CN206241474U - 一种激光加工装置 - Google Patents

一种激光加工装置 Download PDF

Info

Publication number
CN206241474U
CN206241474U CN201621288793.2U CN201621288793U CN206241474U CN 206241474 U CN206241474 U CN 206241474U CN 201621288793 U CN201621288793 U CN 201621288793U CN 206241474 U CN206241474 U CN 206241474U
Authority
CN
China
Prior art keywords
laser beam
laser
workpiece
optical facilities
processing device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN201621288793.2U
Other languages
English (en)
Inventor
赵华龙
武杰杰
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shenzhen Micromach Technology Co Ltd
Original Assignee
Shenzhen Micromach Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shenzhen Micromach Technology Co Ltd filed Critical Shenzhen Micromach Technology Co Ltd
Priority to CN201621288793.2U priority Critical patent/CN206241474U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN206241474U publication Critical patent/CN206241474U/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

本实用新型公开了一种激光加工装置,其包括有激光器及一驱动机构,沿激光器的激光束出射方向依次设有一能够转动的光学机构及一用于承载工件的载台,其中:所述光学机构用于将激光束折射,以令该光学机构输出侧和输入侧的激光束相平行且存在间距,当所述光学机构转动时,驱使其输出侧激光束以输入侧激光束为轴心进行旋转;所述驱动机构用于驱使旋转的激光束和工件产生相对位移,以令激光束在工件上形成螺旋形切割轨迹。本实用新型既能扩大切缝宽度又能避免激光衰减,进而提高激光加工效率,适合加工尺寸较厚的工件。

