CN206368215U - 一种碳化硅加工用长晶炉 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种碳化硅加工用长晶炉。其包括固定杆、长晶炉主体、缓冲块和温度显示屏，所述固定杆的底侧安装有炉盖，且炉盖的内侧设置有调控板，所述调控板的外壁镶嵌有湿气进口，且调控板的顶端和泄压管相连接，所述长晶炉主体固定于炉盖的底侧，且长晶炉主体的内壁设置有隔热层，所述长晶炉主体的内侧安装有长晶板，且长晶板的两侧设置有散热口，所述缓冲块设置于散热口的内侧，且缓冲块的中部固定有加热装置，所述温度显示屏镶嵌于加热装置的底端，所述炉盖的外圈镶嵌有密封圈，且密封圈的内侧设置有排湿口。该蓝宝石加工用长晶炉结构简单新颖，通过可拆卸的炉盖使得蓝宝石的取放变得更为便捷，大大提高了蓝宝石长晶炉的实用性。
Description
技术领域
本实用新型涉及碳化硅长晶炉装置技术领域，具体为一种碳化硅加工用长晶炉。
背景技术
碳化硅晶体生长的过程中需要用到长晶炉，现有的长晶炉结构较为复杂，长晶过程中湿度不能控制，为此，我们提出一种更实用的碳化硅加工用长晶炉。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种碳化硅加工用长晶炉，以解决上述背景技术中提出的结构较为复杂和长晶过程中湿度不能控制的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种碳化硅加工用长晶炉，包括固定杆、长晶炉主体、缓冲块和温度显示屏，所述固定杆的底侧安装有炉盖，且炉盖的内侧设置有调控板，所述调控板的外壁镶嵌有湿气进口，且调控板的顶端和泄压管相连接，所述长晶炉主体固定于炉盖的底侧，且长晶炉主体的内壁设置有隔热层，所述长晶炉主体的内侧安装有长晶板，且长晶板的两侧设置有散热口，所述缓冲块设置于散热口的内侧，且缓冲块的中部固定有加热装置，所述温度显示屏镶嵌于加热装置的底端，所述炉盖的外圈镶嵌有密封圈，且密封圈的内侧设置有排湿口。
优选的，所述湿气进口的底侧固定有湿度检测装置。
优选的，所述长晶板呈凹槽状结构。
优选的，所述排湿口的内侧设置有透气网罩。
优选的，所述加热装置和温度显示屏之间为电性连接。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该碳化硅加工用长晶炉结构简单新颖，通过可拆卸的炉盖使得碳化硅的取放变得更为便捷，其湿度检测装置的设计，可实时检测长晶炉内的湿度，使湿度保持在一个最佳的范围内，更利于碳化硅长晶的速度，并且通过湿气进口和排湿口的配合，使得炉内多余的湿气能够及时的排出，其长晶板呈凹槽状结构，使得长出的晶体聚集在一起，避免晶体的散乱，碳化硅生长晶体的过程中，密封圈可保证炉内的密闭性，且通过泄压口调节内外的气压，使得长晶的环境保持稳定的状态，大大提高了碳化硅长晶炉的实用性。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
图2为本实用新型炉盖俯视结构示意图。
图中：1、固定杆，2、炉盖，3、调控板，4、泄压管，5、湿气进口，6、湿度检测装置，7、长晶炉主体，8、隔热层，9、长晶板，10、散热口，11、缓冲块，12、加热装置，13、温度显示屏，14、透气网罩，15、密封圈，16、排湿口。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案：一种碳化硅加工用长晶炉，包括固定杆1、炉盖2、调控板3、泄压管4、湿气进口5、湿度检测装置6、长晶炉主体7、隔热层8、长晶板9、散热口10、缓冲块11、加热装置12、温度显示屏13、透气网罩14、密封圈15和排湿口16，固定杆1的底侧安装有炉盖2，且炉盖2的内侧设置有调控板3，调控板3的外壁镶嵌有湿气进口5，且调控板3的顶端和泄压管4相连接，湿气进口5的底侧固定有湿度检测装置6，长晶炉主体7固定于炉盖2的底侧，且长晶炉主体7的内壁设置有隔热层8，长晶炉主体7的内侧安装有长晶板9，且长晶板9的两侧设置有散热口10，长晶板9呈凹槽状结构，缓冲块11设置于散热口10的内侧，且缓冲块11的中部固定有加热装置12，温度显示屏13镶嵌于加热装置12的底端，加热装置12和温度显示屏13之间为电性连接，炉盖2的外圈镶嵌有密封圈15，且密封圈15的内侧设置有排湿口16，排湿口16的内侧设置有透气网罩14，能够及时通风。
工作原理：在使用碳化硅加工用长晶炉之前，首先需要对整个长晶炉进行简单的结构的了解，对于这类的长晶炉先将固定杆1拆卸拿起炉盖2，将碳化硅放置到长晶炉主体7内的长晶板9上，此时炉盖2闭合，密封圈15可保证炉内的密闭性，长晶过程中加热装置12对炉内进行加热，隔热层8能够减少炉内热量的流失，并且湿度检测装置6可实时检测长晶炉内的湿度，使湿度保持在一个最佳的范围内，更利于碳化硅长晶的速度，当湿度过多时湿气会从湿气进口5流到排湿口16处排出，其缓冲块11可为晶体提供缓冲的空间，避免移动对晶体造成影响，通过透气网罩14可实现日常炉内的通风，使得整个碳化硅长晶的效率得到很好的提高，就这样完成整个碳化硅加工用长晶炉的使用过程。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (5)
1.一种碳化硅加工用长晶炉，包括固定杆(1)、长晶炉主体(7)、缓冲块(11)和温度显示屏(13)，其特征在于：所述固定杆(1)的底侧安装有炉盖(2)，且炉盖(2)的内侧设置有调控板(3)，所述调控板(3)的外壁镶嵌有湿气进口(5)，且调控板(3)的顶端和泄压管(4)相连接，所述长晶炉主体(7)固定于炉盖(2)的底侧，且长晶炉主体(7)的内壁设置有隔热层(8)，所述长晶炉主体(7)的内侧安装有长晶板(9)，且长晶板(9)的两侧设置有散热口(10)，所述缓冲块(11)设置于散热口(10)的内侧，且缓冲块(11)的中部固定有加热装置(12)，所述温度显示屏(13)镶嵌于加热装置(12)的底端，所述炉盖(2)的外圈镶嵌有密封圈(15)，且密封圈(15)的内侧设置有排湿口(16)。
2.根据权利要求1所述的碳化硅加工用长晶炉，其特征在于：所述湿气进口(5)的底侧固定有湿度检测装置(6)。
3.根据权利要求1所述的碳化硅加工用长晶炉，其特征在于：所述长晶板(9)呈凹槽状结构。
4.根据权利要求1所述的碳化硅加工用长晶炉，其特征在于：所述排湿口(16)的内侧设置有透气网罩(14)。
5.根据权利要求1所述的碳化硅加工用长晶炉，其特征在于：所述加热装置(12)和温度显示屏(13)之间为电性连接。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201621464298.2U CN206368215U (zh) | 2016-12-29 | 2016-12-29 | 一种碳化硅加工用长晶炉 |
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Publications (1)
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| CN206368215U true CN206368215U (zh) | 2017-08-01 |
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ID=59393104
Family Applications (1)
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2016
- 2016-12-29 CN CN201621464298.2U patent/CN206368215U/zh active Active
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