CN206047359U - 动态聚焦振镜拼接激光刻蚀机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种动态聚焦振镜拼接激光刻蚀机，包括机架、控制系统、计算机系统、激光发生器、吸附平台、二维振镜头和两个交叉的直线运动平台，控制系统、计算机系统和激光发生器都安装在机架上，激光发生器的激光头和二维振镜头安装在吸附平台上方，激光发生器的激光头的激光出光孔与二维振镜头的激光进光孔同心，两个交叉的直线运动平台运动方向相互垂直，激光发生器和二维振镜头各有两件或两件以上，多件激光发生器的激光头和二维振镜头组合后并排安装，其特征在于：还包括动态聚焦镜，动态聚焦镜安装在激光发生器的激光头和二维振镜头组合之间。本实用新型的动态聚焦振镜拼接激光刻蚀机生产效率高，良品率高。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种激光刻蚀设备，特别是涉及动态聚焦振镜拼接激光刻蚀机。
背景技术
用于刻蚀显示触摸屏ITO薄膜、玻璃基底或PET基底的银浆激光刻蚀设备的扫描运动驱动机构多采用二维振镜头和F-θ透镜组组合，这种激光刻蚀设备刻蚀速度快，效率高，但是，由于刻蚀产品对刻蚀的线宽有一定的要求，使得二维振镜头和F-θ透镜组组合的刻蚀幅面受到限制。一般情况下，F-θ透镜组所刻蚀的幅面大，其刻蚀的线宽就宽，同时，F-θ透镜组的焦距就大。如果加大刻蚀幅面，其刻蚀的线宽也会变宽，往往不能满足客户对线宽的要求。所以现有采用二维振镜头和F-θ透镜组组合的激光刻蚀设备的刻蚀幅面都比较小。加工一块大的材料要实行多次拼接刻蚀，生产效率低；同时，多次刻蚀的拼接往往会使产品的良品率降低。
专利号为CN201420817079.2一种双振镜多幅面切换激光刻蚀机，包括机架、控制系统、计算机系统、激光发生器、吸附平台、二维振镜头、两个交叉的直线运动平台、升降台和F-θ透镜组，控制系统、计算机系统和激光发生器都安装在机架上，升降台、激光发生器的激光头、二维振镜头和F-θ透镜组安装在吸附平台上方，F-θ透镜组安装在二维振镜头下部，激光发生器、二维振镜头和F-θ透镜组各有两件，两件激光发生器的激光头、二维振镜头和F-θ透镜组组合后并排安装，其特征在于：在一件激光发生器的激光头、二维振镜头和F-θ透镜组下方安装在直线导轨。能实现一台设备对不同线宽及幅面的产品的生产要求，设备适应性好，设备利用率高，生产成本低。
虽然专利号CN201420817079.2的双振镜多幅面切换激光刻蚀机，能实现一台设备对不同线宽及幅面的产品的生产要求，设备适应性好，设备利用率高，生产成本低。但是，此激光刻蚀机采用二维振镜头和F-θ透镜组组合，即使使用双振镜头拼接，激光刻蚀设备的刻蚀幅面仍然比较小，加工一块大的材料要实行多次拼接刻蚀，生产效率低；同时，多次刻蚀的拼接往往会使产品的良品率降低。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种动态聚焦振镜拼接激光刻蚀机，此动态聚焦振镜拼接激光刻蚀机生产效率高，良品率高。
为了达到上述目的，本实用新型的动态聚焦振镜拼接激光刻蚀机，包括机架、控制系统、计算机系统、激光发生器、吸附平台、二维振镜头和两个交叉的直线运动平台，控制系统、计算机系统和激光发生器都安装在机架上，激光发生器的激光头和二维振镜头安装在吸附平台上方，激光发生器的激光头的激光出光孔与二维振镜头的激光进光孔同心，两个交叉的直线运动平台运动方向相互垂直，激光发生器和二维振镜头各有两件或两件以上，多件激光发生器的激光头和二维振镜头组合后并排安装，其特征在于：还包括动态聚焦镜，动态聚焦镜安装在激光发生器的激光头和二维振镜头组合之间。
