CN206039322U - 光刻机的温度变频调节系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种光刻机的温度变频调节系统，包括水泵、风机、热交换器、过滤器、温度传感器和控制器，风机设于光刻机的热交换室的入口处，热交换器设于光刻机的热交换室内，热交换器的进水端通过伸出热交换室的管道连接至水泵，过滤器设于光刻机的光刻室的入口处，光刻室与热交换室相邻，光刻室的入口与热交换室的入口相对，温度传感器设于光刻室内，温度传感器连接至控制器。本实用新型的光刻机的温度变频调节系统可保证光刻机的光刻精度。
Description
技术领域
本实用新型属于光机电装备领域，尤其涉及一种光刻机的温度变频调节系统。
背景技术
平行光光刻机是采用平行光光刻法(又称光刻法)来实现印刷电路板(PCB)成像的设备，其光刻精度(工件台与底片对位精度)决定PCB产品的线宽和线距精度，因而决定电子产品的电路集成度和大小。
光刻机主要由精密工件台系统、光学系统、环控系统、机架系统、输送系统等组成。影响平行光光刻机精度的主要因素是精密工件台的传动机构和环境温度的干扰。由于光刻机的平行光系统采用大功率光源，在光刻过程中产生大量的热量，这将引起光刻室内空气温度升高，导致精密工件台结构热变形，严重影响光刻机的光刻精度。因此，对光刻机光刻室内空气的温度进行恒温精确控制具有重要的工程实际意义。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种光刻机的温度变频调节系统，可保证光刻机的光刻精度。
为实现上述目的，本实用新型提供一种光刻机的温度变频调节系统，包括水泵、风机、热交换器、过滤器、温度传感器和控制器，风机设于光刻机的热交换室的入口处，热交换器设于光刻机的热交换室内，热交换器的进水端通过伸出热交换室的管道连接至水泵，过滤器设于光刻机的光刻室的入口处，光刻室与热交换室相邻，光刻室的入口与热交换室的入口相对，温度传感器设于光刻室内，温度传感器连接至控制器。
作为本实用新型的进一步改进，还包括水泵变频器，水泵与水泵变频器连接，水泵变频器和控制器连接。
作为本实用新型的进一步改进，还包括风机变频器，风机与风机变频器连接，风机变频器和控制器连接。
作为本实用新型的进一步改进，所述热交换器由多个V字形结构并列并依次连接而成。
与现有技术相比，本实用新型的光刻机的温度变频调节系统的有益效果如下：
1)采用变频调速方式分别调节水泵的输水量和风机的送风量，便于实现光刻室温度的恒温控制。
2)采用温度传感器检测光刻室内空气温度，构成温度闭环控制系统，可提高在水源温度、空气温度变化等干扰下的恒温控制精度。
3)采用数字控制器通过软件编程实现温度控制策略，可提高热滞后系统的恒温控制精度。
4)采用水泵输送冷水、风机抽取空气的技术方案，工程上易于实现。
5)采用过滤器滤除空气中杂质，可确保光刻室内空气的清洁度。
通过以下的描述并结合附图，本实用新型将变得更加清晰，这些附图用于解释本实用新型的实施例。
附图说明
图1为本实用新型的光刻机的温度变频调节系统的示意图。
具体实施方式
现在参考附图描述本实用新型的实施例，附图中类似的元件标号代表类似的元件。
请参考图1，所述的光刻机的温度变频调节系统包括水泵1、水泵变频器2、风机3、风机变频器4、热交换器5、过滤器6、温度传感器7和控制器8，水泵1与水泵变频器2连接，风机3与风机变频器4连接，风机3设于光刻机的热交换室a的入口处，热交换器5设于光刻机的热交换室a内，热交换器5的进水端通过伸出热交换室a的管道连接至水泵1，过滤器6设于光刻机的光刻室b的入口处，光刻室b与热交换室a相邻，光刻室b的入口与热交换室a的入口相对，温度传感器7设于光刻室b内，水泵变频器2、风机变频器4和温度传感器7均连接至控制器8。
其中，上述的水泵1是将恒压水源的冷水传送给热交换器5的输水装置。上述的风机3是将空气抽入光刻室b内的通风装置。上述的变频器是通过改变电机工作电源频率来控制电机转速的装置。上述的热交换器5是使冷水与空气进行热交换的装置。上述的温度传感器7是检测光刻室b内空气温度的装置。上述的控制器8是实现温度控制运算并输出控制电压信号的装置。
水泵1将恒压水源的冷水送入交换室内的热交换器5后从出水口流出。空气经风机2抽入热交换室a，与热交换器5内冷水进行热交换后，经过滤器6进入光刻室。光刻室b内空气温度由温度传感器7检测后送入控制器8。控制器8经过控制运算后，分别输出控制电压信号给水泵变频器2和风机变频器4，调节电机的工作电源频率，进而控制水泵和风机的输水量和送风量。
当光刻室内空气温度高于温度设定值时，控制器8输出的控制电压信号增大，水泵变频器2和风机变频器4输出的电机工作电源频率增大，水泵1和风机3的输水量和送风量增大，热交换器5内外的冷水流量和空气流量增大，水与空气的热交换速率增高，使光刻室b内空气温度下降，直至恢复到设定的温度。当光刻室b内空气温度低于温度设定值时，控制器8输出的控制电压信号减小，水泵变频器2和风机变频器4输出的电机工作电源频率减小，热交换器5内外的冷水流量和空气流量减小，与空气的热交换速率降低，使光刻室b内空气温度增高，直至恢复到设定的温度。
以上结合最佳实施例对本实用新型进行了描述，但本实用新型并不局限于以上揭示的实施例，而应当涵盖各种根据本实用新型的本质进行的修改、等效组合。
Claims (4)
1.一种光刻机的温度变频调节系统，其特征在于，包括：水泵、风机、热交换器、过滤器、温度传感器和控制器，风机设于光刻机的热交换室的入口处，热交换器设于光刻机的热交换室内，热交换器的进水端通过伸出热交换室的管道连接至水泵，过滤器设于光刻机的光刻室的入口处，光刻室与热交换室相邻，光刻室的入口与热交换室的入口相对，温度传感器设于光刻室内，温度传感器连接至控制器。
2.如权利要求1所述的光刻机的温度变频调节系统，其特征在于：还包括水泵变频器，水泵与水泵变频器连接，水泵变频器和控制器连接。
3.如权利要求1所述的光刻机的温度变频调节系统，其特征在于：还包括风机变频器，风机与风机变频器连接，风机变频器和控制器连接。
4.如权利要求1所述的光刻机的温度变频调节系统，其特征在于：所述热交换器由多个V字形结构并列并依次连接而成。
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| CN106292774A (zh) * | 2016-08-25 | 2017-01-04 | 志圣科技（广州）有限公司 | 光刻机的温度变频调节系统及调节方法 |
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