Description

一种激光加工装置
技术领域
本实用新型涉及激光加工技术领域,尤其涉及一种激光加工装置。
背景技术
激光加工的本质是利用激光聚焦后的高能量密度在材料表面形成一个烧蚀坑,然后通过辅助的运动装置形成加工形状。在实际应用中,厚度小于50μm的超薄材料可能只需一次即可完成穿透加工,但如果材料较厚,则需要多次切割以完全穿透材料。对于厚度小于200μm的薄片材料,可采用相对简单的工艺,即多道切割同时进行,且每道切割都沿着完全相同的轨迹,并使用相同的条件。但是,对于较厚的材料,受激光衰减影响,会降低处理效率。现有技术中,当切割较厚材料时,通常采用改变聚焦镜焦距或光束直径的方式,使光斑尺寸达到合适值来进行切割,但这种方法会降低入射激光的功率,从而影响加工效率,导致在切割加工时不能明显去除切缝处的材料。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题在于,针对现有技术的不足,提供一种既能扩大切缝宽度又能避免激光衰减,进而提高激光加工效率的加工装置。
为解决上述技术问题,本实用新型采用如下技术方案。
一种激光加工装置,其包括有激光器及一驱动机构,沿激光器的激光束出射方向依次设有一能够转动的光学机构及一用于承载工件的载台,其中:所述光学机构用于将激光束折射,以令该光学机构输出侧和输入侧的激光束相平行且存在间距,当所述光学机构转动时,其输出侧激光束以输入侧激光束为轴心进行旋转;所述驱动机构用于驱使旋转的激光束和工件产生相对位移,以令激光束在工件上形成螺旋形切割轨迹。
优选地,所述光学机构包括有结构相同的两个光楔,两个光楔的斜面相对,且两个光楔反向设置,藉由两个光楔而将激光束进行两次折射,使得光学机构的输出侧激光束与输入侧激光束相平行。
优选地,两个光楔的斜面相平行。
优选地,所述驱动机构用于驱使一扫描振镜偏转,所述扫描振镜用于将旋转的激光束反射至工件上,并且当所述扫描振镜偏转时驱使激光束在工件上形成螺旋形切割轨迹。
优选地,所述驱动机构用于驱使载台平移,以令工件与旋转的激光束产生相对位移。
优选地,所述扫描振镜的输出侧设有聚焦透镜,所述聚焦透镜用于将激光束聚焦于工件上而形成聚焦点。
优选地,所述光学机构的输入侧设有扩束镜,所述扩束镜用于调整激光束的直径。
优选地,还包括有一控制器,所述控制器用于控制激光器出射激光束、用于控制光学机构的旋转速度以及用于控制扫描振镜的偏转角度。
本实用新型公开的激光加工装置中,激光器发出的激光束传输至光学机构时,光学机构将激光束折射,使得光学机构两侧的激光束相互平行,当光学机构转动时,其输出侧激光束以输入侧激光束为轴心线进行旋转,该旋转激光束的聚焦点在工件上形成圆形移动轨迹,当驱动机构驱使旋转的激光束和工件产生相对位移时,圆形切割轨迹变成螺旋形,利用该螺旋形切割轨迹,在工件上形成具有一定宽度的切缝,使得切缝可以更深,进而能够加工较厚的工件,同时,无需改变激光束的直径,避免了激光衰减,结合以上两点,使得本实用新型实现了既能扩大切缝宽度又能避免激光衰减的效果,进而提高加工质量和加工效率。
附图说明
图1为本实用新型激光加工装置的结构示意图。
图2为利用激光加工装置对工件进行切割后的切缝放大图。
图3为本实用新型激光加工方法的流程图。
图4为利用现有工艺切割和利用本实用新型切割后的切缝对比图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型作更加详细的描述。
本实用新型公开了一种激光加工装置,结合图1和图2所示,其包括有激光器1及一驱动机构,沿激光器1的激光束出射方向依次设有一能够转动的光学机构2及一用于承载工件100的载台4,其中:
所述光学机构2用于将激光束折射,以令该光学机构2输出侧和输入侧的激光束相平行且存在间距,当所述光学机构2转动时,驱使其输出侧激光束以输入侧激光束为轴心进行旋转;
所述驱动机构用于驱使旋转的激光束和工件100产生相对位移,以令激光束在工件100上形成螺旋形切割轨迹101。
