CN205803580U - 一种紧凑型蒸发炉 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种紧凑型蒸发炉，包括铜蒸发炉和硒蒸发炉，其特征在于：所述硒蒸发炉包括硒炉坩埚、加热丝和水套，所述铜蒸发炉包括铜炉坩埚，所述铜炉坩埚外侧设置有5至10层热屏蔽层，所述热屏蔽层均位于铜炉坩埚外侧，且从内往外依次设置，所述的热屏蔽层依次间隔设置，所述加热丝固定在硒炉坩埚内壁上，所述加热丝为螺旋状且沿硒炉坩埚内壁盘旋设置。本实用新型结构简单，设计合理，能实现蒸发炉小型化。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种紧凑型蒸发炉，用于解决铜炉对硒炉的影响。
背景技术
铜铟镓硒太阳能电池制备过程中需要用到热蒸发，铜、铟、镓、硒四种单质在不同温度下分阶段蒸发，而铜的蒸发温度相对于硒的蒸发温度很高，现有的紧凑型的蒸发炉，因硒炉的坩埚距离铜炉很近，容易受到较大影响，因而硒蒸发速率难以控制，而且硒炉的喷管的温度在600度左右，部分热点通过热传导的方式会干扰到坩埚。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服现有技术中存在的上述不足，而提供一种结构设计合理，能实现蒸发炉小型化的紧凑型蒸发炉。
本实用新型解决上述问题所采用的技术方案是：该紧凑型蒸发炉，包括铜蒸发炉和硒蒸发炉，其特征在于：所述硒蒸发炉包括硒炉坩埚、加热丝和水套，所述铜蒸发炉包括铜炉坩埚，所述铜炉坩埚外侧设置有5至10层热屏蔽层，所述热屏蔽层均位于铜炉坩埚外侧，且从内往外依次设置，所述的热屏蔽层依次间隔设置，所述加热丝固定在硒炉坩埚内壁上，所述加热丝为螺旋状且沿硒炉坩埚内壁盘旋设置。铜炉坩埚设置有多层热屏蔽层，可降低铜蒸发炉工作时对硒蒸发炉的影响，可进一步减小铜蒸发炉和硒蒸发炉的距离，使得蒸发炉整体结构更加紧凑，加热丝用于加热硒炉坩埚，水套的设置，起到冷却的作用，既可防止铜蒸发炉的热量传递到硒蒸发炉，又可加速自身硒炉坩埚的冷却。
本实用新型还包括冷却水管，所述冷却水管固定在硒炉坩埚的外壁上，且冷却水管沿硒炉坩埚的上下方向依次来回设置，从而分布于硒炉坩埚的圆周方向上。水冷却管在硒炉坩埚过热时，加速其冷却，冷却水管的上述设置方式，使其与硒炉坩埚的接触面积更大，冷却效果更好。
本实用新型还包括环状的卡箍，所述卡箍套设在硒炉坩埚外侧并将冷却水管夹紧在硒炉坩埚上。卡箍可确保水冷却管与硒炉坩埚的接触，防止两者脱离而影响冷却性能。
本实用新型所述冷却水管外侧设置有隔热屏。隔热屏的设置，防止外部热量进入，特别是铜蒸发器的热量的进入，而影响硒炉坩埚。
本实用新型所述隔热屏为不锈钢材质。不易生锈，性能稳定。
本实用新型所述热屏蔽层设置为7层。
本实用新型与现有技术相比，具有以下优点和效果：结构简单，设计合理，铜炉坩埚设置有多层热屏蔽层，可降低铜蒸发炉工作时对硒蒸发炉的影响，可进一步减小铜蒸发炉和硒蒸发炉的距离，使得蒸发炉整体结构更加紧凑，加热丝用于加热硒炉坩埚，水套的设置，起到冷却的作用，既可防止铜蒸发炉的热量传递到硒蒸发炉，又可加速自身硒炉坩埚的冷却。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本实用新型实施例中的紧凑型蒸发炉的结构示意图。
图2是加热丝、冷却水管和卡箍的配合示意图。
具体实施方式
下面结合附图并通过实施例对本实用新型作进一步的详细说明，以下实施例是对本实用新型的解释而本实用新型并不局限于以下实施例。
实施例1。
参见图1至图2，本实施例的紧凑型蒸发炉包括铜蒸发炉1和硒蒸发炉2。
本实施例中的硒蒸发炉2包括硒炉坩埚21、加热丝22和水套23，所述铜蒸发炉1包括铜炉坩埚11，所述铜炉坩埚11外侧设置有5至10层热屏蔽层12，所述热屏蔽层12均位于铜炉坩埚11外侧，且从内往外依次设置，所述的热屏蔽层12依次间隔设置，所述加热丝22固定在硒炉坩埚21内壁上，所述加热丝22为螺旋状且沿硒炉坩埚21内壁盘旋设置。铜炉坩埚11设置有多层热屏蔽层12，可降低铜蒸发炉1工作时对硒蒸发炉2的影响，可进一步减小铜蒸发炉1和硒蒸发炉2的距离，使得蒸发炉整体结构更加紧凑，加热丝22用于 加热硒炉坩埚21，水套23的设置，起到冷却的作用，既可防止铜蒸发炉1的热量传递到硒蒸发炉2，又可加速自身硒炉坩埚21的冷却。
本实施例还包括冷却水管24，所述冷却水管24固定在硒炉坩埚21的外壁上，且冷却水管24沿硒炉坩埚21的上下方向依次来回设置，从而分布于硒炉坩埚21的圆周方向上。水冷却管在硒炉坩埚21过热时，加速其冷却，冷却水管24的上述设置方式，使其与硒炉坩埚21的接触面积更大，冷却效果更好。
