CN206292525U - 对准镜筒、对准镜头及光刻机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及光刻技术领域，尤其涉及一种对准镜筒、对准镜头及光刻机。对准镜筒包括第一镜筒和第二镜筒；第一镜筒沿长度方向设置有第一光路通道，第一光路通道贯穿第一镜筒；第二镜筒沿长度方向设置有第二光路通道，第二光路通道贯穿所述第二镜筒；第一镜筒的第一端与第二镜筒的第三端可拆卸连接，第一镜筒的长度方向与第二镜筒的长度方向重合；对准镜头包括上述对准镜筒，还包括第一镜片组和第二镜片组；光刻机包括上述对准镜头。本实用新型的目的在于提供一种对准镜筒、对准镜头及光刻机，以解决现有的对准镜筒存在的筒体细长，给机械加工和后期光学镜片的装配带来了难度的技术问题。

Description

对准镜筒、对准镜头及光刻机

技术领域

本实用新型涉及光刻技术领域，尤其是涉及一种对准镜筒、对准镜头及光刻机。

背景技术

光刻技术是用于在基底表面上印刷具有特征的构图的技术。这样的基底可包括用于制造半导体器件、多种集成电路、平面显示器(例如液晶显示器)、电路板、生物芯片、微机械电子芯片、光电子线路芯片等的芯片。在直写式光刻机的光刻系统中，特征图形由空间光调制器微镜阵列产生，这些微镜可以独立寻址单独受控以不同的倾斜方向反射照射的光束，以产生空间光强调制，最后将特征图形通过相应成像光路投影到PCB板上，为下一步进行刻蚀或者离子注入工序做好准备。

目前，直写式光刻机设备的对准镜筒一般采用传统的圆筒状结构将光学系统光路组件包裹起来，这包括四组直径不同的镜片，一个光阑及相应的隔圈、压圈等部件。这种结构因为镜片的直径均较小，且光路上要求镜片间距较大等原因造成对准镜筒筒体细长，给机械加工和后期光学镜片的装配带来了很大难度。