因为本动态聚焦振镜拼接激光刻蚀机包括动态聚焦，动态聚焦镜安装在激光发生器的激光头和二维振镜头组合之间，而动态聚焦可以将焦距拉长，通过动态聚焦的激光会增大扫描面积，也就是每次刻蚀加工的面积增大，使生产率得到了提高。在激光刻蚀加工中，拼接次数越多，越容易产生不合格品，本动态聚焦振镜拼接激光刻蚀机每次刻蚀加工的面积增大，同一面积大小的工件需要拼接的次数减少，所以良品率高。
所述的动态聚焦镜是在普通聚焦镜上加了一个Z方向的运动，随着扫描位置的不同，动态聚焦镜前后移动，从而保证扫描平面上的准确聚焦。动态聚焦镜的运动是通过直线转换器来实现的，它将旋转运动转化为直线运动。
所述的机架为金属结构件或大理石构件，是整个动态聚焦振镜拼接激光刻蚀机的支撑与连接部件，控制系统、计算机系统和激光发生器都安装在机架上。
所述的控制系统包括电气系统及其操作控制软件。
所述的计算机系统包括计算机主机、显示器、键盘和鼠标，其中计算机主机的主板上安装有运动控制卡。计算机系统同控制系统一起控制动态聚焦振镜拼接激光刻蚀机工作，显示器的作用是用于显示操作控制软件的界面。
所述的直线运动平台为伺服电机或直线电机驱动的运动部件。
所述的激光发生器发出的激光波长为266nm、1064nm、532nm或355nm。
所述的二维振镜头内有两个高速伺服振动电机，每个高速伺服振动电机的轴上安装有激光反射镜片，两个高速伺服振动电机交叉安装。
所述的吸附平台的内部为空腔，上面表设置多个与空腔连通的小孔，吸附平台的侧面或下部开有与空腔相连通的通孔，其中，至少有一个通孔与真空装置或抽风装置连接；真空装置或抽风装置工作使工件吸附于吸附平台，使工件平展于吸附平台，保证刻蚀质量。
本实用新型的动态聚焦振镜拼接激光刻蚀机生产效率高，良品率高。
附图说明
图1是本实用新型实施例的结构示意图。
具体实施方式
图1标记的说明：吸附平台1，Y轴直线运动平台2，二维振镜头3，动态聚焦镜4，激光发生器的激光头5，计算机系统6，控制系统7，X轴直线运动平台8，CCD系统9，机架10。
参见图1，本实用新型的动态聚焦振镜拼接激光刻蚀机的实施例包括机架10、控制系统7、计算机系统6、激光发生器、吸附平台1、动态聚焦镜4、二维振镜头3和两个交叉的直线运动平台，两个交叉的直线运动平台由Y轴直线运动平台2和X轴直线运动平台8组成，控制系统7、计算机系统6和激光发生器都安装在机架10上，激光发生器的激光头5和二维振镜头3安装在吸附平台1上方，激光发生器的激光头5的激光出光孔与二维振镜头3的激光进光孔同心，Y轴直线运动平台2与X轴直线运动平台8运动方向相互垂直，激光发生器和二维振镜头3各有两件，两件激光发生器的激光头5和二维振镜头3组合后并排安装，动态聚焦镜4安装在激光发生器的激光头5和二维振镜头3组合之间。
因为本动态聚焦振镜拼接激光刻蚀机的实施例中包括动态聚焦镜4，动态聚焦镜4安装在激光发生器的激光头5和二维振镜头3组合之间，而动态聚焦可以将焦距拉长，通过动态聚焦的激光会增大扫描面积，也就是每次刻蚀加工的面积增大，使生产率得到了提高。在激光刻蚀加工中，拼接次数越多，越容易产生不合格品，本动态聚焦振镜拼接激光刻蚀机每次刻蚀加工的面积增大，同一面积大小的工件需要拼接的次数减少，所以良品率高。
实施例中，动态聚焦镜4是在普通聚焦镜上加了一个Z方向的运动，随着扫描位置的不同，动态聚焦镜4前后移动，从而保证扫描平面上的准确聚焦。动态聚焦镜4的运动是通过直线转换器来实现的，它将旋转运动转化为直线运动。
机架10为金属结构件或大理石构件，是整个动态聚焦振镜拼接激光刻蚀机的支撑与连接部件，控制系统7、计算机系统6和激光发生器都安装在机架10上。控制系统7包括电气系统及其操作控制软件。计算机系统6包括计算机主机、显示器、键盘和鼠标，其中计算机主机的主板上安装有运动控制卡。计算机系统6同控制系统7一起控制动态聚焦振镜拼接激光刻蚀机工作，显示器的作用是用于显示操作控制软件的界面。直线运动平台的Y轴直线运动平台2与X轴直线运动平台8为直线电机驱动的运动部件。二维振镜头3内有两个高速伺服振动电机，每个高速伺服振动电机的轴上安装有激光反射镜片，两个高速伺服振动电机交叉安装。吸附平台1的内部为空腔，上面表设置多个与空腔连通的小孔，吸附平台1的侧面或下部开有与空腔相连通的通孔，其中，至少有一个通孔与真空装置或抽风装置连接；真空装置或抽风装置工作使工件吸附于吸附平台1，使工件平展于吸附平台1，保证刻蚀质量。实施例中还设置有CCD系统9，用来抓取工件上的把标和定位。