上述激光加工装置中,激光器1发出的激光束传输至光学机构2时,光学机构2将激光束折射,使得光学机构2两侧的激光束相互平行,当光学机构2转动时,其输出侧激光束以输入侧激光束为轴心线进行旋转,该旋转激光束的聚焦点在工件100上形成圆形移动轨迹,当驱动机构驱使旋转的激光束和工件100产生相对位移时,圆形切割轨迹变成螺旋形,利用该螺旋形切割轨迹,在工件100上形成具有一定宽度的切缝,使得切缝可以更深,进而能够加工较厚的工件,同时,无需改变激光束的直径,避免了激光衰减,结合以上两点,使得本实用新型实现了既能扩大切缝宽度又能避免激光衰减的效果,进而提高加工质量和加工效率。
作为一种优选方式,所述光学机构2包括有结构相同的两个光楔20,两个光楔20的斜面相对,且两个光楔20反向设置,藉由两个光楔20而将激光束进行两次折射,并使得光学机构2的输出侧激光束与输入侧激光束相平行。进一步地,两个光楔20的斜面相平行。
其中,两个光楔20优选是棱镜,二者的斜面平行相对,两个光楔20反向设置,使得两个光楔20结合呈类似长方体的形状。使用时,通过调整两个光楔20在径向的相对位置,使得激光束的折射方向得以调节,随之调整了光学机构2输出侧激光束与输入侧激光束的垂线距离,此项调整将改变旋转激光束的半径,即调整了切缝的宽度。
本实施例中,关于驱动机构的优选结构,所述驱动机构用于驱使一扫描振镜3偏转,所述扫描振镜3用于将旋转的激光束反射至工件100上,并且当所述扫描振镜3偏转时驱使激光束在工件100上形成螺旋形切割轨迹101。具体地,当扫描振镜3偏转时,激光束与工件100发生相对移动,此时圆形切割轨迹变成螺旋形。本实用新型优选采用扫描振镜3控制切割轨迹,但是这仅是本实用新型的一个较佳的实施例,并不用于限制本实用新型,在本实用新型的其它实施例中,所述驱动机构还可用于驱使载台4平移,以令工件100与旋转的激光束产生相对位移。
本实施例中,所述扫描振镜3的输出侧设有聚焦透镜5,所述聚焦透镜5用于将激光束聚焦于工件100上而形成聚焦点。所述光学机构2的输入侧设有扩束镜6,所述扩束镜6用于调整激光束的直径。
为了实现自动控制,该激光加工装置还包括有一控制器,所述控制器用于控制激光器1出射激光束、用于控制光学机构2的旋转速度以及用于控制扫描振镜3的偏转角度。其中,光学机构2和扫描振镜3均可以由电机等进行驱动运转,而控制器可以对这些电机等进行电气控制,进而实现对光学机构2旋转速度和扫描振镜3偏转角度的控制,使得激光加工装置能够按预设路径对工件进行加工。
基于上述激光加工装置,本实用新型还公开一种激光加工方法,结合图1至图3所示,该方法基于一激光加工装置实现,所述激光加工装置包括有激光器1及一驱动机构,沿激光器1的激光束出射方向依次设有一能够转动的光学机构2及一用于承载工件100的载台4,所述激光加工方法包括如下步骤:
步骤S1,激光器1出射激光束至光学机构2;
步骤S2,所述光学机构2用于将激光束折射,并使得光学机构2输出侧和输入侧的激光束相平行且存在间距;
步骤S3,所述光学机构2转动,并驱使其输出侧激光束以输入侧激光束为轴心进行旋转;
步骤S4,所述驱动机构驱使旋转的激光束和工件100产生相对位移;
步骤S5,激光束在工件100上形成螺旋形切割轨迹101。
请参照图4,A是利用本实用新型激光加工方法切割后的切缝,B是利用现有工艺切割后的切缝,可见利用本实用新型激光加工方法切割后,切缝具有一定的宽度,所以更适合加工较厚的工件。
进一步地,所述光学机构2包括有结构相同的两个光楔20,两个光楔20的斜面相对,且两个光楔20反向设置,藉由两个光楔20而将激光束进行两次折射,使得光学机构2的输出侧激光束与输入侧激光束相平行,通过调整两个光楔20在径向的相对位置,进而调整螺旋形切割轨迹101的宽度。
其中,两个光楔20优选是棱镜,二者的斜面平行相对,两个光楔20反向设置,使得两个光楔20结合呈类似长方体的形状。使用时,通过调整两个光楔20在径向的相对位置,使得激光束的折射方向得以调节,随之调整了光学机构2输出侧激光束与输入侧激光束的垂线距离,此项调整将改变旋转激光束的半径,即调整了切缝的宽度。
本实用新型公开的激光加工装置及激光加工方法,其通过将激光光束偏转和旋转,使得激光束沿激光器出射激光束的光轴线形成一个锥形扫描轨迹,经过扫描振镜扫描后在材料表面形成螺旋扫描,切缝宽度由螺旋的外径决定而不是取决于激光光斑尺寸,因此,无需改变激光束半径,进而实现切割材料时切缝宽度可控,以提高切割质量与效率。
以上所述只是本实用新型较佳的实施例,并不用于限制本实用新型,凡在本实用新型的技术范围内所做的修改、等同替换或者改进等,均应包含在本实用新型所保护的范围内。