因此，本申请针对上述问题提供一种新的对准镜筒、对准镜头及光刻机。

实用新型内容

本实用新型的第一目的在于提供一种对准镜筒，以解决现有的对准镜筒存在的筒体细长，给机械加工和后期光学镜片的装配带来了很大难度的技术问题。

本实用新型的第二目的在于提供一种对准镜头，以解决现有的对准镜头的对准镜筒存在的筒体细长，给机械加工和后期光学镜片的装配带来了很大难度的技术问题。

本实用新型的第三目的在于提供一种光刻机，以解决现有的光刻机的对准镜筒存在的筒体细长，给机械加工和后期光学镜片的装配带来了很大难度的技术问题。

基于上述第一目的，本实用新型提供一种对准镜筒，包括第一镜筒和第二镜筒；

所述第一镜筒沿长度方向设置有用于固设第一镜片组的第一光路通道，所述第一光路通道贯穿所述第一镜筒；

所述第二镜筒沿长度方向设置有用于固设第二镜片组的第二光路通道，所述第二光路通道贯穿所述第二镜筒；

所述第一镜筒的第一端与所述第二镜筒的第三端可拆卸连接，且所述第一镜筒的长度方向与所述第二镜筒的长度方向重合。

进一步地，本实用新型所述第二镜筒靠近所述第三端的一侧能够套设入所述第一光路通道内；

所述第二镜筒与所述第一镜筒通过螺接或者扣接连接。

进一步地，本实用新型所述第一镜筒靠近所述第一端的一侧具有锥形内周面；

所述第二镜筒靠近所述第三端的一侧具有与所述锥形内周面相匹配的锥形外周面。

进一步地，本实用新型所述锥形外周面延伸至所述第二镜筒靠近所述第三端的一侧的端部。

基于上述第二目的，本实用新型提供一种对准镜头，包括上述的对准镜筒，还包括第一镜片组和第二镜片组。

进一步地，本实用新型所述第一镜片组包括第一镜片；所述第二镜片组包括第二镜片、第三镜片和第四镜片；

所述第一镜片固设于所述第一光路通道内；

沿所述第二光路通道的延伸方向，所述第二光路通道内依次固设有所述第二镜片、所述第三镜片和所述第四镜片；且所述第二镜片位于所述第一镜片与所述第三镜片之间。

进一步地，本实用新型所述第一镜片的中心点、所述第二镜片的中心点、所述第三镜片的中心点和所述第四镜片的中心点均位于所述第一光路通道的中心线上。

进一步地，本实用新型所述第一镜片通过第一压圈固设于所述第一光路通道内；所述第一压圈位于所述第一镜片远离所述第一端的一侧；

所述第二镜片与所述第三镜片之间设置有隔圈，所述第二镜片与所述第三镜片通过第二压圈固设于所述第二光路通道内；所述第二压圈位于所述第二镜片靠近所述第三端的一侧；

所述第四镜片通过第三压圈固设于所述第二光路通道内；所述第三压圈位于所述第四镜片远离所述第三端的一侧。

基于上述第三目的，本实用新型提供一种光刻机，包括上述的对准镜头。

进一步地，本实用新型所述第一镜筒远离所述第一端的一侧设置有用于连接环形光源的连接孔。

综上所述，本实用新型提供的对准镜筒，包括第一镜筒和第二镜筒；第一镜筒内固设有第一镜片组，第二镜筒内固设有第二镜片组；使用时，先将第一镜片组安装在第一镜筒内，再将第二镜片组安装在第二镜筒内，之后将第一镜筒的第一端与第二镜筒的第三端连接，使得第一镜筒的长度方向与第二镜筒的长度方向重合，完成了对准镜筒的组装。由于光路上要求镜片间距较大等原因造成对准镜筒的筒体细长，因此本实用新型将对准镜筒的筒体沿长度方向分成两段：第一镜筒和第二镜筒，第一镜筒和第二镜筒组装后的长度等于现有技术中对准镜筒的筒体的长度，因而第一镜筒和第二镜筒的长度均小于现有技术中对准镜筒的筒体的长度，使得机械加工更简单、方便，从而也提高了加工精度；另一方面，由于第一镜筒和第二镜筒的长度均小于现有技术中对准镜筒的筒体的长度，因而后期光学镜片装配进第一镜筒和第二镜筒也变得更容易、方便，也提高了镜片的装配精度。解决了现有的对准镜筒存在的筒体细长，给机械加工和后期光学镜片的装配带来了很大难度的技术问题。

本实用新型提供的对准镜头，包括上述的对准镜筒，解决了现有的对准镜头的对准镜筒存在的筒体细长，给机械加工和后期光学镜片的装配带来了很大难度的技术问题。

本实用新型提供的光刻机，包括上述的对准镜头，解决了现有的光刻机的对准镜筒存在的筒体细长，给机械加工和后期光学镜片的装配带来了很大难度的技术问题。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本实用新型实施例一提供的对准镜筒的立体结构示意图；

图2为本实用新型实施例一提供的对准镜筒的主视图；

图3为本实用新型实施例一提供的对准镜筒的第一结构的剖视图；

图4为本实用新型实施例一提供的对准镜筒的第二结构的剖视图；

图5为本实用新型实施例一提供的对准镜筒的第三结构的剖视图。

图标：1-第一镜筒；11-第一端；2-第二镜筒；21-第三端；3-第一光路通道；4-第二光路通道；51-第一镜片；52-第二镜片；53-第三镜片；54-第四镜片；61-第一压圈；62-第二压圈；63-第三压圈；7-连接孔。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

图1为本实用新型实施例一提供的对准镜筒的立体结构示意图；图2为本实用新型实施例一提供的对准镜筒的主视图；图3为本实用新型实施例一提供的对准镜筒的第一结构的剖视图；图4为本实用新型实施例一提供的对准镜筒的第二结构的剖视图；图5为本实用新型实施例一提供的对准镜筒的第三结构的剖视图。

