CN205539932U - 双工件台垂直曝光装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种双工件台垂直曝光装置，包括至少一组曝光单元、分光镜（3）、反射镜（4），以及两个用于固定工件的垂直工件台Ⅰ（5）和工件台Ⅱ（6）；所述曝光单元包括DMD微反射镜阵列（1）和成像透镜组（2）；所述分光镜（3）置于曝光单元之后、工件台之前；所述反射镜（4）置于分光镜（3）正下方。本双工件台垂直曝光装置取消了单工件台水平曝光的方式，取而代之的是垂直曝光双工件台，在不改变照明光路和曝光单元的基础上，加入分光镜及反光镜，增加工件台数量。本双工件台垂直曝光装置在节约成本的同时大幅度提高了曝光效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种曝光装置，具体是一种双工件台垂直曝光装置。
背景技术
目前市场上主流的曝光机大多是单工件，水平放置曝光。曝光速度和曝光时间很难再有突破，导致效率低下。由于对曝光机高效率的要求，市场上都会通过提高曝光速度来减少曝光时间，这样就要提高光源的能量，由此不仅成本会大幅度提高，还会影响曝光结果。
实用新型内容
针对上述现有技术存在的问题，本实用新型提供一种双工件台垂直曝光装置，在不改变照明光路和曝光单元的基础上，加入分光镜及反光镜，增加工件台数量。本双工件台垂直曝光装置在节约成本的同时大幅度提高曝光效率。
为了实现上述目的，本双工件台垂直曝光装置包括至少一组曝光单元、分光镜、反射镜，以及两个用于固定工件的垂直工件台Ⅰ和工件台Ⅱ；
所述曝光单元包括DMD微反射镜阵列和成像透镜组；
所述分光镜置于曝光单元之后、工件台之前；
所述反射镜置于分光镜正下方。
进一步，所述分光镜为立体型分束镜，对曝光单元所用的紫外光波段呈50%反射，50%透射。
进一步，所述反射镜为45°直角三棱镜，对分光镜透射的50%紫外光全反。
进一步，所述工件台Ⅰ和工件台Ⅱ分别位于所述分光镜和反射镜的正后方，对分光镜和反射镜出射的光进行曝光。
与现有技术相比，本双工件台垂直曝光装置取消了单工件台水平曝光的方式，取而代之的是垂直曝光双工件台，在不改变照明光路和曝光单元的基础上，加入分光镜及反光镜，增加工件台数量。本双工件台垂直曝光装置在节约成本的同时大幅度提高了曝光效率。
附图说明
图1是本实用新型的主体结构示意图；
图2是图1的侧视图；
图中：1、DMD微反射镜阵列，2、成像透镜组，3、分光镜，4、反射镜，5、工件台Ⅰ，6、工件台Ⅱ。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步说明。
如图1和图2所示，本双工件台垂直曝光装置包括至少一组曝光单元、分光镜3、反射镜4，以及两个用于固定工件的垂直工件台Ⅰ5和工件台Ⅱ6；
所述曝光单元包括DMD微反射镜阵列1和成像透镜组2；
所述分光镜3置于曝光单元之后、工件台之前；
所述反射镜4置于分光镜3正下方。
进一步，所述分光镜3为立体型分束镜，对曝光单元所用的紫外光波段呈50%反射，50%透射。
进一步，所述反射镜4为45°直角三棱镜，对分光镜3透射的50%紫外光全反。
进一步，所述工件台Ⅰ5和工件台Ⅱ6分别位于所述分光镜3和反射镜4的正后方，对分光镜3和反射镜4出射的光进行曝光。
本双工件台垂直曝光装置的工作原理如下：
使用DMD微反射镜阵列1进行翻转，形成曝光图像，通过成像透镜组 2的成像作用，将DMD微反射镜阵列1的像成在相应位置，在成像透镜组2的出光口与所述DMD的像之间放置分光镜3与反射镜4，使所述DMD的像发生转折，经分光镜3一半成在工件台Ⅰ5上的工件上，另一半经反射镜4成在工件台Ⅱ6上的工件上，工件台Ⅰ5和工件台Ⅱ6上的工件同时曝光相同的图像。
综上所述，本双工件台垂直曝光装置取消了单工件台水平曝光的方式，取而代之的是垂直曝光双工件台，在不改变照明光路和曝光单元的基础上，加入分光镜及反光镜，增加工件台数量。本双工件台垂直曝光装置在节约成本的同时大幅度提高了曝光效率。
Claims (4)
1.一种双工件台垂直曝光装置，其特征在于，
包括至少一组曝光单元、分光镜（3）、反射镜（4），以及两个用于固定工件的垂直工件台Ⅰ（5）和工件台Ⅱ（6）；
所述曝光单元包括DMD微反射镜阵列（1）和成像透镜组（2）；
所述分光镜（3）置于曝光单元之后、工件台之前；
所述反射镜（4）置于分光镜（3）正下方。
2.根据权利要求1所述的一种双工件台垂直曝光装置，其特征在于，
所述分光镜（3）为立体型分束镜，对曝光单元所用的紫外光波段呈50%反射，50%透射。
3.根据权利要求1所述的一种双工件台垂直曝光装置，其特征在于，
所述反射镜（4）为45°直角三棱镜，对分光镜（3）透射的50%紫外光全反。
4.根据权利要求1所述的一种双工件台垂直曝光装置，其特征在于，
所述工件台Ⅰ（5）和工件台Ⅱ（6）分别位于所述分光镜（3）和反射镜（4）的正后方，对分光镜（3）和反射镜（4）出射的光进行曝光。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201620208339.5U CN205539932U (zh) | 2016-03-18 | 2016-03-18 | 双工件台垂直曝光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201620208339.5U CN205539932U (zh) | 2016-03-18 | 2016-03-18 | 双工件台垂直曝光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN205539932U true CN205539932U (zh) | 2016-08-31 |
Family
ID=56781838
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201620208339.5U Active CN205539932U (zh) | 2016-03-18 | 2016-03-18 | 双工件台垂直曝光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN205539932U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108073045A (zh) * | 2016-11-07 | 2018-05-25 | 俞庆平 | 一种双分镜头直写式曝光机系统 |
-
2016
- 2016-03-18 CN CN201620208339.5U patent/CN205539932U/zh active Active
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108073045A (zh) * | 2016-11-07 | 2018-05-25 | 俞庆平 | 一种双分镜头直写式曝光机系统 |
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