CN206483773U - 一种硅片超声清洗机水循环系统 - Google Patents
一种硅片超声清洗机水循环系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN206483773U CN206483773U CN201720040088.9U CN201720040088U CN206483773U CN 206483773 U CN206483773 U CN 206483773U CN 201720040088 U CN201720040088 U CN 201720040088U CN 206483773 U CN206483773 U CN 206483773U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- silicon chip
- cleaning
- cleaning sink
- cleaning machine
- circulation system
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种硅片超声清洗机水循环系统,所述硅片超声清洗机设置有多道顺序排列的清洗水槽,多道所述清洗水槽分别通过溢流口连通有溢流水槽,所述溢流水槽包括至少两个相互隔离的腔室,位于后部的数道清洗水槽连通溢流水槽的同一腔室,该腔室通过设置有水泵的管道连通位于前部的清洗水槽。本实用新型将后部的数道清洗水槽排出的污水收集回供对清洁度要求较低的前部清洗水槽,有效降低用水量,节约资源,降低硅片的制作成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片超声清洗机领域,具体涉及一种硅片超声清洗机水循环系统。
背景技术
硅片是太阳能电池板的重要部件,其制备过程是将硅棒粘接在晶托上,经线切、脱胶、插片、清洗、干燥后,随着插片盒一同放入硅片分选仪筛选出不良片;其中清洗过程是在硅片超声清洗机中进行的,硅片超声清洗机设置有十道顺序排列的清洗水槽,插入插片盒的硅片在传送机构上依次穿过多道清洗水槽,每个清洗水槽中不断注入清洁热水,废水通过溢流口排入溢流水槽集中排放,每天要消耗大量的热水;分析清洗过程,第1道清洗水槽排出的杂质最多,往后逐渐减少,到第5道清洗水槽排出的杂质已经较少,第6道清洗水槽排出的废水已经比较干净,第9、10道清洗水槽排出的废水中几乎没有杂质,但是仍然与前部几道清洗水槽的废水一同排放,是一种严重的资源浪费,而且增加了硅片的制作成本。
发明内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种硅片超声清洗机水循环系统,可以解决现有硅片超声清洗机将全部清洗水槽的废水集中排放,导致浪费资源,增加硅片制作成本的问题。
本实用新型通过以下技术方案实现:
一种硅片超声清洗机水循环系统,所述硅片超声清洗机设置有多道顺序排列的清洗水槽,多道所述清洗水槽分别通过溢流口连通有溢流水槽,所述溢流水槽包括至少两个相互隔离的腔室,位于后部的数道清洗水槽连通溢流水槽的同一腔室,该腔室通过设置有水泵的管道连通位于前部的清洗水槽。
本实用新型的进一步方案是,所述清洗水槽共有10道,第6~10道连通溢流水槽的同一腔室,该腔室通过管道连通第1~3道清洗水槽。
本实用新型的进一步方案是,所述管道还连通硅片插片机的水箱。
本实用新型与现有技术相比的优点在于:
一、将后部数道的清洗水槽排出的污水收集回供对清洁度要求较低的前部清洗水槽,有效降低用水量,节约资源,降低硅片的制作成本;
二、硅片插片机通过水流输送硅片,在气温较低时还需要对水加热,直接利用后部数道的清洗水槽排出的具有一定热量的污水,既节约用水还不需要再进行加热,进一步降低硅片的制作成本。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
如图1所示的一种硅片超声清洗机水循环系统,所述硅片超声清洗机设置有10道顺序排列的清洗水槽1,10道所述清洗水槽1分别通过溢流口连通有溢流水槽2,所述溢流水槽2包括两个相互隔离的腔室,位于后部的第6~10道清洗水槽1连通溢流水槽2的同一腔室,该腔室通过设置有水泵5的管道3连通位于前部的第1~3道清洗水槽1,以及硅片插片机的水箱4。
Claims (3)
1.一种硅片超声清洗机水循环系统,所述硅片超声清洗机设置有多道顺序排列的清洗水槽(1),多道所述清洗水槽(1)分别通过溢流口连通有溢流水槽(2),其特征在于:所述溢流水槽(2)包括至少两个相互隔离的腔室,位于后部的数道清洗水槽(1)连通溢流水槽(2)的同一腔室,该腔室通过设置有水泵(5)的管道(3)连通位于前部的清洗水槽(1)。
2.如权利要求1所述的一种硅片超声清洗机水循环系统,其特征在于:所述清洗水槽(1)共有10道,第6~10道连通溢流水槽(2)的同一腔室,该腔室通过管道(3)连通第1~3道清洗水槽(1)。
