CN205631042U - 一种蓝宝石晶棒钻取装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种蓝宝石晶棒钻取装置，包括控制台和单晶炉，控制台的一侧设置有固定悬挂杆和传动轴，固定悬挂杆的底部设置有移动导轨，移动导轨上设置有滑块，滑块上设置有液压伸缩柱，液压伸缩柱的顶部设置有电磁开关，液压伸缩柱的底端设置有悬挂钩，悬挂钩上设置有籽晶杆，籽晶杆上设置有氧化锆保温盖，籽晶杆贯穿于单晶炉内，单晶炉的顶端设置有单晶炉炉盖，单晶炉炉盖内设置有籽晶杆放置凹槽。该种蓝宝石晶棒钻取装置，能够自动调节籽晶杆的高度，方便晶体的生长，使晶体的应力小，结构完整性高，使晶体能够在生产完成后，根据需要，对晶体进行实时钻取，减少了晶体在钻取过程中的运输环节，降低了生产成本，提高了生产速度。

Description

一种蓝宝石晶棒钻取装置

技术领域

本实用新型涉及一种蓝宝石晶棒钻取装置。

背景技术

蓝宝石是人工合成晶体中一个重要的材料品种，由于其优良的机械和光学性能，蓝宝石晶体得到了广泛的应用。近年来半导体照明产业的快速发展，带动了蓝宝石衬底材料需求的快速增长，用于MOCVD外延衬底的蓝宝石材料占到总产量的80％以上。2009年下半年以来，蓝宝石衬底一直处于材料紧缺和价格上涨趋势。因此，带动了新一轮蓝宝石投资热潮的兴起，传统蓝宝石企业纷纷增资扩产，同时，为数众多的蓝宝石晶棒厂在中国大陆如雨后春笋般涌现。泡生法是目前应用最多的蓝宝石生长方法，这种方法技术成熟，成本较低，适合大批量生产。主要缺点是需要对生长的晶体进行掏割，带来了一定的加工工作量。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供一种蓝宝石晶棒钻取装置，从而解决上述问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：

本实用新型一种蓝宝石晶棒钻取装置，包括控制台和单晶炉，所述控制台的一侧设置有固定悬挂杆和传动轴，所述固定悬挂杆的底部设置有移动导轨，所述移动导轨上设置有滑块，所述滑块上设置有液压伸缩柱，所述液压伸缩柱的顶部设置有电磁开关，所述液压伸缩柱的底端设置有悬挂钩，所述悬挂钩上设置有籽晶杆，所述籽晶杆上设置有氧化锆保温盖，所述籽晶杆贯穿于所述单晶炉内，所述单晶炉的顶端设置有单晶炉炉盖，所述单晶炉炉盖内设置有籽晶杆放置凹槽，所述传动轴的底端设置有电动伸缩柱，所述电动伸缩柱的底端设置有旋转轴，所述旋转轴上设置有钻头，所述钻头的边侧设置有冷却液喷头，所述控制台的底端边侧设置有横向移动轴和纵向移动轴，所述横向移动轴上设置有单晶棒钻取工作箱，所述单晶棒钻取工作箱内设置有夹具。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述传动轴外设置有透明防护罩。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述控制台内设置有伺服电机，所述控制台上设置有显示屏和操作键盘，所述控制台的边侧设置有手动控制盘。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述籽晶杆放置凹槽和所述氧化锆保温盖过盈配合。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该种蓝宝石晶棒钻取装置，通过设置的液压伸缩柱，能够自动调节籽晶杆的高度，方便晶体的生长，使晶体的应力小，结构完整性高，通过设置的移动导轨，使晶体能够在生产完成后，根据需要，对晶体进行实时钻取，提高了晶体的生产效率，减少了晶体在钻取过程中的运输环节，降低了生产成本，提高了生产速度。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1为本实用新型的结构示意图；

