好，且不易损坏，保证生产效率，降低生产成本。
本实用新型所采用的技术方案是：一种单晶炉转轴冷却装置，该单晶炉的坩埚在升降机构的带动下上升或下降并在下降后置于机架上，坩埚的底部固定连接有通过减速电机带动旋转的转轴以使转轴带动坩埚旋转，转轴的下端伸入冷却装置的水套内，以使水套内的冷却水对转轴进行冷却降温，水套通过连接件与升降机构连接，进而实现水套与转轴同时上升或下降，在水套上设置有分别与水套贯通连接的循环进水管和循环出水管，且循环出水管位于循环进水管的正上方，所述冷却装置还包括固定安装在机架上的用以防止水套发生周向位移的限位架，限位架包括两个分别位于循环出水管两侧的竖向限位板，两个竖向限位板通过位于循环出水管上方的横向连接板a固定连接后形成限制循环出水管和循环进水管周向移动的限位框，两个竖向限位板中靠近减速电机的竖向限位板向上延伸并与承担减速电机重量的横向连接板b的一端垂直固定连接，横向连接板b的另一端延伸出机架后与竖向连接板的一端垂直固定连接，竖向连接板的另一端与横向连接板c的一端固定连接，横向连接板c的另一端通过螺丝钉固定在机架上。
所述横向连接板a、横向连接板b和横向连接板c相互之间呈平行设置。
所述竖向限位板和竖向连接板平行设置。
与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：
一、本实用新型中水套随转轴同时上升或下降，保证时刻对转轴进行冷却，冷却效果好，所设置的限位架防止水套发生周向位移，使水套在上升或下降的过程中不会因为卡到单晶炉的其它构件而损坏；
二、本实用新型中的限位架在保证自身强度的同时不影响减速电机的正常运转，方便实用；
三、本实用新型不易损坏，使用寿命长，从而使单晶炉能正常工作，保证生产效率，同时降低了生产成本。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图中标记：1、坩埚 ，2、转轴，3、水套，4、限位架，401、竖向限位板，402、横向连接板a，403、横向连接板b，404、竖向连接板，405、横向连接板c，406、螺丝钉，5、循环进水管，6、循环出水管，7、机架，8、减速电机。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型作详细说明，本实施例以本实用新型技术方案为前提，给出了详细的实施方式和具体的操作过程，但本实用新型的保护范围不限于下述的实施例。
如图所示，一种单晶炉转轴冷却装置，该单晶炉的坩埚1在升降机构的带动下上升或下降并在下降后置于机架7上，坩埚1的底部固定连接有通过减速电机8带动旋转的转轴2以使转轴2带动坩埚1旋转，转轴2的下端伸入冷却装置的水套3内，以使水套3内的冷却水对转轴2进行冷却降温，水套3通过连接件与升降机构连接，进而实现水套3与转轴2同时上升或下降，在水套3上设置有分别与水套3贯通连接的循环进水管5和循环出水管6，且循环出水管6位于循环进水管5的正上方，所述冷却装置还包括固定安装在机架7上的用以防止水套3发生周向位移的限位架4，限位架4包括两个分别位于循环出水管6两侧的竖向限位板401，两个竖向限位板401通过位于循环出水管6上方的横向连接板a402固定连接后形成限制循环出水管6和循环进水管5周向移动的限位框，两个竖向限位板401中靠近减速电机8的竖向限位板401向上延伸并与承担减速电机8重量的横向连接板b403的一端垂直固定连接，横向连接板b403的另一端延伸出机架7后与竖向连接板404的一端垂直固定连接，竖向连接板404的另一端与横向连接板c405的一端固定连接，横向连接板c405的另一端通过螺丝钉406固定在机架7上。所述升降机构包括设置在坩埚1下方的气缸，气缸的活塞杆端头与坩埚1固定连接并带动坩埚上升或下降，并同时带动转轴2与坩埚1同步上升或下降。水套3通过连接件与气缸的活塞杆连接，以实现水套3和转轴2同步上升或下降。
以上为本实用新型的基本实施方式，可在以上基础上做进一步的改进、优化和限定：
如，所述横向连接板a402、横向连接板b403和横向连接板c405相互之间呈平行设置。
又如，所述竖向限位板401和竖向连接板404平行设置。
Claims (3)
1.一种单晶炉转轴冷却装置，该单晶炉的坩埚（1）在升降机构的带动下上升或下降并在下降后置于机架（7）上，坩埚（1）的底部固定连接有通过减速电机（8）带动旋转的转轴（2）以使转轴（2）带动坩埚（1）旋转，其特征在于：转轴（2）的下端伸入冷却装置的水套（3）内，以使水套（3）内的冷却水对转轴（2）进行冷却降温，水套（3）通过连接件与升降机构连接，进而实现水套（3）与转轴（2）同时上升或下降，在水套（3）上设置有分别与水套（3）贯通连接的循环进水管（5）和循环出水管（6），且循环出水管（6）位于循环进水管（5）的正上方，所述冷却装置还包括固定安装在机架（7）上的用以防止水套（3）发生周向位移的限位架（4），限位架（4）包括两个分别位于循环出水管（6）两侧的竖向限位板（401），两个竖向限位板（401）通过位于循环出水管（6）上方的横向连接板a（402）固定连接后形成限制循环出水管（6）和循环进水管（5）周向移动的限位框，两个竖向限位板（401）中靠近减速电机（8）的竖向限位板（401）向上延伸并与承担减速电机（8）重量的横向连接板b（403）的一端垂直固定连接，横向连接板b（403）的另一端延伸出机架（7）后与竖向连接板（404）的一端垂直固定连接，竖向连接板（404）的另一端与横向连接板c（405）的一端固定连接，横向连接板c（405）的另一端通过螺丝钉（406）固定在机架（7）上。
2.如权利要求1所述的一种单晶炉转轴冷却装置，其特征在于：所述横向连接板a（402）、横向连接板b（403）和横向连接板c（405）相互之间呈平行设置。
3.如权利要求1所述的一种单晶炉转轴冷却装置，其特征在于：所述竖向限位板（401）和竖向连接板（404）平行设置。
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108456918A (zh) * | 2018-06-20 | 2018-08-28 | 南京晶能半导体科技有限公司 | 一种用于半导体硅单晶炉的翻板阀及单晶炉 |
| CN109610000A (zh) * | 2019-02-19 | 2019-04-12 | 冯萍 | 一种热场供热稳定的单晶炉 |
| CN116697753A (zh) * | 2023-08-10 | 2023-09-05 | 四川杉杉新材料有限公司 | 一种坩埚转移装置 |
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