CN206337306U - 一种新型中性渐变滤光片的制备装置 - Google Patents
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Abstract
本申请公开了一种新型中性渐变滤光片的制备装置，该制备装置设置在镀膜机真空室内，制备装置包括第一修正挡板、第二修正挡板和第三修正挡板；第一修正挡板设置在真空室内的镀膜伞架下方；第二修正挡板设置在金属膜料蒸发源的上方，第三修正挡板设置在介质膜料蒸发源的上方；第一修正挡板的截面形状为中空的圆形，中空部分的形状为椭圆形；第二修正挡板的截面呈“水滴”状；第三修正挡板的截面呈“月牙”状。本申请的制备装置针对每一种材料的蒸发特性进行膜厚修正，材料的厚度分布精确可控；针对中性渐变滤光片的整体分布进行膜厚修正，滤光片的整体光谱分布精确可控；可直接对已有的镀膜机进行改造升级；镀制的中心渐变滤光片的线性度好。
Description
技术领域
本实用新型涉及光学薄膜技术领域，具体涉及一种新型中性渐变滤光片的制备装置。
背景技术
中性渐变滤光片是重要的摄影元件，其制备技术主要采用电子束蒸发或热蒸发技术，使蒸发材料交替或混合沉积在待镀膜的工件上，使待镀膜的工件获得所需的薄膜结构。在实际制备的过程中，由于蒸发源的蒸发位置、镀膜材料的蒸发分布以及镀膜面上不同位置的运动规律千差万别，导致要同时在待镀膜工件上获得特定厚度分布的薄膜结构非常困难。因此，已有大量的针对镀膜修正挡板的文献和专利申请。
对于中性渐变滤光片来说，由于不同部位的膜层厚度不同，并且不同材料在同一位置的厚度也不相同。因此，理想的制备方法是引入非常复杂的真空镀膜系统，一般来说将生产线布置成流水作业模式，一台镀膜机镀制一个膜层或者膜料，其他的镀膜机镀制其它材料。但是这种镀膜设备投入过大，对于小批量产品的生产并不适用。
实用新型内容
针对现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种新型中性渐变滤光片的制备装置，其有效解决了现有技术中存在的问题。
为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：
一种新型中性渐变滤光片的制备装置，所述制备装置设置在镀膜机真空室内，制备装置包括第一修正挡板、第二修正挡板和第三修正挡板；其中，所述第一修正挡板设置在真空室内的镀膜伞架下方；所述第二修正挡板和第三修正挡板错落设置在第一修正挡板下方；且第二修正挡板设置在金属膜料蒸发源的上方，第三修正挡板设置在介质膜料蒸发源的上方；第一修正挡板的截面形状为中空的圆形，中空部分的形状为椭圆形；第二修正挡板的截面呈“水滴”状；第三修正挡板的截面呈“月牙”状。
进一步，所述第一修正挡板的截面的椭圆形中空部分的长半轴长度为圆形截面半径的三分之一，短半轴长度为圆形截面半径的四分之一。
进一步，所述第二修正挡板的“水滴”状截面的横向宽度为所述第一修正挡板的圆形截面半径的四分之一，纵向长度为第一修正挡板的圆形截面半径的二分之一。
进一步，所述第三修正挡板的“月牙”状截面的外圆弧半径与所述第一修正挡板的圆形截面的半径保持一致；“月牙”状截面的内弧由两条相交于“月牙”状截面的中轴线的线段构成，两条所述线段的交点与外圆弧的圆心之间的距离为第一修正挡板的圆形截面半径的三分之一，线段的另一端点与外圆弧的圆心之间的垂直距离为第一修正挡板的圆形截面半径的五分之一。
本实用新型具有以下有益技术效果：
本申请的制备装置针对每一种材料的蒸发特性进行膜厚修正，材料的厚度分布精确可控；针对中性渐变滤光片的整体分布进行膜厚修正，滤光片的整体光谱分布精确可控；可直接对已有的镀膜机进行改造升级；镀制的中心渐变滤光片的线性度好。
附图说明
图1为本申请的第一修正挡板的截面结构示意图；
图2为本申请的第二修正挡板的截面结构示意图；
图3为本申请的第三修正挡板的截面结构示意图；
图4为本申请的制备装置在镀膜机真空室内的结构示意图；
图5为本申请的制备装置在镀金属膜时的修正挡板结构示意图；
图6为本申请的制备装置在镀介质膜时的修正挡板结构示意图。
具体实施方式
下面，参考附图，对本实用新型进行更全面的说明，附图中示出了本实用新型的示例性实施例。然而，本实用新型可以体现为多种不同形式，并不应理解为局限于这里叙述的示例性实施例。而是，提供这些实施例，从而使本实用新型全面和完整，并将本实用新型的范围完全地传达给本领域的普通技术人员。
