CN202120036U - 具有温度调节功能的曝光机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种具有温度调节功能的曝光机，包括曝光机壳体，在曝光机壳体内设有曝光室，还包括有热交换室、换热器、温度传感器、控制电路、控制阀及风机，温度传感器位于曝光室内，且温度传感器及控制阀均与控制电路电气连接，曝光室与热交换室通过换气口相通而形成换热通道，风机设于换热风道内，换热器置于热交换室内，换热器的两端为换热工质进口及换热工质出口，换热工质进口与换热工质出口之间形成换热工质通路，控制阀设于换热工质通路上。本实用新型可以有效的对曝光机的温度进行调节，提高了曝光机的曝光精度。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种具有温度调节功能的曝光机。
背景技术
曝光机是采用平行光曝光法来实现印刷电路板成像的设备，其曝光精度决定印刷电路板的线宽和线距精度，进而决定了电子产品的电路集成度和大小。
曝光机主要由精密工件台系统、光学系统、环控系统、机架系统、输送系统等组成。影响光曝光机精度的主要因素是精密工件台的传动机构和环境温度的干扰，由于曝光机的平行光系统采用大功率光源，在曝光过程中产生大量的热量，这将使曝光室内空气温度升高，导致精密工件台结构热变形，严重影响曝光机的曝光精度。
发明内容
本实用新型的目的在于克服现有技术的缺陷，提供一种曝光机，本实用新型可以有效的对曝光机的温度进行调节，提高了曝光机的曝光精度。
其技术方案如下。
一种具有温度调节功能的曝光机，包括曝光机壳体，在曝光机壳体内设有曝光室，还包括有热交换室、换热器、温度传感器、控制电路、控制阀及风机，温度传感器位于曝光室内，且温度传感器及控制阀均与控制电路电气连接，曝光室与热交换室通过换气口相通而形成换热通道，风机设于换热风道内，换热器置于热交换室内，换热器的两端为换热工质进口及换热工质出口，换热工质进口与换热工质出口之间形成换热工质通路，控制阀设于换热工质通路上。
下面对本实用新型进一步技术方案进行说明。
所述换热器为盘管式换热器。
所述控制电路包括依次连接的控制器及放大器。
在所述换气口处设有过滤器。
在所述换气室的下部设有排水口。
所述控制阀为电液比例节流阀。
下面对本实用新型的优点或原理进行说明：
在工作过程中，温度传感器对曝光室内的温度进行感测，并将该温度信号传输至控制器，控制器将控制信号信号放大并用于控制电液比例节流阀的流量，进而控制通过换热器内的换热工质的流量，如果曝光室内温升较大，则通过换热器内的换热工质流量较大，换热效率高，如果曝光室内温升较小，则通过换热器内的换热工质流量较小，换热效率低；以此对曝光室内的温度进行动态调节，提高了曝光机的曝光精度。
附图说明
图1是本实用新型实施例所述具有温度调节功能的曝光机的结构图；
附图标记说明：
1、曝光室，2、热交换室，3、换热器，4、温度传感器，5、控制阀，6、风机，7、换热工质进口，8、换热工质出口，9、控制器，10、放大器，11、排水口，12、过滤器。
具体实施方式
下面对本实用新型的实施例进行详细说明。
如图1所示，一种具有温度调节功能的曝光机，包括曝光机壳体，在曝光机壳体内设有曝光室1，还包括有热交换室2、换热器3、温度传感器4、控制电路、控制阀5及风机6，温度传感器4位于曝光室1内，且温度传感器4及控制阀5均与控制电路电气连接，曝光室1与热交换室2通过换气口相通而形成换热通道，风机6设于换热风道内，换热器3置于热交换室2内，换热器3的两端为换热工质进口7及换热工质出口8，换热工质进口7与换热工质出口8之间形成换热工质通路，控制阀5设于换热工质通路上。
其中，所述换热器3为盘管式换热器，所述控制电路包括依次连接的控制器9及放大器10。
在换气口处设有过滤器12，所述控制阀5为电液比例节流阀。在换气室的下部设有排水口11。
本实施例的工作原理是：
在工作过程中，温度传感器4对曝光室1内的温度进行感测，并将该温度信号传输至控制器9，控制器9将控制信号信号放大并用于控制电液比例节流阀的流量，进而控制通过换热器3内的换热工质的流量，如果曝光室1内温升较大，则通过换热器3内的换热工质流量较大，换热效率高，如果曝光室1内温升较小，则通过换热器3内的换热工质流量较小，换热效率低；以此对曝光室1内的温度进行动态调节，提高了曝光机的曝光精度。
以上仅为本实用新型的具体实施例，并不以此限定本实用新型的保护范围；在不违反本实用新型构思的基础上所作的任何替换与改进，均属本实用新型的保护范围。
Claims (6)
1.一种具有温度调节功能的曝光机，包括曝光机壳体，在曝光机壳体内设有曝光室，其特征在于，还包括有热交换室、换热器、温度传感器、控制电路、控制阀及风机，温度传感器位于曝光室内，且温度传感器及控制阀均与控制电路电气连接，曝光室与热交换室通过换气口相通而形成换热通道，风机设于换热风道内，换热器置于热交换室内，换热器的两端为换热工质进口及换热工质出口，换热工质进口与换热工质出口之间形成换热工质通路，控制阀设于换热工质通路上。
2.如权利要求1所述具有温度调节功能的曝光机，其特征在于，所述换热器为盘管式换热器。
3.如权利要求1所述具有温度调节功能的曝光机，其特征在于，所述控制电路包括依次连接的控制器及放大器。
4.如权利要求1至3中任一项所述具有温度调节功能的曝光机，其特征在于，在所述换气口处设有过滤器。
5.如权利要求1至3中任一项所述具有温度调节功能的曝光机，其特征在于，在所述换气室的下部设有排水口。
6.如权利要求1至3中任一项所述具有温度调节功能的曝光机，其特征在于，所述控制阀为电液比例节流阀。
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN104375391A (zh) * | 2014-12-10 | 2015-02-25 | 志圣科技（广州）有限公司 | 一种光刻机的控制方法及装置 |
| CN106292774A (zh) * | 2016-08-25 | 2017-01-04 | 志圣科技（广州）有限公司 | 光刻机的温度变频调节系统及调节方法 |
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