本实施例还包括环状的卡箍25，所述卡箍25套设在硒炉坩埚21外侧并将冷却水管24夹紧在硒炉坩埚21上。卡箍25可确保水冷却管与硒炉坩埚21的接触，防止两者脱离而影响冷却性能。
本实施例中的冷却水管24外侧设置有隔热屏26。隔热屏26的设置，防止外部热量进入，特别是铜蒸发器的热量的进入，而影响硒炉坩埚21。
本实施例中的隔热屏26为不锈钢材质。不易生锈，性能稳定。
优选的，本实施例中的热屏蔽层12设置为7层。
本说明书中所描述的以上内容仅仅是对本实用新型所作的举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，只要不偏离本实用新型说明书的内容或者超越本权利要求书所定义的范围，均应属于本实用新型的保护范围。
Claims (6)
1.一种紧凑型蒸发炉，包括铜蒸发炉和硒蒸发炉，其特征在于：所述硒蒸发炉包括硒炉坩埚、加热丝和水套，所述铜蒸发炉包括铜炉坩埚，所述铜炉坩埚外侧设置有5至10层热屏蔽层，所述热屏蔽层均位于铜炉坩埚外侧，且从内往外依次设置，所述的热屏蔽层依次间隔设置，所述加热丝固定在硒炉坩埚内壁上，所述加热丝为螺旋状且沿硒炉坩埚内壁盘旋设置。
2.根据权利要求1所述的紧凑型蒸发炉，其特征在于：还包括冷却水管，所述冷却水管固定在硒炉坩埚的外壁上，且冷却水管沿硒炉坩埚的上下方向依次来回设置，从而分布于硒炉坩埚的圆周方向上。
3.根据权利要求2所述的紧凑型蒸发炉，其特征在于：还包括环状的卡箍，所述卡箍套设在硒炉坩埚外侧并将冷却水管夹紧在硒炉坩埚上。
4.根据权利要求2所述的紧凑型蒸发炉，其特征在于：所述冷却水管外侧设置有隔热屏。
5.根据权利要求4所述的紧凑型蒸发炉，其特征在于：所述隔热屏为不锈钢材质。
6.根据权利要求1所述的紧凑型蒸发炉，其特征在于：所述热屏蔽层设置为7层。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201620692179.6U CN205803580U (zh) | 2016-06-28 | 2016-06-28 | 一种紧凑型蒸发炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201620692179.6U CN205803580U (zh) | 2016-06-28 | 2016-06-28 | 一种紧凑型蒸发炉 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN205803580U true CN205803580U (zh) | 2016-12-14 |
Family
ID=58139674
Family Applications (1)
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| CN201620692179.6U Active CN205803580U (zh) | 2016-06-28 | 2016-06-28 | 一种紧凑型蒸发炉 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN205803580U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106637091A (zh) * | 2017-02-24 | 2017-05-10 | 旭科新能源股份有限公司 | 用于薄膜太阳能电池制造的高温蒸发炉 |
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2016
- 2016-06-28 CN CN201620692179.6U patent/CN205803580U/zh active Active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106637091A (zh) * | 2017-02-24 | 2017-05-10 | 旭科新能源股份有限公司 | 用于薄膜太阳能电池制造的高温蒸发炉 |
| CN106637091B (zh) * | 2017-02-24 | 2019-08-30 | 旭科新能源股份有限公司 | 用于薄膜太阳能电池制造的高温蒸发炉 |
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