3.如权利要求1所述的一种硅片超声清洗机水循环系统,其特征在于:所述管道(3)还连通硅片插片机的水箱(4)。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201720040088.9U CN206483773U (zh) | 2017-01-13 | 2017-01-13 | 一种硅片超声清洗机水循环系统 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201720040088.9U CN206483773U (zh) | 2017-01-13 | 2017-01-13 | 一种硅片超声清洗机水循环系统 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN206483773U true CN206483773U (zh) | 2017-09-12 |
Family
ID=59767322
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201720040088.9U Expired - Fee Related CN206483773U (zh) | 2017-01-13 | 2017-01-13 | 一种硅片超声清洗机水循环系统 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN206483773U (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109877105A (zh) * | 2019-04-04 | 2019-06-14 | 江苏美科硅能源有限公司 | 清洗机溢流水再利用装置 |
-
2017
- 2017-01-13 CN CN201720040088.9U patent/CN206483773U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109877105A (zh) * | 2019-04-04 | 2019-06-14 | 江苏美科硅能源有限公司 | 清洗机溢流水再利用装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN201702135U (zh) | 超声循环硅片清洗机 | |
CN206483773U (zh) | 一种硅片超声清洗机水循环系统 | |
CN103213961B (zh) | 一种磷酸一铵生产用水封闭循环利用方法 | |
CN103850298A (zh) | 一种将废弃淋浴热水的余热能量加以再利用的回收系统 | |
CN203265136U (zh) | 节能清洗机 | |
CN201561493U (zh) | 一种浴室太阳能热泵复合式热水系统 | |
CN108998837A (zh) | 一种具有循环补水功能的羊毛清洗装置 | |
CN103182201B (zh) | 一种模块化高效斜管浓缩池及煤泥水处理系统 | |
CN108731465B (zh) | 一种烘干余热回收装置 | |
CN202682807U (zh) | 一种利用蒸馏水机余热加热料水的装置 | |
CN214949293U (zh) | 一种地热供暖的余热回收利用系统 | |
KR101691414B1 (ko) | 식기세척기의 폐열수 에너지 재활용 장치 | |
CN210740764U (zh) | 设置有补水箱的太阳能 | |
CN221036211U (zh) | 一种用于粘合剂生产的节能型加热装置 | |
CN2807153Y (zh) | 一种溴化锂制冷机组冷凝水余热回收利用装置 | |
CN220245636U (zh) | 一种热循环机构及其废水蒸发箱 | |
CN213309544U (zh) | 一种洗碗机余热利用水预热装置 | |
CN212657889U (zh) | 屋顶集中式太阳能热水供水系统 | |
CN217236558U (zh) | 一种固体胶生产用热能回收利用装置 | |
CN218939714U (zh) | 一种用于刻蚀水膜的节水装置 | |
CN209452170U (zh) | 一种涂胶均匀的纱管纸纸条单面涂胶装置 | |
CN210602231U (zh) | 一种净化加热一体机 | |
CN218485920U (zh) | 一种新型层流管的进料装置 | |
CN214638655U (zh) | 一种硅片清洗机构 | |
CN208898552U (zh) | 一种淀粉胶回收装置及系统 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant | ||
CB03 | Change of inventor or designer information |
Inventor after: Yan Xuncheng Inventor after: Zhang Yachao Inventor after: He Yinghui Inventor before: Yan Xuncheng Inventor before: Zhang Yachao Inventor before: He Yinghui |
|
CB03 | Change of inventor or designer information | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20170912 Termination date: 20190113 |
|
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |