CN206489371U - 亚微米级3d打印光学系统 - Google Patents
亚微米级3d打印光学系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN206489371U CN206489371U CN201720080201.6U CN201720080201U CN206489371U CN 206489371 U CN206489371 U CN 206489371U CN 201720080201 U CN201720080201 U CN 201720080201U CN 206489371 U CN206489371 U CN 206489371U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- optical system
- submicron order
- printing
- lens
- projection objective
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Abstract
本实用新型属于3D打印技术领域，具体为亚微米级3D打印光学系统。亚微米级3D打印光学系统，包括依次按照在同一光线路上的DLP投影光机、远心镜头、定焦镜头、反射镜；反射镜的反射光线路上有投影物镜，投影物镜上方有照相物镜。本实用新型提供的一种亚微米级3D打印光学系统，是采用多光学系统级联，简化了现有光固化3D打印机光学系统的设计，设备成本降低，并可以实现更稳定的成型品质；使DLP投影出亚微米级别的图形，从而打印出亚微米精度的三维模型。
Description
技术领域
本实用新型属于3D打印技术领域，具体为亚微米级3D打印光学系统。
背景技术
3D打印是所见即所得，从三维模型软件中设计的模型直接转换成三维实体。传统机械加工制造技术主要为减材制造，包括车削、铣削、镗削、钻、刨、研磨、抛光等。一般过程是加工技师根据图纸选用其中几种加工方法组合，从而进行机械加工。每一种步骤都会对材料进行去除，同时需要设计复杂夹具来辅组加工。而三维打印技术属于增材制造范畴，一般不需要进行特殊的工装夹具，偶尔仅仅只需修改模型，增加支撑部位。大大简化了制造的过程，同时也可以快速制备复杂模型。
3D打印技术主要分为SLA、DLP、FDM、SLS、DED、LOM等。目前的普通三维打印技术精度普遍在百微米级别。很多材料可以通过设计亚微米结构来改变材料的光学、机械、声学等特性。例如光子晶体、声子晶体等。传统的DLP三维打印微立体光刻技术，是用紫外LED或者汞灯照明DMD芯片，把DMD作为数字掩模，将DMD的图像经过投影物镜放大，投影出来的系统。目前DLP三维打印系统还没有能到亚微米精度级别的设备推出。
实用新型内容
为解决上述技术问题，本实用新型提供一种可以在液面投影出亚微米级分辨率图像的3D打印光学系统。
具体的技术方案为：
亚微米级3D打印光学系统，包括依次按照在同一光线路上的DLP投影光机、远心镜头、定焦镜头、反射镜；反射镜的反射光线路上有投影物镜，投影物镜上方有照相物镜。
所述的DLP投影光机，包括DMD芯片和照明光路；所述的照明光路为LED、汞灯或激光光源。
所述的远心镜头，为物方远心镜，或物像双远心镜头。
所述的投影物镜为折射式、折返射式、反射式、折衍式显微物镜，或者是折射式、折返射式、反射式、折衍射式光刻镜头。
DLP投影光机，作为动态掩模透射出打印的图形；远心镜头，将DLP投影光机投影出的图像微缩；定焦镜头，将微缩后的图像准直；经过反射镜后，投影物镜，将准直后的图像投影到液面；在液面投影出亚微米级分辨率图像，从而打印出亚微米级物体；照相物镜，用于实时监控曝光液面。
本实用新型提供的一种亚微米级3D打印光学系统，是采用多光学系统级联，简化了现有光固化3D打印机光学系统的设计，设备成本降低，并可以实现更稳定的成型品质，及更大尺寸的制品；使DLP投影出亚微米级别的图形，从而打印出亚微米精度的三维模型。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
结合附图说明本实用新型的具体实施方式。
如图1所示，亚微米级3D打印光学系统，包括依次按照在同一光线路上的DLP投影光机1、远心镜头2、定焦镜头3、反射镜4；反射镜4的反射光线路上有投影物镜5，投影物镜5上方有照相物镜6。
所述的DLP投影光机1，包括DMD芯片和照明光路；所述的照明光路为LED、汞灯或激光光源。
所述的远心镜头2，为物方远心镜，或物像双远心镜头。
所述的投影物镜5为折射式、折返射式、反射式、折衍式显微物镜，或者是折射式、折返射式、反射式、折衍射式光刻镜头。
DLP投影光机1，作为动态掩模投射出打印的图形；远心镜头2，将DLP投影光机1投影出的图像微缩；定焦镜头3，将微缩后的图像准直；经过反射镜4后，投影物镜5，将准直后的图像投影到液面；在液面投影出亚微米级分辨率图像，从而打印出亚微米级物体；照相物镜6，用于实时监控曝光液面。
具体的，如照明光路为紫外LED灯，远心镜头2为双远心镜头，定焦镜头3为紫外定焦镜头，投影物镜5为光刻镜头。将紫外LED灯经过光学系统准直照射于DMD芯片上，用驱动电路驱动DMD芯片，使它偏转，将光投射到双远心镜头，双远心镜头起到缩小和消杂散光作用，几乎达到衍射极限，成像于紫外定焦镜头焦面后准直。准直光经过45°反射镜反射进入光刻镜头，最后投影于液面。
Claims (4)
1.亚微米级3D打印光学系统，其特征在于，包括依次按照在同一光线路上的DLP投影光机（1）、远心镜头（2）、定焦镜头（3）、反射镜（4）；反射镜（4）的反射光线路上有投影物镜（5），投影物镜（5）上方有照相物镜（6）。
2.根据权利要求1所述的亚微米级3D打印光学系统，其特征在于，所述的DLP投影光机（1），包括DMD芯片和照明光路；所述的照明光路为LED、汞灯或激光光源。
3.根据权利要求1所述的亚微米级3D打印光学系统，其特征在于，所述的远心镜头（2），为物方远心镜，或物像双远心镜头。
4.根据权利要求1所述的亚微米级3D打印光学系统，其特征在于，所述的投影物镜（5）为折射式、折返射式、反射式、折衍式显微物镜，或者是折射式、折返射式、反射式、折衍射式光刻镜头。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201720080201.6U CN206489371U (zh) | 2017-01-18 | 2017-01-18 | 亚微米级3d打印光学系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201720080201.6U CN206489371U (zh) | 2017-01-18 | 2017-01-18 | 亚微米级3d打印光学系统 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN206489371U true CN206489371U (zh) | 2017-09-12 |
Family
ID=59766171
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201720080201.6U Active CN206489371U (zh) | 2017-01-18 | 2017-01-18 | 亚微米级3d打印光学系统 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN206489371U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108437448A (zh) * | 2018-02-02 | 2018-08-24 | 深圳摩方新材科技有限公司 | 一种微纳尺寸3d打印设备的光路精密装调方法 |
| CN112368127A (zh) * | 2018-12-10 | 2021-02-12 | 深圳摩方新材科技有限公司 | 投影微立体光刻技术中控制尺寸的方法 |
-
2017
- 2017-01-18 CN CN201720080201.6U patent/CN206489371U/zh active Active
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108437448A (zh) * | 2018-02-02 | 2018-08-24 | 深圳摩方新材科技有限公司 | 一种微纳尺寸3d打印设备的光路精密装调方法 |
| CN108437448B (zh) * | 2018-02-02 | 2019-12-17 | 深圳摩方新材科技有限公司 | 一种微纳尺寸3d打印设备的光路精密装调方法 |
| CN112368127A (zh) * | 2018-12-10 | 2021-02-12 | 深圳摩方新材科技有限公司 | 投影微立体光刻技术中控制尺寸的方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN104802400B (zh) | 光固化型3d打印设备及其图像曝光系统 | |
| TWI514002B (zh) | 光學投影陣列曝光系統與其方法 | |
| TW396397B (en) | Illumination system and exposure apparatus having the same | |
| CN104669621A (zh) | 光固化型3d打印设备及其成像系统 | |
| CN206489371U (zh) | 亚微米级3d打印光学系统 | |
| CN109031899A (zh) | 一种高分辨率高效率投影光刻成像系统及曝光方法 | |
| JPH06214318A (ja) | 反射型ホモジナイザーおよび反射型照明光学装置 | |
| TW201211703A (en) | Exposure apparatus and light source device | |
| CN106938544A (zh) | 实时监控面型的3d打印光学系统 | |
| JP2017534918A (ja) | 露光装置の調整装置及び調整方法 | |
| US891013A (en) | Method of reproducing objects. | |
| CN104669619A (zh) | 光固化型3d打印设备及其成像系统 | |
| CN105690754A (zh) | 光固化型3d打印方法、设备及其图像曝光系统 | |
| JP2014081658A5 (zh) | ||
| Brückner et al. | Ultra-compact close-up microoptical imaging system | |
| CN206633429U (zh) | 实时监控面型的3d打印光学系统 | |
| JP6879307B2 (ja) | 投射型表示装置 | |
| CN109283695A (zh) | 一种静态立体幻灯装置 | |
| JP2000182933A (ja) | 照明光学装置および該照明光学装置を備えた露光装置 | |
| CN106064476B (zh) | 一种基于3d打印机的调整装置及方法 | |
| CN208752391U (zh) | 一种高分辨率高效率投影光刻成像系统 | |
| CN107682680A (zh) | 基于dlp系统的集光装置及光学组件的设置方法 | |
| JP2005150174A (ja) | 照明光学系及びそれを有する露光装置 | |
| CN102540686A (zh) | 用于数码立体影像扩印的激光曝光系统及其方法 | |
| JP6659149B2 (ja) | 検出装置、検出方法、リソグラフィ装置および物品の製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20170925 Address after: Longhua District of Guangdong city of Shenzhen province Hunan 518000 rich community tiger Jinxiudadi ranked No. 118 Building No. 8, B zone 5 Patentee after: Shenzhen mopha Mstar Technology Ltd Address before: 518000 Guangdong province Shenzhen city Longhua District Guanlan street view Hunan Dafu community tiger ranked No. 117 Science Park Building 7, floor 5, Jinxiu Patentee before: Shenzhen mopha New Material Technology Co. Ltd. |
|
| TR01 | Transfer of patent right | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20180213 Address after: 518000 Guangdong province Shenzhen city Longhua District Guanlan street view Hunan Dafu community tiger ranked No. 117 Science Park Building 7, floor 5, Jinxiu Patentee after: Shenzhen mopha New Material Technology Co. Ltd. Address before: Longhua District of Guangdong city of Shenzhen province Hunan 518000 rich community tiger Jinxiudadi ranked No. 118 Building No. 8, B zone 5 Patentee before: Shenzhen mopha Mstar Technology Ltd |
|
| TR01 | Transfer of patent right |