CN205941801U - 一种apd自动测试设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种APD自动测试设备，包括电控箱和防护箱底板，所述电控箱的一侧底部边缘与防护箱底板为一体式结构，所述防护箱底板上配套安装有防护箱盖，所述防护箱盖通过扣接的方式分别连接于电控箱和防护箱底板上，所述防护箱底板上安装有测试载具，所述测试载具上连接有接触探针，所述接触探针连接有X轴探针机械手、Y轴探针机械手和Z轴探针机械手，所述X轴探针机械手、Y轴探针机械手和Z轴探针机械手构成空间立体坐标系，将APD放置于测试载具上，通过构成立体坐标系的三个机械手的运动带动接触探针对每一个APD进行通电测试，通过电控箱提供测试需要的条件，解决了传统测试的弊端，从而提高暗电流响应度的测量精度。

Description

一种APD自动测试设备

技术领域

本实用新型涉二极管测试技术领域，具体为一种APD自动测试设备。

背景技术

雪崩光电二极管(APD)是一种p-n结型的光检测二极管，其中利用了载流子的雪崩倍增效应来放大光电信号以提高检测的灵敏度，其基本结构常常采用容易产生雪崩倍增效应的Read二极管结构(即N+PIP+型结构，P+一面接收光)，工作时加较大的反向偏压，使得其达到雪崩倍增状态；它的光吸收区与倍增区基本一致(是存在有高电场的P区和I区)。

传统测试雪崩光电二极管的反向击穿电压的方法是，在雪崩光电二极管负极端逐渐增大测试电压，直到雪崩光电二极管被击穿，然后测出此时的电压，即为反向击穿电压，这种测试方式的测试效率较低，测试雪崩光电二极管光电流和暗电流时，采用镜像电流测试方式，这种方式，具有镜像比例失调的影响，使得测量暗电流响应度的精度不高。

实用新型内容

针对以上问题，本实用新型提供了一种APD自动测试设备，将APD放置于测试载具上，通过构成立体坐标系的三个机械手的运动带动接触探针对每一个APD进行通电测试，通过电控箱提供测试需要的条件，解决了传统测试的弊端，从而提高暗电流响应度的测量精度，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种APD自动测试设备，包括电控箱和防护箱底板，所述电控箱的一侧底部边缘与防护箱底板为一体式结构，所述防护箱底板上配套安装有防护箱盖，所述防护箱盖通过扣接的方式分别连接于电控箱和防护箱底板上，所述防护箱底板上安装有测试载具，所述测试载具上连接有接触探针，所述接触探针连接有X轴探针机械手、Y轴探针机械手和Z轴探针机械手，所述X轴探针机械手、Y轴探针机械手和Z轴探针机械手构成空间立体坐标系。

作为本实用新型一种优选的技术方案，所述防护箱底板的四个角设有支撑脚。

作为本实用新型一种优选的技术方案，所述支撑脚由支撑杆和支撑圆盘组成，且支撑杆的一端通过螺栓固定于防护箱底板上，另一端固定于支撑圆盘上。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：将APD放置于测试载具上，通过构成立体坐标系的三个机械手的运动带动接触探针对每一个APD进行通电测试，通过电控箱提供测试需要的条件，解决了传统测试的弊端，从而提高暗电流响应度的测量精度。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型立体结构示意图；

图3为本实用新型图2中A部分的放大示意图。

图中：1-电控箱；2-防护箱底板；3-防护箱盖；4-测试载具；5-接触探针；6-X轴探针机械手；7-Y轴探针机械手；8-Z轴探针机械手；9-支撑脚；10-支撑杆；11-支撑圆盘。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例：

请参阅图1至图3，本实用新型提供一种技术方案：一种APD自动测试设备，包括电控箱1和防护箱底板2，所述电控箱1的一侧底部边缘与防护箱底板2为一体式结构，所述防护箱底板2上配套安装有防护箱盖3，所述防护箱盖3通过扣接的方式分别连接于电控箱1和防护箱底板2上，所述防护箱底板2上安装有测试载具4，所述测试载具4上连接有接触探针5，所述接触探针5连接有X轴探针机械手6、Y轴探针机械手7和Z轴探针机械手8，所述X轴探针机械手6、Y轴探针机械手7和Z轴探针机械手8构成空间立体坐标系。

所述防护箱底板2的四个角设有支撑脚9；所述支撑脚9由支撑杆10和支撑圆盘11组成，且支撑杆10的一端通过螺栓固定于防护箱底板2上，另一端固定于支撑圆盘11上。

将APD放置于测试载具上，通过构成立体坐标系的三个机械手的运动带动接触探针对每一个APD进行通电测试，通过电控箱提供测试需要的条件，解决了传统测试的弊端，从而提高暗电流响应度的测量精度。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (3)

1.一种APD自动测试设备，其特征在于，包括电控箱(1)和防护箱底板(2)，所述电控箱(1)的一侧底部边缘与防护箱底板(2)为一体式结构，所述防护箱底板(2)上配套安装有防护箱盖(3)，所述防护箱盖(3)通过扣接的方式分别连接于电控箱(1)和防护箱底板(2)上，所述防护箱底板(2)上安装有测试载具(4)，所述测试载具(4)上连接有接触探针(5)，所述接触探针(5)连接有X轴探针机械手(6)、Y轴探针机械手(7)和Z轴探针机械手(8)，所述X轴探针机械手(6)、Y轴探针机械手(7)和Z轴探针机械手(8)构成空间立体坐标系。

2.根据权利要求1所述的一种APD自动测试设备，其特征在于：所述防护箱底板(2)的四个角设有支撑脚(9)。

3.根据权利要求2所述的一种APD自动测试设备，其特征在于：所述支撑脚(9)由支撑杆(10)和支撑圆盘(11)组成，且支撑杆(10)的一端通过螺栓固定于防护箱底板(2)上，另一端固定于支撑圆盘(11)上。