Claims (8)

1.一种激光加工装置,其特征在于,包括有激光器及一驱动机构,沿激光器(1)的激光束出射方向依次设有一能够转动的光学机构(2)及一用于承载工件(100)的载台(4),其中:
所述光学机构(2)用于将激光束折射,以令该光学机构(2)输出侧和输入侧的激光束相平行且存在间距,当所述光学机构(2)转动时,其输出侧激光束以输入侧激光束为轴心进行旋转;
所述驱动机构用于驱使旋转的激光束和工件(100)产生相对位移,以令激光束在工件(100)上形成螺旋形切割轨迹(101)。
2.如权利要求1所述的激光加工装置,其特征在于,所述光学机构(2)包括有结构相同的两个光楔(20),两个光楔(20)的斜面相对,且两个光楔(20)反向设置,藉由两个光楔(20)而将激光束进行两次折射,使得光学机构(2)的输出侧激光束与输入侧激光束相平行。
3.如权利要求2所述的激光加工装置,其特征在于,两个光楔(20)的斜面相平行。
4.如权利要求1所述的激光加工装置,其特征在于,所述驱动机构用于驱使一扫描振镜(3)偏转,所述扫描振镜(3)用于将旋转的激光束反射至工件(100)上,并且当所述扫描振镜(3)偏转时驱使激光束在工件(100)上形成螺旋形切割轨迹(101)。
5.如权利要求1所述的激光加工装置,其特征在于,所述驱动机构用于驱使载台(4)平移,以令工件(100)与旋转的激光束产生相对位移。
6.如权利要求4所述的激光加工装置,其特征在于,所述扫描振镜(3)的输出侧设有聚焦透镜(5),所述聚焦透镜(5)用于将激光束聚焦于工件(100)上而形成聚焦点。
7.如权利要求1所述的激光加工装置,其特征在于,所述光学机构(2)的输入侧设有扩束镜(6),所述扩束镜(6)用于调整激光束的直径。
8.如权利要求4所述的激光加工装置,其特征在于,还包括有一控制器,所述控制器用于控制激光器(1)出射激光束、用于控制光学机构(2)的旋转速度以及用于控制扫描振镜(3)的偏转角度。
CN201621288793.2U 2016-11-28 2016-11-28 一种激光加工装置 Expired - Fee Related CN206241474U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201621288793.2U CN206241474U (zh) 2016-11-28 2016-11-28 一种激光加工装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201621288793.2U CN206241474U (zh) 2016-11-28 2016-11-28 一种激光加工装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN206241474U true CN206241474U (zh) 2017-06-13

Family

ID=59002480

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201621288793.2U Expired - Fee Related CN206241474U (zh) 2016-11-28 2016-11-28 一种激光加工装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN206241474U (zh)

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108115289A (zh) * 2016-11-28 2018-06-05 深圳中科光子科技有限公司 一种激光加工装置及激光加工方法
CN108568597A (zh) * 2018-05-04 2018-09-25 深圳市有道腾达科技有限公司 一种激光束往复摆动式加工装置及方法
CN109048067A (zh) * 2018-08-31 2018-12-21 中国科学院力学研究所 基于透射式振镜的轧辊表面光纤激光无序毛化方法及装置
CN109365414A (zh) * 2018-11-29 2019-02-22 华核(天津)新技术开发有限公司 直线轨迹型同步异向双楔形棱镜式激光清洗头及清洗方法
CN110181170A (zh) * 2018-02-19 2019-08-30 发那科株式会社 激光加工装置
CN110449733A (zh) * 2018-05-07 2019-11-15 大族激光科技产业集团股份有限公司 一种激光加工系统及可调线宽的激光加工方法
CN110449732A (zh) * 2018-05-07 2019-11-15 大族激光科技产业集团股份有限公司 一种激光加工系统及激光加工方法
CN110919169A (zh) * 2018-09-03 2020-03-27 大族激光科技产业集团股份有限公司 一种激光加工实时检测装置及方法
CN112475627A (zh) * 2020-11-17 2021-03-12 华虹半导体(无锡)有限公司 Taiko减薄晶圆的去环方法
CN112705859A (zh) * 2020-12-14 2021-04-27 华虹半导体(无锡)有限公司 晶圆的激光切割去环方法
CN115922112A (zh) * 2022-12-09 2023-04-07 星控激光科技(上海)有限公司 用于气膜孔加工的四光楔和振镜一体化加工装置和方法