实施例一

参见图1-图5所示，本实施例提供一种对准镜筒，包括第一镜筒1和第二镜筒2；

所述第一镜筒1沿长度方向设置有用于固设第一镜片组的第一光路通道3，所述第一光路通道3贯穿所述第一镜筒1；

所述第二镜筒2沿长度方向设置有用于固设第二镜片组的第二光路通道4，所述第二光路通道4贯穿所述第二镜筒2；

所述第一镜筒1的第一端11与所述第二镜筒2的第三端21可拆卸连接，例如可以通过螺接或者扣接连接，且所述第一镜筒1的长度方向与所述第二镜筒2的长度方向重合。

需要说明的是，第一镜筒1沿长度方向具有两端：第一端11和第二端，第二镜筒2沿长度方向具有两端：第三端21和第四端。

综上所述，本实用新型提供的对准镜筒，包括第一镜筒1和第二镜筒2；第一镜筒1内固设有第一镜片组，第二镜筒2内固设有第二镜片组；使用时，先将第一镜片组安装在第一镜筒1内，再将第二镜片组安装在第二镜筒2内，之后将第一镜筒1的第一端11与第二镜筒2的第三端21连接，使得第一镜筒1的长度方向与第二镜筒2的长度方向重合，完成了对准镜筒的组装。由于光路上要求镜片间距较大等原因造成对准镜筒的筒体细长，因此本实用新型将对准镜筒的筒体沿长度方向分成两段：第一镜筒1和第二镜筒2，第一镜筒1和第二镜筒2组装后的长度等于现有技术中对准镜筒的筒体的长度，因而第一镜筒1和第二镜筒2的长度均小于现有技术中对准镜筒的筒体的长度，使得机械加工更简单、方便，从而也提高了加工精度；另一方面，由于第一镜筒1和第二镜筒2的长度均小于现有技术中对准镜筒的筒体的长度，因而后期光学镜片装配进第一镜筒1和第二镜筒2也变得更容易、方便，也提高了镜片的装配精度。解决了现有的对准镜筒存在的筒体细长，给机械加工和后期光学镜片的装配带来了很大难度的技术问题。

优选地，参见图3所示，本实施例所述第二镜筒2靠近所述第三端21的一侧能够套设入所述第一光路通道3内；

所述第二镜筒2与所述第一镜筒1通过螺接或者扣接连接。

也就是说，第一镜筒1与第二镜筒2先套接，再螺接或者扣接：先将第二镜筒2靠近第三端21的一侧套设入第一光路通道3内，实现了将第一镜筒1与第二镜筒2的定位，然后再螺接或者扣接连接，使得第一镜筒1与第二镜筒2的连接更精准，保证了第一光路通道3与第二光路通道4的中心线的同轴度。

可选地，参见图4和图5所示，本实施例所述的第一镜筒1靠近所述第一端11的一侧具有锥形内周面；

所述第二镜筒2靠近所述第三端21的一侧具有与所述锥形内周面相匹配的锥形外周面。

如图5所示，第一镜筒1靠近第一端11的一侧设置有锥形内周面，且锥形内周面延伸至第一镜筒1靠近第一端11的一侧的端部，第二镜筒2靠近第三端21的一侧按照图5中从上到下的方向，依次包括连接部、锥面部和直轴部，其中锥面部使得第二镜筒2沿从上到下的方向的轴径变小。连接部用于将第一镜筒1和第二镜筒2可拆卸连接，例如，连接部上开设有第一孔，第二镜筒2上对应的开设有第二孔，第一孔和第二孔通过螺栓连接；锥面部能够和第一镜筒1的锥形内周面相配合，直轴部能够套设入第一光路通道3内。

综上所述，将第一镜筒1和第二镜筒2连接时，先将直轴部套设入第一光路通道3内，由于第一镜筒1的端部设置有锥形内周面，使得直轴部在插入第一光路通道3时不会与第一镜筒1发生磕碰，防止造成损坏以及降低第一镜筒1与第二镜筒2连接的精度；然后锥面部在锥形内周面的导向作用下，沿锥形内周面顺滑而入，既能引导第二镜筒2与第一镜筒1的连接，又能防止连接的过程中相互发生碰撞。

优选地，参见图4所示，本实施例所述锥形外周面延伸至所述第二镜筒2靠近所述第三端21的一侧的端部。使得第一镜筒1和第二镜筒2在开始连接时，即第二镜筒2插入第一光路通道3之始至末，都能对第二镜筒2的插入方向起到引导作用，使得装配更精准。

