CN206106125U - 用于划片机的旋转机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型的用于划片机的旋转机构，技术目的是提供一种高精度、高效率、高稳定性和低成本的用于划片机的旋转机构。包括一用于承载工装夹具的陶瓷吸盘，其中所述陶瓷吸盘下方设有一真空板，所述真空板下方设有一用于绝缘的陶瓷板，所述陶瓷板下设有一固定板，所述真空板与固定板间设有密封板，固定板下方设有一电机及接头。本实用新型在应用中既提高了生产效率，也提高了切割产品的良品率。

Description

用于划片机的旋转机构

技术领域

本实用新型涉及一种划片机，更具体的说，涉及一种用于芯片生产中划片机的旋转机构。

背景技术

在现有技术中，传统切割设备在某一方向对产品进行切割后需要重新对产品的切割方向进行人工调整后再次进行切割，严重影响了切割效率；并且由于是人工调整切割方向；并容易造成切割精度不高、性能不稳定的缺点。随着科技的发展，产品的集成度越来越高，如单一晶圆上集成的芯片越来越多，其划切街区越来越小，人工调整已无法满足精度需求。

发明内容

本实用新型的技术目的是克服现有技术中，晶片切割设备由于人工转换切割方向，容易造成切割精度不高、性能不稳定的技术问题；提供一种高精度、高效率、高稳定性和低成本的用于划片机的旋转机构。

为实现以上技术目的，本实用新型的技术方案是：

用于划片机的旋转机构，包括一用于承载工装夹具的陶瓷吸盘，其中所述陶瓷吸盘下方设有一真空板，所述真空板下方设有一用于绝缘的陶瓷板，所述陶瓷板下设有一固定板，所述真空板与固定板间设有密封板，固定板下方设有一电机及接头。

更进一步的，所述固定板下方设有第一防水圈及第二防水圈及防水板。

更进一步的，所述电机下方设有一电机固定板，所述电机固定板下方设有一滑板。

更进一步的，所述电机固定板与滑板之间设有空心螺杆。

更进一步的，所述真空板与陶瓷吸盘间设有一用于定位的密封圈及销钉。

本实用新型的有益技术效果是：实际使用中，具备良好的工业精度、在使用时不需要人工调整切割方向，具备高效率、高稳定性的有益效果；本实用新型在应用中既提高了生产效率，也提高了切割产品的良品率。

附图说明

图1是本实用新型一个实施例的结构示意图。

具体实施方式

结合图1，在本实用新型的实施中，包括一用于承载工装夹具的陶瓷吸盘1，其中所述陶瓷吸盘1下方设有一真空板3，所述真空板3与陶瓷吸盘1间连通设置一用于定位的密封圈6及销钉，所述真空板3下方设有一用于绝缘的陶瓷板4，所述陶瓷板4下设有一固定板5，所述真空板3与固定板5间设置一用于密封的密封板2，所述固定板5下方设有一电机8及用于接气的接头7和用于接地的端子以及用于防水的第一防水圈9及第二防水圈10，第一防水圈9及第二防水圈10下方设有一与其构成迷宫密封的防水板11，所述电机8下方设有一电机固定板16，所述电机固定板16下方设有一滑板15，所述电机固定板16与滑板15之间设置一用于调节电机固定板16高度的空心螺杆13，空心螺杆13通过旋转调节高度；所述空心螺杆13下方连接一用于对空心螺杆13进行涨紧的螺母12，所述空心螺杆13与滑板15之间设置一用于固定的螺丝14；感应组件B01连接于所述滑板15的一侧。所述感应组件包括连接座、第一传感器、第二传感器、弹簧、导轨、滑块和挡块。本实用新型由电机8带动。

Claims (4)

1.用于划片机的旋转机构，其特征是：包括一用于承载工装夹具的陶瓷吸盘，其中所述陶瓷吸盘下方设有一真空板，所述真空板下方设有一用于绝缘的陶瓷板，所述陶瓷板下设有一固定板，所述真空板与固定板间设有密封板，固定板下方设有一电机及接头。

2.根据权利要求1所述的用于划片机的旋转机构，其特征是：所述固定板下方设有第一防水圈、第二防水圈及防水板。

3.根据权利要求1所述的用于划片机的旋转机构，其特征是：所述电机下方设有一电机固定板，所述电机固定板下方设有一滑板。

4.根据权利要求1所述的用于划片机的旋转机构，其特征是：所述真空板与陶瓷吸盘间设有一用于定位的密封圈及销钉。