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108115289A (zh) * 2016-11-28 2018-06-05 深圳中科光子科技有限公司 一种激光加工装置及激光加工方法
CN110181170A (zh) * 2018-02-19 2019-08-30 发那科株式会社 激光加工装置
CN108568597A (zh) * 2018-05-04 2018-09-25 深圳市有道腾达科技有限公司 一种激光束往复摆动式加工装置及方法
CN110449733B (zh) * 2018-05-07 2021-10-08 大族激光科技产业集团股份有限公司 一种激光加工系统及可调线宽的激光加工方法
CN110449733A (zh) * 2018-05-07 2019-11-15 大族激光科技产业集团股份有限公司 一种激光加工系统及可调线宽的激光加工方法
CN110449732A (zh) * 2018-05-07 2019-11-15 大族激光科技产业集团股份有限公司 一种激光加工系统及激光加工方法
CN109048067A (zh) * 2018-08-31 2018-12-21 中国科学院力学研究所 基于透射式振镜的轧辊表面光纤激光无序毛化方法及装置
CN110919169A (zh) * 2018-09-03 2020-03-27 大族激光科技产业集团股份有限公司 一种激光加工实时检测装置及方法
CN110919169B (zh) * 2018-09-03 2021-12-10 大族激光科技产业集团股份有限公司 一种激光加工实时检测装置及方法
CN109365414A (zh) * 2018-11-29 2019-02-22 华核(天津)新技术开发有限公司 直线轨迹型同步异向双楔形棱镜式激光清洗头及清洗方法
CN112475627A (zh) * 2020-11-17 2021-03-12 华虹半导体(无锡)有限公司 Taiko减薄晶圆的去环方法
CN112705859A (zh) * 2020-12-14 2021-04-27 华虹半导体(无锡)有限公司 晶圆的激光切割去环方法
CN115922112A (zh) * 2022-12-09 2023-04-07 星控激光科技(上海)有限公司 用于气膜孔加工的四光楔和振镜一体化加工装置和方法
CN115922112B (zh) * 2022-12-09 2023-11-17 苏州思萃声光微纳技术研究所有限公司 用于气膜孔加工的四光楔和振镜一体化加工方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN206241474U (zh) 一种激光加工装置
CN108883499B (zh) 用于制造三维构件的层或者说层的子区域的方法;相应的计算机程序载体
CN108115289A (zh) 一种激光加工装置及激光加工方法
CN104162741B (zh) 激光加工装置及其方法
US9931712B2 (en) Laser drilling and trepanning device
US20110266264A1 (en) Method and apparatus for forming grooves in the surface of a polymer layer
JP2021519863A (ja) 付加製造システム及び方法
KR101362738B1 (ko) 레이저광에 의한 워크 가공 장치
CN103203541B (zh) 一种激光加工装置
CN103203552B (zh) 一种大幅面微孔高速钻孔系统
CN106312335B (zh) 一种激光钻孔与钻孔填充系统及方法
CN105301768B (zh) 振镜式激光扫描系统
CN212019780U (zh) 一种激光旋转钻孔装置
CN206230159U (zh) 一种激光钻孔与钻孔填充系统
CN110253155B (zh) 一种微裂纹控制的激光加工装置
KR102375235B1 (ko) 레이저 가공 시스템 및 방법
CN112008239A (zh) 一种螺旋扫描激光加工装置及加工方法
CN103418913A (zh) 一种超短脉冲激光加工小孔装置及小孔加工方法
CN101380696A (zh) 一种薄壁管激光微切割装置及方法
CN113245694A (zh) 一种加工尺寸可调、锥度可控的激光切缝装置
CN115639681A (zh) 一种可变尺寸线形光束整形装置及整形方法
JP6910086B1 (ja) レーザ加工装置、レーザ加工システム、ローテータユニット装置、レーザ加工方法、及び、プローブカードの生産方法
JP2019098373A (ja) 付加加工用ヘッド
CN109365814B (zh) 一种单振镜大幅面增材制造激光成形设备及成形方法
CN108161230A (zh) 一种准3d加工球冠栅网的装置及其方法

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20170613

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee