CN206114220U - 一种超灵敏检漏仪在线校准系统 - Google Patents
一种超灵敏检漏仪在线校准系统 Download PDFInfo
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Abstract
一种超灵敏检漏仪在线校准系统包括氦气瓶，氦气瓶内的气体经压力电动调节器、第一真空阀进入到蓝宝石微流量针阀的输入端，蓝宝石微流量针阀的输出端一方面经第二真空阀进入到薄膜真空规，薄膜真空规将数据传送到PLC控制器，蓝宝石微流量针阀的输出端另一方面依次经白金丝‑玻璃漏孔、第三真空阀、第一远传压力真空表、被检超灵敏检漏仪、第二远传压力真空表和第四真空阀形成的回路回到蓝宝石微流量针阀与第二真空阀的管路连接处，所述压力电动调节器、蓝宝石微流量针阀、远传压力真空表均与PLC控制器连接。本装置能够实现对超灵敏检漏仪实时、在线校准，并且测量范围宽，自动化水平高，提高了检漏仪的检测水平。
Description
技术领域
本实用新型涉及检漏仪计量检测技术领域，尤其涉及了一种超灵敏检漏仪在线校准系统。
背景技术
随着质谱分析技术在科学及工业领域中应用的与日俱增，尤其在一些尖端科技领域如航空航天领域，超灵敏检漏仪在上述行业的应用越来越广泛，因此一些相关单位开始提出对超灵敏检漏仪进行校准，以保证超灵敏检漏仪使用过程中的稳定可靠，如果长期对超灵敏检漏仪的测量数据不进行校准，可能会造成严重的后果，因此需要对超灵敏检漏仪进行校准。
发明内容
本实用新型提供了一种超灵敏检漏仪在线校准系统，其特征在于：所述超灵敏检漏仪在线校准系统包括氦气瓶1，所述氦气瓶1内的气体经压力电动调节器2、第一真空阀3进入到蓝宝石微流量针阀4的输入端，蓝宝石微流量针阀4控制气压后的输出端一方面经第二真空阀5进入到薄膜真空规6，薄膜真空规6实时检测气体压力并将数据传送到PLC控制器7，蓝宝石微流量针阀4的输出端另一方面依次经白金丝-玻璃漏孔8、第三真空阀9、第一远传压力真空表10、被检超灵敏检漏仪11、第二远传压力真空表12和第四真空阀13形成的回路回到蓝宝石微流量针阀4与第二真空阀5的管路连接处，所述压力电动调节器2、蓝宝石微流量针阀4、第一远传压力真空表10、第二远传压力真空表12均与PLC控制器7连接。
作为优选的技术方案，还包括恒温箱14，所述白金丝-玻璃漏孔8位于恒温箱14内，恒温箱14前端设置有透明窗，所述恒温箱14具有温度调节功能。
作为优选的技术方案，所述白金丝-玻璃漏孔8由玻璃管、白金丝、玻璃外壳组成，所述白金丝的直径为（0.1-0.15）mm。
本实用新型的优点：本装置能够实现对超灵敏检漏仪实时、在线校准，并且测量范围宽，校准精度高，自动化水平高，提高了检漏仪的检测水平。
附图说明
下面结合附图及实施方式对本实用新型作进一步详细的说明：
图1为一种超灵敏检漏仪在线校准系统原理结构示意图。
具体实施方式
一种超灵敏检漏仪在线校准系统，包括氦气瓶1，所述氦气瓶1内的气体经压力电动调节器2、第一真空阀3进入到蓝宝石微流量针阀4的输入端，蓝宝石微流量针阀4控制气压后的输出端一方面经第二真空阀5进入到薄膜真空规6，薄膜真空规6实时检测气体压力并将数据传送到PLC控制器7，蓝宝石微流量针阀4的输出端另一方面依次经白金丝-玻璃漏孔8、第三真空阀9、第一远传压力真空表10、被检超灵敏检漏仪11、第二远传压力真空表12和第四真空阀13形成的回路回到蓝宝石微流量针阀4与第二真空阀5的管路连接处，所述压力电动调节器2、蓝宝石微流量针阀4、第一远传压力真空表10、第二远传压力真空表12均与PLC控制器7连接。
白金丝-玻璃漏孔8位于恒温箱14内，恒温箱14前端设置有透明窗，所述恒温箱14具有温度调节功能，可使白金丝-玻璃漏孔8在恒定的温度，不受外界因素的影响，进一步提高了校准精度。白金丝-玻璃漏孔8是整个校准装置的核心部件，白金丝-玻璃漏孔8由玻璃管、白金丝、玻璃外壳组成，它是将白金丝和玻璃两者高温熔封在一起，但两者膨胀系数不同，当降到一定温度时，会形成对气流能起限制作用的环状间隙，从而构成了一个漏孔。白金丝的直径为（0.1-0.15）mm，焊接长度为（5-10）mm，此时需要测量第一远传压力真空表10和第二远传压力真空表12的压力值，从而计算出两端的压差，即可得到漏率值。并且通过PLC控制器7调节压力电动调节器2，配合蓝宝石微流量针阀4和薄膜真空规6的使用，可使压差根据需求进行改变，进一步使其漏率变得可调，实现了对超灵敏检漏仪在线多数据校准，也实现了超灵敏检漏仪自动化校准。
Claims (3)
1.一种超灵敏检漏仪在线校准系统，其特征在于：所述超灵敏检漏仪在线校准系统包括氦气瓶（1），所述氦气瓶（1）内的气体经压力电动调节器（2）、第一真空阀（3）进入到蓝宝石微流量针阀（4）的输入端，蓝宝石微流量针阀（4）控制气压后的输出端一方面经第二真空阀（5）进入到薄膜真空规（6），薄膜真空规（6）实时检测气体压力并将数据传送到PLC控制器（7），蓝宝石微流量针阀（4）的输出端另一方面依次经白金丝-玻璃漏孔（8）、第三真空阀（9）、第一远传压力真空表（10）、被检超灵敏检漏仪（11）、第二远传压力真空表（12）和第四真空阀（13）形成的回路回到蓝宝石微流量针阀（4）与第二真空阀（5）的管路连接处，所述压力电动调节器（2）、蓝宝石微流量针阀（4）、第一远传压力真空表（10）、第二远传压力真空表（12）均与PLC控制器（7）连接。
2.根据权利要求1所述超灵敏检漏仪在线校准系统，其特征在于：还包括恒温箱（14），所述白金丝-玻璃漏孔（8）位于恒温箱（14）内，恒温箱（14）前端设置有透明窗，所述恒温箱（14）具有温度调节功能。
3.根据权利要求1所述超灵敏检漏仪在线校准系统，其特征在于：所述白金丝-玻璃漏孔（8）由玻璃管、白金丝、玻璃外壳组成，所述白金丝的直径为（0.1-0.15）mm。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201621071701.5U CN206114220U (zh) | 2016-09-23 | 2016-09-23 | 一种超灵敏检漏仪在线校准系统 |
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Family Applications (1)
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| CN201621071701.5U Expired - Fee Related CN206114220U (zh) | 2016-09-23 | 2016-09-23 | 一种超灵敏检漏仪在线校准系统 |
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| Country | Link |
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| CN (1) | CN206114220U (zh) |
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