实施例二

实施例二提供了一种对准镜头，所述对准镜头包括实施例一所述的对准镜筒，实施例一所公开的对准镜筒的技术特征也适用于该实施例，实施例一已公开的对准镜筒的技术特征不再重复描述。下面结合附图对所述对准镜头的实施方式进行进一步的详细说明。

为节约篇幅，该实施例的改进特征同样体现在图1-图5中，因此，结合图1-图5对该实施例的方案进行说明。

参见图1-图5所示，本实施例提供一种对准镜头，包括上述的对准镜筒，还包括第一镜片组和第二镜片组。第一镜片组设置在第一镜筒1内，第二镜片组设置在第二镜筒2内。解决了现有的对准镜头的对准镜筒存在的筒体细长，给机械加工和后期光学镜片的装配带来了很大难度的技术问题。

优选地，参见图3-图5所示，所述第一镜片组包括第一镜片51；所述第二镜片组包括第二镜片52、第三镜片53和第四镜片54；

所述第一镜片51固设于所述第一光路通道3内，所述第一镜片51的厚度方向沿所述第一光路通道3的延伸方向设置；

沿所述第二光路通道4的延伸方向，所述第二光路通道4内依次固设有所述第二镜片52、所述第三镜片53和所述第四镜片54，且所述第二镜片52位于所述第一镜片51与所述第三镜片53之间，第二镜片52、第三镜片53和第四镜片54厚度方向均沿第二光路通道4的延伸方向。

需要说明的是，第一镜片51的中心点与第二镜片52的中心点之间的距离为预设的第一距离；第二镜片52的中心点与第三镜片53的中心点之间的距离为预设的第二距离；第三镜片53的中心点与第四镜片54的中心点之间的距离为预设的第三距离，以使得本实施例所述的对准镜头能够达到正常使用的标准。

另外，由于光路上要求第二距离和第三距离均小于第一距离，因此仅仅将第一镜片51设置于第一镜筒1内，第二镜片52、第三镜片53和第四镜片54均设置在第二镜筒2内，且第一镜片51设置于第一镜筒1内远离第一端11的一侧，以减小第一镜筒1的长度，从而便于第一镜片51、第二镜片52、第三镜片53和第四镜片54的安装，也使得第一镜筒1与第二镜筒2连接之后的镜筒筒体的长度也不会太长，从而便于使用。

优选地，本实施例所述第一镜片51的中心点、所述第二镜片52的中心点、所述第三镜片53的中心点和所述第四镜片54的中心点均位于所述第一光路通道3的中心线上，从而使得本实施例所述的对准镜头的对准效果最好。

可选地，参见图3-图5所示，本实施例所述第一镜片51通过第一压圈61固设于所述第一光路通道3内；所述第一压圈61位于所述第一镜片51远离所述第一端11的一侧；使得第一镜片51方便安装，从而提高装配精度，也能够减小第一镜筒1的长度。

所述第二镜片52与所述第三镜片53之间设置有隔圈，以保证第二镜片52与第三镜片53之间的轴向距离，所述第二镜片52与所述第三镜片53通过第二压圈62固设于所述第二光路通道4内；所述第二压圈62位于所述第二镜片52靠近所述第三端21的一侧；优选地，第二镜片52设置于第二镜筒2靠近第三端21的一侧，使得第二镜片52和第三镜片53方便安装，从而提高装配精度，也能够减小第二镜筒2的长度。

所述第四镜片54通过第三压圈63固设于所述第二光路通道4内；所述第三压圈63位于所述第四镜片54远离所述第三端21的一侧，使得第四镜片54方便安装，从而提高装配精度，也能够减小第二镜筒2的长度。

需要说明的是，本实施例所述的第一镜片51、第二镜片52、第三镜片53和第四镜片54的装配也可使用滚边法或者胶粘法。

可选地，所述第二光路通道4包括相连接的第一通道段和第二通道段，所述第一通道段靠近所述第三端21，所述第二通道段靠近所述第四端，且所述第一通道段的内径小于所述第二通道段的内径；

所述第一通道段靠近所述第二通道段的一侧靠接有光阑，所述第三镜片53靠接在所述光阑远离所述第二通道段的一侧，所述第二镜片52和所述第三镜片53设置于所述第一通道段内，且所述第二镜片52位于所述第三镜片53远离所述第二通道段的一侧。光阑是光具组件中光学元件的边缘、框架或特别设置的带孔屏障，设置在在镜头中来限制光束。

综上所述，能够使得本实施例所述的对准镜头能够达到使用的标准，保证正常工作。

实施例三

实施例三提供了一种光刻机，所述光刻机包括实施例二所述的对准镜头，实施例二所公开的对准镜头的技术特征也适用于该实施例，实施例二已公开的对准镜头的技术特征不再重复描述。下面结合附图对所述光刻机的实施方式进行进一步的详细说明。

为节约篇幅，该实施例的改进特征同样体现在图1-图5中，因此，结合图1-图5对该实施例的方案进行说明。

参见图1-图5所示，本实施例提供一种光刻机，包括上述的对准镜头，解决了现有的光刻机的对准镜筒存在的筒体细长，给机械加工和后期光学镜片的装配带来了很大难度的技术问题。

优选地，所述第一镜筒1远离所述第一端的一侧设置有用于连接环形光源的连接孔7。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种对准镜筒，其特征在于，包括第一镜筒和第二镜筒；

所述第一镜筒沿长度方向设置有用于固设第一镜片组的第一光路通道，所述第一光路通道贯穿所述第一镜筒；

所述第二镜筒沿长度方向设置有用于固设第二镜片组的第二光路通道，所述第二光路通道贯穿所述第二镜筒；

所述第一镜筒的第一端与所述第二镜筒的第三端可拆卸连接，且所述第一镜筒的长度方向与所述第二镜筒的长度方向重合。

2.根据权利要求1所述的对准镜筒，其特征在于，所述第二镜筒靠近所述第三端的一侧能够套设入所述第一光路通道内；

所述第二镜筒与所述第一镜筒通过螺接或者扣接连接。

3.根据权利要求2所述的对准镜筒，其特征在于，所述第一镜筒靠近所述第一端的一侧具有锥形内周面；

所述第二镜筒靠近所述第三端的一侧具有与所述锥形内周面相匹配的锥形外周面。

4.根据权利要求3所述的对准镜筒，其特征在于，所述锥形外周面延伸至所述第二镜筒靠近所述第三端的一侧的端部。

5.一种对准镜头，其特征在于，包括如权利要求1-4任一项所述的对准镜筒，还包括第一镜片组和第二镜片组。

6.根据权利要求5所述的对准镜头，其特征在于，所述第一镜片组包括第一镜片；所述第二镜片组包括第二镜片、第三镜片和第四镜片；

所述第一镜片固设于所述第一光路通道内；

沿所述第二光路通道的延伸方向，所述第二光路通道内依次固设有所述第二镜片、所述第三镜片和所述第四镜片；且所述第二镜片位于所述第一镜片与所述第三镜片之间。

7.根据权利要求6所述的对准镜头，其特征在于，所述第一镜片的中心点、所述第二镜片的中心点、所述第三镜片的中心点和所述第四镜片的中心点均位于所述第一光路通道的中心线上。

8.根据权利要求6所述的对准镜头，其特征在于，所述第一镜片通过第一压圈固设于所述第一光路通道内；所述第一压圈位于所述第一镜片远离所述第一端的一侧；

所述第二镜片与所述第三镜片之间设置有隔圈，所述第二镜片与所述第三镜片通过第二压圈固设于所述第二光路通道内；所述第二压圈位于所述第二镜片靠近所述第三端的一侧；

所述第四镜片通过第三压圈固设于所述第二光路通道内；所述第三压圈位于所述第四镜片远离所述第三端的一侧。

9.一种光刻机，其特征在于，包括如权利要求5-8任一项所述的对准镜头。

10.根据权利要求9所述的光刻机，其特征在于，所述第一镜筒远离所述第一端的一侧设置有用于连接环形光源的连接孔。