CN205945538U - 一种电子回旋阳极高压电源功率模块 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种电子回旋阳极高压电源功率模块，包括壳体，所述壳体一侧设有市电接口，所述市电接口一侧设有隔离变压器，所述隔离变压器电性连接高压直流电源，所述高压直流电源一侧电性连接脉冲开关，所述脉冲开关电性连接中央处理器，所述中央处理器一侧设有调制器，所述调制器一端电性连接所述高压直流电源，所述调制器另一端电性连接高压输出端，且所述调制器一侧设有高压调制器，所述高压调制器与所述调制器电性连接，且所述高压调制器的一侧电性连接所述高压输出端，本实用新型利用所述隔离变压器与所述高压调制器稳定控制电源模块的输入电压，保证电源模块为电子回旋设备提供高压稳定的直流电信号。

Description

一种电子回旋阳极高压电源功率模块

技术领域

本实用新型涉及一种等离子体加热技术领域，特别涉及一种电子回旋阳极高压电源功率模块。

背景技术

在等离子体技术发展中，直流电在射频等离子体应用工艺中发挥了十分重要的作用，直流带等离子体为有极放点，运行气压高且密度低，电离率和粒子活性低，虽然射频放电提高了等离子体密度,也可以实现无极放电,但运行气压较高,密度、电离率、粒子活性仍然较低，因此对等离子体的放点电压要求较高，传统的市电为交流电供用户使用，相关技术中的等离子体防电电源为直流电，在交流电与直流电的转换过程中存在转换效率低，且输出端电压较低的问题，为了满足科研技术和生产中的高压等离子加热放电技术的需求，研制一种电子回旋阳极高压电源功率模块成了该领域急需解决的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种电子回旋阳极高压电源功率模块。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的，一种电子回旋阳极高压电源功率模块，包括壳体，所述壳体一侧设有市电接口，所述市电接口一侧设有隔离变压器，所述隔离变压器电性连接高压直流电源，所述高压直流电源一侧电性连接脉冲开关，所述脉冲开关电性连接中央处理器，所述中央处理器一侧设有调制器，所述调制器一端电性连接所述高压直流电源，所述调制器另一端电性连接高压输出端，且所述调制器一侧设有高压调制器，所述高压调制器与所述调制器电性连接，且所述高压调制器的一侧电性连接所述高压输出端。

优选地，所述高压调制器中设有四极管。

优选地，所述调制器与所述高压调制器并联。

优选地，所述高压输出端一侧设有输出接口，所述输出接口与所述高压输出端之间设有测量保护装置。

本实用新型的有益效果是：本实用新型通过在所述市电接口与所述高压输出端之间设置所述隔离变压器与所述调制器，不仅能够将交流市电转化为高压直流电，还能调节所述高压输出端电压的稳定性，防止电压波动造成等离子体的不稳定性，不仅影响等离子体正常的运动轨迹，还会对供电设备造成严重损坏，本实用新型不仅能够为回旋共振设备提供较高的直流电压，还能保护回旋共振设备不受损坏，延长使用寿命。

附图说明

图1为一种电子回旋阳极高压电源功率模块的结构示意图。

图中：1、壳体；2、市电接口；3、隔离变压器；4、高压直流电源；5、脉冲开关；6、中央处理器；7、调制器；8、高压调制器；9、高压输出端；10、输出接口；11、测量保护装置。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1，本实用新型公开了一种电子回旋阳极高压电源功率模块，包括壳体1，所述壳体1一侧设有市电接口2，所述市电接口2一侧设有隔离变压器3，所述隔离变压器3电性连接高压直流电源4，所述高压直流电源4一侧电性连接脉冲开关5，所述脉冲开关5电性连接中央处理器6，所述中央处理器6一侧设有调制器7，所述调制器7一端电性连接所述高压直流电源4，所述调制器7另一端电性连接高压输出端9，且所述调制器7一侧设有高压调制器8，所述高压调制器8与所述调制器7电性连接，且所述高压调制器8的一侧电性连接所述高压输出端9。

所述高压调制器8中设有四极管，使用所述四极管控制电路中的高压点位，能够保证电路中高压直流电的稳定性，所述调制器7与所述高压调制器8并联，由于电路输出的直流电电压较高，单独使用所述调制器7难以保证电压的高效率稳定的输出，在所述调制器7上并联所述高压调制器8，不仅能够保证电路在使用过程中稳定连通，还能与所述调制器7协调使用，提高电路的转化效率与功率，所述高压输出端9一侧设有输出接口10，所述输出接口10与所述高压输出端9之间设有测量保护装置11，将所述高压输出端9与所述输出接口10电性连接，便于电源输出时与用电设备连接，简化了电源与用电设备的连接方式，节省时间，且在所述高压输出端9与所述输出接口10之间设置所述测量保护装置11，能够保证电源与用电设备正常工作，防止设备受损。

本实用新型在使用时，市电交流电通过所述市电接口2连接电源模块，利用所述隔离变压器3防止所述市电接口2引入的市电电压波动对电源模块造成影响，市电经过所述隔离变压器3进入所述高压直流电源4，所述高压直流电源4连接所述脉冲开关5与所述中央控制器，所述中央控制器通过所述脉冲开关5控制所述高压直流电源4，电流从所述高压直流电源4进入调制器7，在所述高压调制器8的协调作用下产生高压直流电，高压直流电通过所述高压输出端9进入所述测量保护装置11，进而经过所述输出接口10连接用电设备。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型，因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内，不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (4)

1.一种电子回旋阳极高压电源功率模块，包括壳体(1)，其特征在于：所述壳体(1)一侧设有市电接口(2)，所述市电接口(2)一侧设有隔离变压器(3)，所述隔离变压器(3)电性连接高压直流电源(4)，所述高压直流电源(4)一侧电性连接脉冲开关(5)，所述脉冲开关(5)电性连接中央处理器(6)，所述中央处理器(6)一侧设有调制器(7)，所述调制器(7)一端电性连接所述高压直流电源(4)，所述调制器(7)另一端电性连接高压输出端(9)，且所述调制器(7)一侧设有高压调制器(8)，所述高压调制器(8)与所述调制器(7)电性连接，且所述高压调制器(8)的一侧电性连接所述高压输出端(9)。

2.根据权利要求1所述的一种电子回旋阳极高压电源功率模块，其特征在于：所述高压调制器(8)中设有四极管。

3.根据权利要求1所述的一种电子回旋阳极高压电源功率模块，其特征在于：所述调制器(7)与所述高压调制器(8)并联。

4.根据权利要求1所述的一种电子回旋阳极高压电源功率模块，其特征在于：所述高压输出端(9)一侧设有输出接口(10)，所述输出接口(10)与所述高压输出端(9)之间设有测量保护装置(11)。