CN206353522U - 一种可精确控制湿法刻蚀工艺的配液装置 - Google Patents
一种可精确控制湿法刻蚀工艺的配液装置 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型提出一种可精确控制湿法刻蚀工艺的配液装置，通过称重传感器与化学品配液缓冲桶结合控制加液，能够实现准确无误的加液，不会出现因化学品未加入导致电池片质量不良，能够提高经济效益，同时避免高频次定期停机校准补液精度，减少耽误生产时间。
Description
技术领域
本实用新型属于刻蚀机台技术领域，尤其是一种可精确控制湿法刻蚀工艺的配液装置。
背景技术
目前太阳能电池片制作过程中的湿法刻蚀机台配液以启动阀门的时间控制化学品的用量。阀门经化学腐蚀及长期使用后，容易造成损坏或精确度不准，化学品实际未按设定量加入到化学品槽内，但机台不会有警报，导致大量不良片的产生。因此，需定期停机校准阀门，停机则耽误生产的时间，造成不必要经济损失。
实用新型内容
本实用新型所解决的技术问题在于提供一种可精确控制湿法刻蚀工艺的配液装置，通过称重传感器与化学品配液缓冲桶结合控制加液，能够实现准确无误的加液，不会出现因化学品未加入导致电池片质量不良，能够提高经济效益，同时避免高频次定期停机校准补液精度，减少耽误生产时间。
实现本实用新型目的的技术解决方案为：
一种可精确控制湿法刻蚀工艺的配液装置，包括化学品配液缓冲桶、称重感应器、托盘、进液管道、溢流管道、补液管道，其中，化学品配液缓冲桶放置在托盘上方，托盘内设有称重感应器，进液管道从上方伸入化学品配液缓冲桶中，溢流管道从化学品配液缓冲桶侧面上部伸出，补液管道从化学品配液缓冲桶的底部伸出，所述进液管道、补液管道和称重感应器均与刻蚀机台相连。
进一步的，本实用新型的可精确控制湿法刻蚀工艺的配液装置，所述进液管道连接有进液气动阀。
进一步的，本实用新型的可精确控制湿法刻蚀工艺的配液装置，所述补液管道连接有补液气动阀。
进一步的，本实用新型的可精确控制湿法刻蚀工艺的配液装置，所述化学品配液缓冲桶外侧设置有液位刻度。
进一步的，本实用新型的可精确控制湿法刻蚀工艺的配液装置，所述化学品配液缓冲桶为透明材料制作。
本实用新型采用以上技术方案与现有技术相比，具有以下技术效果：
1、本实用新型通过重力感应对缓冲桶进行补液，能够免受化学品的腐蚀；
2、本实用新型能够通过称重进行精确补液，避免高频次定期停机校准，减少耽误生产时间；
3、本实用新型能够避免因化学品未加入导致电池片质量不良，提高经济效益。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图；
附图标记含义：1：进液管道，2：进液气动阀，3：液位刻度，4：溢流管道，5：补液气动阀，6：补液管道，7：称重感应器，8：托盘；9：化学品配液缓冲桶。
具体实施方式
下面详细描述本实用新型的实施方式，所述实施方式的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能解释为对本实用新型的限制。
一种可精确控制湿法刻蚀工艺的配液装置，包括化学品配液缓冲桶9、称重感应器7、托盘8、进液管道1、溢流管道4、补液管道6，其中，化学品配液缓冲桶9放置在托盘8上方，化学品配液缓冲桶9外侧设置有液位刻度3，托盘8内设有称重感应器7，进液管道1从上方伸入化学品配液缓冲桶9中，进液管道1还连接有进液气动阀2，溢流管道4从化学品配液缓冲桶9侧面上部伸出，补液管道6从化学品配液缓冲桶9的底部伸出，补液管道6连接有补液气动阀5，所述进液管道1、补液管道6和称重感应器7均与刻蚀机台相连，所述化学品配液缓冲桶9为透明材料制作。
实施例1
下面以湿法刻蚀机台碱(NAOH)槽为例说明本实用新型的使用方式。
首先在刻蚀机台设置化学品配液缓冲桶9的最大容量为5kg，并设置质量分数为30％的NAOH溶液密度为1.33g/ml。然后使用称重感应器7对化学品配液缓冲桶9的空桶质量进行去皮。将进液气动阀2打开，由进液管道1向化学品配液缓冲桶9加入NAOH溶液5kg后停止。此时，刻蚀机台开始运行，每生产200片电池片后，化学品配液缓冲桶9通过补液管道6向碱槽补液50ml，补液质量为1.33g/ml*50＝66.5g，化学品配液缓冲桶利用称重感应器7减少66.5gNAOH溶液并同时补充至碱槽。当称重感应器7检测到化学品配液缓冲桶9内剩余NAOH溶液小于200g时，打开进液气动阀2并向化学品配液缓冲桶9加液至5kg。
本实用新型产品使用称重感应器能够实现准确无误的加液，不会出现因化学品未加入导致电池片质量不良，能够提高经济效益，同时避免高频次定期停机校准补液精度，减少耽误生产时间。
以上所述仅是本实用新型的部分实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进，这些改进应视为本实用新型的保护范围。
Claims (5)
1.一种可精确控制湿法刻蚀工艺的配液装置，其特征在于，包括化学品配液缓冲桶(9)、称重感应器(7)、托盘(8)、进液管道(1)、溢流管道(4)、补液管道(6)，其中，化学品配液缓冲桶(9)放置在托盘(8)上方，托盘(8)内设有称重感应器(7)，进液管道(1)从上方伸入化学品配液缓冲桶(9)中，溢流管道(4)从化学品配液缓冲桶(9)侧面上部伸出，补液管道(6)从化学品配液缓冲桶(9)的底部伸出，所述进液管道(1)、补液管道(6)和称重感应器(7)均与刻蚀机台相连。
2.根据权利要求1所述的可精确控制湿法刻蚀工艺的配液装置，其特征在于，所述进液管道(1)连接有进液气动阀(2)。
3.根据权利要求1所述的可精确控制湿法刻蚀工艺的配液装置，其特征在于，所述补液管道(6)连接有补液气动阀(5)。
4.根据权利要求1所述的可精确控制湿法刻蚀工艺的配液装置，其特征在于，所述化学品配液缓冲桶(9)外侧设置有液位刻度(3)。
5.根据权利要求1所述的可精确控制湿法刻蚀工艺的配液装置，其特征在于，所述化学品配液缓冲桶(9)为透明材料制作。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201621454560.5U CN206353522U (zh) | 2016-12-28 | 2016-12-28 | 一种可精确控制湿法刻蚀工艺的配液装置 |
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| CN201621454560.5U CN206353522U (zh) | 2016-12-28 | 2016-12-28 | 一种可精确控制湿法刻蚀工艺的配液装置 |
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| CN206353522U true CN206353522U (zh) | 2017-07-25 |
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| CN201621454560.5U Active CN206353522U (zh) | 2016-12-28 | 2016-12-28 | 一种可精确控制湿法刻蚀工艺的配液装置 |
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| CN (1) | CN206353522U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112174082A (zh) * | 2019-07-04 | 2021-01-05 | 上海新微技术研发中心有限公司 | 易挥发液态化学品供应系统及供应方法 |
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2016
- 2016-12-28 CN CN201621454560.5U patent/CN206353522U/zh active Active
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