CN205635761U - 真空蒸镀晶板镀膜装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及致冷件生产技术领域的设备，名称是真空蒸镀晶板镀膜装置，真空蒸镀晶板镀膜装置，其特征是:包括柜体，在柜体上具有传送装置,柜体具有密闭结构和抽真空装置，在传送装置上面安装真空蒸镀装置，所述的传送装置上具有晶板的放置盘，柜体内还设置有除尘装置和静电释放装置,这样的真空蒸镀致晶板镀膜装置可以生产出节省耗材、减少浪费、环保性好、镀膜和晶板结合力量好的致冷件晶板镀膜。
Description
技术领域
本发明涉及致冷件生产技术领域的设备，具体地说是真空蒸镀晶板镀膜装置。
背景技术
致冷件包括晶粒和瓷板，所述的晶粒主要成分是三碲化二铋，晶粒是由晶板切割而成的，将晶粒焊接在瓷板上之前需要在晶粒的表面形成一层镀膜——镍、钯或银层，以便晶粒和瓷板很好地结合。
现有技术中，使用的是热喷涂装置将镀膜材料结合在晶板上的，这样的装置具有镀膜材料（镍、钯或银）浪费严重、环保性能差、镍和晶板结合力量差的缺点。
采用热喷涂的装置和方法将镀膜材料（镍、钯或银）热熔化并喷涂到晶板上，也具有镀膜材料浪费严重、环保性能差、镀膜和晶板结合力量差的缺点。
发明内容
本发明的目的就是针对上述缺点，提供一种节省耗材、减少浪费、环保性好、镀膜和晶板结合力量好的真空蒸镀晶板镀膜装置。
本发明真空蒸镀致冷件晶板镀膜装置这样实现的：真空蒸镀晶板镀膜装置，其特征是:包括柜体，在柜体上具有传送装置,柜体具有密闭结构和抽真空装置，在传送装置上面安装真空蒸镀装置，所述的传送装置上具有晶板的放置盘。
进一步地讲，柜体内还设置有除尘装置和静电释放装置。
本发明的有益效果是：这样的真空蒸镀晶板镀膜装置可以生产出节省耗材、减少浪费、环保性好、镀膜和晶板结合力量好的致冷件晶板镀膜，还具有保护晶板的优点。
附图说明
图1是本发明真空蒸镀晶板镀膜装置的结构示意图。
其中：1、柜体 2、传送装置 3、抽真空装置 4、真空蒸镀装置 5、放置盘 6、除尘装置 7、静电释放装置。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步的说明。
如图1所示，真空蒸镀晶板镀膜装置，其特征是:包括柜体1，在柜体上具有传送装置2,柜体具有密闭结构和抽真空装置3，在传送装置上面安装真空蒸镀装置4，所述的传送装置上具有晶板的放置盘5。
这样晶板就可以放置在放置盘上进行真空蒸镀，形成镀层，与热喷涂装置相比，产生的镀膜具有节省耗材、减少浪费、环保性好、镀膜和晶板结合力量好的优点。
进一步地讲，柜体内还设置有除尘装置6和静电释放装置7。
这样在真空蒸镀之前，可以对晶板进行除尘和对柜体内释放静电，保证镀层效果更好。
以上所述仅为本发明的具体实施例，但本发明的结构特征并不限于此，任何本领域的技术人员在本发明的领域内，所作的变化或修饰皆涵盖在本发明的专利范围内。
Claims (2)
1.真空蒸镀晶板镀膜装置，其特征是:包括柜体，在柜体上具有传送装置,柜体具有密闭结构和抽真空装置，在传送装置上面安装真空蒸镀装置，所述的传送装置上具有晶板的放置盘。
2.根据权利要求1所述的真空蒸镀晶板镀膜装置，其特征是：柜体内还设置有除尘装置和静电释放装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201620404541.5U CN205635761U (zh) | 2016-05-08 | 2016-05-08 | 真空蒸镀晶板镀膜装置 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201620404541.5U CN205635761U (zh) | 2016-05-08 | 2016-05-08 | 真空蒸镀晶板镀膜装置 |
Publications (1)
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| CN205635761U true CN205635761U (zh) | 2016-10-12 |
Family
ID=57050559
Family Applications (1)
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| CN201620404541.5U Active CN205635761U (zh) | 2016-05-08 | 2016-05-08 | 真空蒸镀晶板镀膜装置 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN205635761U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105734497A (zh) * | 2016-05-08 | 2016-07-06 | 河南鸿昌电子有限公司 | 真空蒸镀晶板镀膜装置和真空蒸镀晶板镀膜方法 |
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2016
- 2016-05-08 CN CN201620404541.5U patent/CN205635761U/zh active Active
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| CN105734497A (zh) * | 2016-05-08 | 2016-07-06 | 河南鸿昌电子有限公司 | 真空蒸镀晶板镀膜装置和真空蒸镀晶板镀膜方法 |
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