如图1-4所示，本实用新型提供了一种新型中性渐变滤光片的制备装置，所述制备装置设置在镀膜机真空室4内，制备装置包括第一修正挡板1、第二修正挡板2和第三修正挡板3；其中，第一修正挡板1设置在真空室内的镀膜伞架5下方；第二修正挡板2和第三修正挡板3错落设置在第一修正挡板1下方；且第二修正挡板2设置在金属膜料蒸发源6的上方，第三修正挡板3设置在介质膜料蒸发源7的上方；第一修正挡板1的截面形状为中空的圆形，中空部分的形状为椭圆形；第二修正挡板2的截面呈“水滴”状；第三修正挡板3的截面呈“月牙”状。
第一修正挡板1的截面的椭圆形中空部分的长半轴长度为圆形截面半径的三分之一，短半轴长度为圆形截面半径的四分之一。第二修正挡板2的“水滴”状截面的横向宽度为所述第一修正挡板的圆形截面半径的四分之一，纵向长度为第一修正挡板的圆形截面半径的二分之一。第三修正挡板3的“月牙”状截面的外圆弧半径与所述第一修正挡板的圆形截面的半径保持一致；“月牙”状截面的内弧由两条相交于“月牙”状截面的中轴线的线段构成，两条所述线段的交点与外圆弧的圆心之间的距离为第一修正挡板的圆形截面半径的三分之一，线段的另一端点与外圆弧的圆心之间的垂直距离为第一修正挡板的圆形截面半径的五分之一。
如图5-6所示，本申请的制备装置在镀制中性渐变滤光片的过程中，第一修正挡板1，始终固定不动；在镀制金属薄膜材料的时候，第二修正挡板2升起，第三修正挡板3落下；在镀制介质薄膜材料的时候，第三修正挡板3升起，第二修正挡板2落下；本申请的修正挡板可以吊装在真空室内，也可以固定点气缸的活塞缸上，由气缸驱动其升起或下落。
上面所述只是为了说明本实用新型，应该理解为本申请并不局限于以上实施例，符合本实用新型思想的各种变通形式均在本实用新型的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种新型中性渐变滤光片的制备装置，其特征在于，所述制备装置设置在镀膜机真空室内，制备装置包括第一修正挡板、第二修正挡板和第三修正挡板；其中，所述第一修正挡板设置在真空室内的镀膜伞架下方；所述第二修正挡板和第三修正挡板错落设置在第一修正挡板下方；且第二修正挡板设置在金属膜料蒸发源的上方，第三修正挡板设置在介质膜料蒸发源的上方；第一修正挡板的截面形状为中空的圆形，中空部分的形状为椭圆形；第二修正挡板的截面呈“水滴”状；第三修正挡板的截面呈“月牙”状。
2.根据权利要求1所述的新型中性渐变滤光片的制备装置，其特征在于，所述第一修正挡板的截面的椭圆形中空部分的长半轴长度为圆形截面半径的三分之一，短半轴长度为圆形截面半径的四分之一。
3.根据权利要求1所述的新型中性渐变滤光片的制备装置，其特征在于，所述第二修正挡板的“水滴”状截面的横向宽度为所述第一修正挡板的圆形截面半径的四分之一，纵向长度为第一修正挡板的圆形截面半径的二分之一。
4.根据权利要求1所述的新型中性渐变滤光片的制备装置，其特征在于，所述第三修正挡板的“月牙”状截面的外圆弧半径与所述第一修正挡板的圆形截面的半径保持一致；“月牙”状截面的内弧由两条相交于“月牙”状截面的中轴线的线段构成，两条所述线段的交点与外圆弧的圆心之间的距离为第一修正挡板的圆形截面半径的三分之一，线段的另一端点与外圆弧的圆心之间的垂直距离为第一修正挡板的圆形截面半径的五分之一。
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|---|---|---|---|---|
| CN108179384A (zh) * | 2017-12-25 | 2018-06-19 | 浙江工业大学 | 一种表面梯度薄膜的制备方法 |
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2016
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| CN108179384B (zh) * | 2017-12-25 | 2020-08-18 | 浙江工业大学 | 一种表面梯度薄膜的制备方法 |
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