CN206074471U - 玻璃基板表面缺陷的查看装置及查看系统 - Google Patents
玻璃基板表面缺陷的查看装置及查看系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN206074471U CN206074471U CN201621141944.1U CN201621141944U CN206074471U CN 206074471 U CN206074471 U CN 206074471U CN 201621141944 U CN201621141944 U CN 201621141944U CN 206074471 U CN206074471 U CN 206074471U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- glass baseplate
- baseplate surface
- surface defect
- checking device
- eyepiece
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Lenses (AREA)
Abstract
本公开涉及一种玻璃基板表面缺陷的查看装置及查看系统,其中玻璃基板表面缺陷的查看装置包括相机、放大镜筒体和支撑罩,所述放大镜筒体具有目镜和物镜,所述支撑罩围绕所述物镜并用于罩设在所述玻璃基板上,所述放大镜筒体侧壁上设置有朝向所述物镜发射光线的光源,所述相机可拆卸地连接在所述目镜外以采集经所述放大镜筒体放大后的所述玻璃基板表面缺陷的图像。通过上述技术方案,在暗场环境下,光源发射的光线照射至玻璃基板表面,通过放大镜筒体上目镜和物镜的配合以放大玻璃基板表面的缺陷,同时用相机采集缺陷图像,能够快速、准确地对玻璃基板表面缺陷类型进行确认,操作简单、效率高。
Description
技术领域
本公开涉及玻璃基板缺陷检查技术领域,具体地,涉及一种玻璃基板表面缺陷的查看装置及查看系统。
背景技术
在玻璃基板实际生产过程中,玻璃基板表面常出现裂纹、暗伤、黑点、颗粒聚集等缺陷,对产品品质造成严重影响,为了使客户对产品品质满意,需要对玻璃基板表面的缺陷及时抽查确认,并根据抽查的结果制定解决对策。现有技术对于玻璃基板表面缺陷的确认是在暗场作业下切片取样进行检测,一方面不能对缺陷进行分析确认,另一方面取样时会对玻璃基板表面造成污染,对产品质量造成影响。
实用新型内容
本公开的目的是提供一种玻璃基板表面缺陷的查看装置,该查看装置能够快速、准确地确认玻璃基板表面缺陷类型。
为了实现上述目的,本公开提供一种玻璃基板表面缺陷的查看装置,包括相机、放大镜筒体和支撑罩,所述放大镜筒体具有目镜和物镜,所述支撑罩围绕所述物镜并用于罩设在所述玻璃基板上,所述放大镜筒体侧壁上设置有朝向所述物镜发射光线的光源,所述相机连接在所述目镜外以采集经所述放大镜筒体放大后的所述玻璃基板表面缺陷的图像。
可选地,所述相机可拆卸地连接在所述目镜外。
可选地,所述放大镜筒体包括位于所述目镜和所述物镜之间的锥形部,该锥形部的上部小端安装有调节所述物镜和所述目镜距离的调焦旋钮,所述 光源安装在所述锥形部的下部大端上。
可选地,所述目镜可沿中线轴向可移动地从所述上部小端插入所述锥形部中,并与所述调焦旋钮螺纹配合。
可选地,所述物镜通过连接部可拆卸地连接于所述锥形部上,所述支撑罩的上端连接在所述连接部的下端。
可选地,所述支撑罩为内部中空且两端开口的圆台,该圆台远离所述目镜并靠近玻璃基板侧的开口直径大于靠近所述目镜侧的开口直径。
可选地,所述锥形部的侧壁上形成安装口,所述光源安装在该安装口上,以使得发射的光线通过所述安装口照射至所述玻璃基板表面。
可选地,所述安装口的轴线与所述锥形部的中心轴线成锐角。
可选地,所述光源安装在LED光源主体上,所述LED光源主体与所述安装口之间螺纹连接。
可选地,所述LED光源主体上设置有开关。
一种玻璃基板表面缺陷的查看系统,包括玻璃基板表面缺陷的查看装置,和与所述相机电连接的显示终端。
通过上述技术方案,尤其是围绕物镜设置罩设在玻璃基板表面上的支撑罩,能够实现暗场环境,此时光源发射的光线照射至玻璃基板表面,通过放大镜筒体上目镜和物镜的配合以放大玻璃基板表面的缺陷,同时用相机采集缺陷图像,能够快速、准确地对玻璃基板表面缺陷类型进行确认,操作简单、效率高。
本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。
附图说明
附图是用来提供对本公开的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与下面的具体实施方式一起用于解释本公开,但并不构成对本公开的限制。在 附图中:
图1是根据本实用新型一个实施方式的玻璃基板表面缺陷的查看装置结构示意图。
附图标记说明
1 目镜 2 调焦旋钮
3 LED光源主体 4 开关
5 光源 6 安装口
7 物镜 8 支撑罩
9 相机 10 数据线
11 玻璃基板 12 锥形部
13 连接部 14 显示终端
具体实施方式
以下结合附图对本公开的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是,此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本公开,并不用于限制本公开。
在本公开中,在未作相反说明的情况下,使用的方位词如“上、下”是以相应附图的图面为基准定义的上和下,具体地,可参考图1的图面方向。
如图1所示,本实用新型提供一种玻璃基板表面缺陷的查看装置,包括相机9、放大镜筒体和支撑罩8,放大镜筒体上安装有目镜1和物镜7,支撑罩8围绕物镜7并用于罩设在玻璃基板11上,这里,支撑罩8的作用一方面是形成暗场环境,另一方面可以用于支撑放大镜筒体,另外,放大镜筒体侧壁上设置有朝向物镜7发射光线的光源5,相机9连接在目镜1外,本实用新型中,相机9可拆卸地连接在目镜1外,以采集经放大镜筒体放大后的 玻璃基板表面缺陷的图像,通过上述技术方案,尤其是围绕物镜设置罩设在玻璃基板表面上的支撑罩,能够实现暗场环境,此时光源发射的光线照射至玻璃基板表面,通过放大镜筒体上目镜和物镜的配合以放大玻璃基板表面的缺陷,同时用相机采集缺陷图像,能够快速、准确地确认玻璃基板表面缺陷类型进行确认,操作简单、效率高。
具体地,如图1所示,放大镜筒体包括位于目镜1和物镜7之间的锥形部12,锥形部12的上部小端安装有用于调节物镜7和目镜1距离的调焦旋钮2,光源5安装在锥形部12的下部大端的侧壁上,这里,形成为锥形部12的结构形式可以更方便将光源5安装在放大镜筒体上,另外,目镜1可沿中线轴向可移动地从锥形部12的上部小端插入锥形部12中。目镜1、物镜7以及调焦旋钮2可以采用可拆卸的连接方式安装于锥形部12上,具体可以是螺纹连接,具有制造简单,联接可靠、使用方便、通用性好、可装拆而重复使用等优点。
进一步地,物镜7可以通过连接部13可拆卸地连接于锥形部12上,连接部13和锥形部12优先选用螺纹连接,支撑罩8的上端连接在连接部13的下端,具体地,支撑罩8可以形成为内部中空且两端开口的圆台,该圆台远离所述目镜并靠近玻璃基板侧的开口直径大于靠近所述目镜侧的开口直径,这样,一方面更有利于形成暗场环境以方便相机采集图像,另一方面,远离目镜的方向内径增大可以保证支撑罩在支撑放大镜筒体的过程中结构更加的稳定。
如图1所示,本实用新型提供的玻璃基板表面缺陷的查看装置中锥形部12的侧壁上还形成安装口6,光源5安装在该安装口6上,以使得发射的光线通过安装口6照射至玻璃基板11表面,本实用新型中,安装口6呈圆形结构,并且安装口6的轴线与锥形部12的中心轴线成锐角,这样更有利于光源发出的光线经由放大镜的筒壁照射至玻璃基板11的表面,以方便相机9 准确地获取玻璃基板11表面的缺陷。
如图1所示,光源5可以安装在LED光源主体3上,LED光源主体3可以为圆柱体结构,这样,LED光源主体3可以通过螺纹连接的方式安装于安装口6上,如果放大镜筒体侧壁的光源5亮度不够或者发生损坏等问题时,可以将LED光源主体3从安装口6上旋下来以更换LED光源主体。另外,为了保证查看装置对于缺陷类型判断的准确性,可以在锥形部12的下部大端设置沿周向均匀设置多个光源,相应地,设置多个LED光源主体,具体地可以设置为三个。
如图1所示,本实用新型中,LED光源主体3上还设置有开关4,以控制光源5的打开或者关闭。
本实用新型还提供一种玻璃基板表面缺陷的查看系统,包括玻璃基板表面缺陷的查看装置,和与相机9电连接的显示终端14,显示终端14可以是显示器,显示器可以通过数据线10与相机连接,这样可以将相机9拍摄的缺陷通过数据线10呈现在显示器上,提高了缺陷类型判定结果的准确性,为品质改善提供了正确的方向。
本实用新型提供的玻璃基板表面缺陷的查看装置可以按照以下步骤进行:
1、根据检查设备获取缺陷(颗粒、异物、裂纹、暗伤等缺陷)的坐标;
2、根据缺陷的坐标,将查看装置放置在缺陷坐标处,打开LED光源主体上的开关。
3、通过调焦旋钮的上升或下降以在电脑显示器上查看到最清晰的缺陷图像,使用相机对其缺陷类型进行拍照、记录、分析,及时反馈加工工序进行对策,提高产品品质。
以上结合附图详细描述了本公开的优选实施方式,但是,本公开并不限于上述实施方式中的具体细节,在本公开的技术构思范围内,可以对本公开 的技术方案进行多种简单变型,这些简单变型均属于本公开的保护范围。
另外需要说明的是,在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征,在不矛盾的情况下,可以通过任何合适的方式进行组合,为了避免不必要的重复,本公开对各种可能的组合方式不再另行说明。
此外,本公开的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合,只要其不违背本公开的思想,其同样应当视为本公开所公开的内容。
Claims (11)
1.一种玻璃基板表面缺陷的查看装置,其特征在于,包括相机(9)、放大镜筒体和支撑罩(8),所述放大镜筒体具有目镜(1)和物镜(7),所述支撑罩(8)围绕所述物镜(7)并用于罩设在所述玻璃基板(11)上,所述放大镜筒体侧壁上设置有朝向所述物镜(7)发射光线的光源(5),所述相机(9)连接在所述目镜(1)外以采集经所述放大镜筒体放大后的所述玻璃基板(11)表面缺陷的图像。
2.根据权利要求1所述的玻璃基板表面缺陷的查看装置,其特征在于,所述相机(9)可拆卸地连接在所述目镜(1)外。
3.根据权利要求1所述的玻璃基板表面缺陷的查看装置,其特征在于,所述放大镜筒体包括位于所述目镜(1)和所述物镜(7)之间的锥形部(12),该锥形部(12)的上部小端安装有调节所述物镜(7)和所述目镜(1)距离的调焦旋钮(2),所述光源(5)安装在所述锥形部(12)的下部大端上。
4.根据权利要求3所述的玻璃基板表面缺陷的查看装置,其特征在于,所述目镜(1)可沿中线轴向可移动地从所述上部小端插入所述锥形部(12)中,并与所述调焦旋钮(2)螺纹配合。
5.根据权利要求3所述的玻璃基板表面缺陷的查看装置,其特征在于,所述物镜(7)通过连接部(13)可拆卸地连接于所述锥形部(12)上,所述支撑罩(8)的上端连接在所述连接部(13)的下端。
6.根据权利要求1或5所述的玻璃基板表面缺陷的查看装置,其特征在于,所述支撑罩(8)为内部中空且两端开口的圆台,该圆台远离所述目镜(1)并靠近所述玻璃基板(11)侧的开口直径大于靠近所述目镜(1)侧的开口直径。
7.根据权利要求3所述的玻璃基板表面缺陷的查看装置,其特征在于,所述锥形部(12)的侧壁上形成安装口(6),所述光源(5)安装在该安装口(6)上,以使得发射的光线通过所述安装口(6)照射至所述玻璃基板(11)表面。
8.根据权利要求7所述的玻璃基板表面缺陷的查看装置,其特征在于,所述安装口(6)的轴线与所述锥形部(12)的中心轴线成锐角。
9.根据权利要求7所述的玻璃基板表面缺陷的查看装置,其特征在于,所述光源(5)安装在LED光源主体(3)上,所述LED光源主体(3)与所述安装口(6)之间螺纹连接。
10.根据权利要求9所述的玻璃基板表面缺陷的查看装置,其特征在于,所述LED光源主体(3)上设置有开关(4)。
11.一种玻璃基板表面缺陷的查看系统,其特征在于,包括根据权利要求1-10中任意一项所述的查看装置,和与所述相机(9)电连接的显示终端(14)。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201621141944.1U CN206074471U (zh) | 2016-10-20 | 2016-10-20 | 玻璃基板表面缺陷的查看装置及查看系统 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201621141944.1U CN206074471U (zh) | 2016-10-20 | 2016-10-20 | 玻璃基板表面缺陷的查看装置及查看系统 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN206074471U true CN206074471U (zh) | 2017-04-05 |
Family
ID=58442893
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201621141944.1U Active CN206074471U (zh) | 2016-10-20 | 2016-10-20 | 玻璃基板表面缺陷的查看装置及查看系统 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN206074471U (zh) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108802283A (zh) * | 2018-06-07 | 2018-11-13 | 四川旭虹光电科技有限公司 | 一种玻璃基板表面缺陷方向及高低的测试方法 |
CN110757396A (zh) * | 2019-11-11 | 2020-02-07 | 青田古信钟表有限公司 | 一种机械表用装卸平台 |
-
2016
- 2016-10-20 CN CN201621141944.1U patent/CN206074471U/zh active Active
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108802283A (zh) * | 2018-06-07 | 2018-11-13 | 四川旭虹光电科技有限公司 | 一种玻璃基板表面缺陷方向及高低的测试方法 |
CN110757396A (zh) * | 2019-11-11 | 2020-02-07 | 青田古信钟表有限公司 | 一种机械表用装卸平台 |
CN110757396B (zh) * | 2019-11-11 | 2020-12-29 | 广州市万表科技股份有限公司 | 一种机械表用装卸平台 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN206074471U (zh) | 玻璃基板表面缺陷的查看装置及查看系统 | |
CN105547182A (zh) | 喷丝板检测设备及方法 | |
EP2933630A3 (en) | Optical lens system and method for microfluidic devices | |
CN103673880A (zh) | 基于复合反射镜的微小孔内壁视觉检测系统及其检测方法 | |
CN206291087U (zh) | 一种led投影灯 | |
JP2009069374A (ja) | 内面検査装置 | |
EP1798663A3 (en) | Fixed optical camera having aiming means | |
CN101916706B (zh) | 一种扫描电镜样品台及扫描电镜 | |
US20110267616A1 (en) | Microscopic spectrum apparatus | |
CN205333509U (zh) | 多类型高光谱成像集成装置及系统 | |
JP5815831B1 (ja) | 組立可動式顕微鏡基台及び該基台を備えた顕微鏡 | |
CN105573022B (zh) | 一种飞行器的云台相机及使用其的飞行器 | |
CN114157793A (zh) | 用于光纤传像元件与图像传感器中光敏面耦合的系统及方法 | |
CN105004328B (zh) | 一种利用激光笔定位不可见激光的定位夹具 | |
JP2018072054A (ja) | 穿設装置 | |
CN209820415U (zh) | 视觉图像测量仪 | |
CN221007337U (zh) | 一种用于生物样品成像的定焦调节拍摄系统 | |
CN204562109U (zh) | 一种利用调节片调节能量输出强度的光活检光源装置 | |
CN207233699U (zh) | 一种maldi用光路及高压电场施加装置及质谱仪 | |
CN104771143B (zh) | 一种远程智能光活检诊断仪 | |
CN207923683U (zh) | 一种纺织品动态检测装置 | |
CN104280995B (zh) | 一种相机焦面电荷耦合器件快速成像方法 | |
CN209400448U (zh) | 一种管道在线检测装置 | |
CN103852854A (zh) | 长镜筒内透镜的安装工具 | |
CN212379669U (zh) | 快速定焦与调平装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant | ||
PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right |
Denomination of utility model: Glass substrate surface defect looks over device and looks over system Effective date of registration: 20200713 Granted publication date: 20170405 Pledgee: Beijing State Owned Financial Leasing Co., Ltd Pledgor: WUHU TUNGHSU PHOTOELECTRIC SCIENCE AND TECHNOLOGY Co.,Ltd. Registration number: Y2020990000738 |
|
PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right |