图中：1、控制台；2、伺服电机；3、手动控制盘；4、操作键盘；5、显示屏；6、传动轴；7、透明防护罩；8、固定悬挂杆；9、移动导轨；10、液压伸缩柱；11、滑块；12、电磁开关；13、氧化锆保温盖；14、单晶炉炉盖；15、籽晶杆；16、单晶炉；17、单晶棒钻取工作箱；18、横向移动轴；19、冷却液喷头；20、纵向移动轴；21、夹具；22、钻头；23、旋转轴；24、电动伸缩柱；25、悬挂钩；26、籽晶杆放置凹槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1，本实用新型提供一种技术方案：一种蓝宝石晶棒钻取装置，包括控制台1和单晶炉16，控制台1的一侧设置有固定悬挂杆8和传动轴6，固定悬挂杆8的底部设置有移动导轨9，移动导轨9上设置有滑块11，滑块11上设置有液压伸缩柱10，液压伸缩柱10的顶部设置有电磁开关12，液压伸缩柱10的底端设置有悬挂钩25，悬挂钩25上 设置有籽晶杆15，籽晶杆15上设置有氧化锆保温盖13，籽晶杆15贯穿于单晶炉16内，单晶炉16的顶端设置有单晶炉炉盖14，单晶炉炉盖14内设置有籽晶杆放置凹槽26，传动轴6的底端设置有电动伸缩柱24，电动伸缩柱24的底端设置有旋转轴23，旋转轴23上设置有钻头22，钻头22的边侧设置有冷却液喷头19，控制台1的底端边侧设置有横向移动轴18和纵向移动轴20，横向移动轴18上设置有单晶棒钻取工作箱17，单晶棒钻取工作箱17内设置有夹具21。传动轴6外设置有透明防护罩7。控制台1内设置有伺服电机2，控制台1上设置有显示屏5和操作键盘4，控制台1的边侧设置有手动控制盘3。籽晶杆放置凹槽26和氧化锆保温盖13过盈配合。

使用时，通过氧化锆保温盖13和籽晶杆放置凹槽26的配合，使籽晶杆15放入单晶炉16内，通过调节液压伸缩柱10的位置，调节籽晶杆15的放置位置，当单晶棒生长完成后，可通过籽晶杆15和移动导轨9的配合，使单晶棒移出单晶炉16内，将单晶棒取下，通过夹具21的固定，通过控制台1，可直接对单晶棒进行钻取加工。

该种蓝宝石晶棒钻取装置，通过设置的液压伸缩柱，能够自动调节籽晶杆的高度，方便晶体的生长，使晶体的应力小，结构完整性高，通过设置的移动导轨，使晶体能够在生产完成后，根据需要，对晶体进行实时钻取，提高了晶体的生产效率，减少了晶体在钻取过程中的运输环节，降低了生产成本，提高了生产速度。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种蓝宝石晶棒钻取装置，包括控制台(1)和单晶炉(16)，其特征在于，所述控制台(1)的一侧设置有固定悬挂杆(8)和传动轴(6)，所述固定悬挂杆(8)的底部设置有移动导轨(9)，所述移动导轨(9)上设置有滑块(11)，所述滑块(11)上设置有液压伸缩柱(10)，所述液压伸缩柱(10)的顶部设置有电磁开关(12)，所述液压伸缩柱(10)的底端设置有悬挂钩(25)，所述悬挂钩(25)上设置有籽晶杆(15)，所述籽晶杆(15)上设置有氧化锆保温盖(13)，所述籽晶杆(15)贯穿于所述单晶炉(16)内，所述单晶炉(16)的顶端设置有单晶炉炉盖(14)，所述单晶炉炉盖(14)内设置有籽晶杆放置凹槽(26)，所述传动轴(6)的底端设置有电动伸缩柱(24)，所述电动伸缩柱(24)的底端设置有旋转轴(23)，所述旋转轴(23)上设置有钻头(22)，所述钻头(22)的边侧设置有冷却液喷头(19)，所述控制台(1)的底端边侧设置有横向移动轴(18)和纵向移动轴(20)，所述横向移动轴(18)上设置有单晶棒钻取工作箱(17)，所述单晶棒钻取工作箱(17)内设置有夹具(21)。

2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶棒钻取装置，其特征在于，所述传动轴(6)外设置有透明防护罩(7)。

3.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶棒钻取装置，其特征在于，所述控制台(1)内设置有伺服电机(2)，所述控制台(1)上设置有显示屏(5)和操作键盘(4)，所述控制台(1)的边侧设置有手动控制盘(3)。

4.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶棒钻取装置，其特征在于，所述籽晶杆放置凹槽(26)和所述氧化锆保温盖(13)过盈配合。