生产过程中，工件放置在吸附平台1上，吸附平台1连接的真空装置或抽风装置工作，工件被吸附平展于吸附平台1上，激光发生器的激光头5射出的激光经过动态聚焦镜4和二维振镜头3后聚焦在工件上，实现在工件的刻蚀加工。
本实用新型的动态聚焦振镜拼接激光刻蚀机生产效率高，良品率高。它的推广运用，对提高激光刻蚀机的生产效率、提高产品质量和降低生产成本有着积极的意义。
Claims (1)
1.动态聚焦振镜拼接激光刻蚀机，包括机架、控制系统、计算机系统、激光发生器、吸附平台、二维振镜头和两个交叉的直线运动平台，控制系统、计算机系统和激光发生器都安装在机架上，激光发生器的激光头和二维振镜头安装在吸附平台上方，激光发生器的激光头的激光出光孔与二维振镜头的激光进光孔同心，两个交叉的直线运动平台运动方向相互垂直，激光发生器和二维振镜头各有两件或两件以上，多件激光发生器的激光头和二维振镜头组合后并排安装，其特征在于：还包括动态聚焦镜，动态聚焦镜安装在激光发生器的激光头和二维振镜头组合之间。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201620941048.7U CN206047359U (zh) | 2016-08-26 | 2016-08-26 | 动态聚焦振镜拼接激光刻蚀机 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201620941048.7U CN206047359U (zh) | 2016-08-26 | 2016-08-26 | 动态聚焦振镜拼接激光刻蚀机 |
Publications (1)
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| CN206047359U true CN206047359U (zh) | 2017-03-29 |
Family
ID=58381532
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201620941048.7U Active CN206047359U (zh) | 2016-08-26 | 2016-08-26 | 动态聚焦振镜拼接激光刻蚀机 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN206047359U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112264717A (zh) * | 2020-09-11 | 2021-01-26 | 广东工业大学 | 一种双运动平台的高速高精度加工方法 |
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2016
- 2016-08-26 CN CN201620941048.7U patent/CN206047359U/zh active Active
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112264717A (zh) * | 2020-09-11 | 2021-01-26 | 广东工业大学 | 一种双运动平台的高速高精度加工方法 |
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