CN205501410U - 一种新型真空镀膜靶材双电刷结构 - Google Patents
一种新型真空镀膜靶材双电刷结构 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型公开了一种新型真空镀膜靶材双电刷结构，包括安装联接法兰，安装联接法兰上安装有真空贯穿件、靶材旋转马达和一芯电力贯穿件，真空贯穿件中心安装有靶材组件，靶材组件底端连接旋转式冷却水供应装置，靶材组件上通过靶材支撑组件安装有靶材，所述靶材组件的圆周侧设有安装在安装联接法兰上的电刷，电刷为两个。本实用新型与现有技术相比的优点是：本实用新型采用了双电刷设计，两个电刷是并联结构，同时都与碳靶接触，使其稳定持续带有负电荷。接触面更广，电荷输出更稳定；并联设计，当一个电刷出现故障时，另一电刷也能正常工作，不影响整体工况；工作更可靠，安全，稳定，降低机器故障和提高生产效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及电刷结构，尤其涉及一种新型真空镀膜靶材双电刷结构。
背景技术
现有的真空镀膜靶材结构是采用单电刷结构，原理是单电刷结构与阴极电极连通，其卡簧带负电荷把电刷固定，电刷与碳靶表面接触从而使碳靶带负电荷，与工作的碳头运动到低位时产生电弧。但因为是单电刷结构，时常会因接触不良或断路等等情况出现异常，整个靶材结构无法正常工作，同时会导致离子无法均匀稳定地输出，使镀膜工作出现瑕疵或废品。
实用新型内容
本实用新型是为了解决上述不足，提供了一种新型真空镀膜靶材双电刷结构。
本实用新型的上述目的通过以下的技术方案来实现：一种新型真空镀膜靶材双电刷结构，包括安装联接法兰，安装联接法兰上安装有真空贯穿件、靶材旋转马达和一芯电力贯穿件，真空贯穿件中心安装有靶材组件，靶材组件底端连接旋转式冷却水供应装置，靶材组件上通过靶材支撑组件安装有靶材，其特征在于：所述靶材组件的圆周侧设有安装在安装联接法兰上的电刷，电刷为两个。
所述电刷包括电刷底座和侧立板，所述电刷底座和侧立板均呈弧形，所述电刷底座两侧端设有绝缘螺丝；所述侧立板固定于电刷底座上，侧立板上固定有电刷铜片，所述电刷铜片横截面呈7字形。
本实用新型与现有技术相比的优点是：本实用新型采用了双电刷设计，两个电刷是并联结构，同时都与碳靶接触，使其稳定持续带有负电荷。接触面更广，电荷输出更稳定；并联设计，当一个电刷出现故障时，另一电刷也能正常工作，不影响整体工况；工作更可靠，安全，稳定，降低机器故障和提高生产效率。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
图2是本实用新型的立体结构示意图。
图3是本实用新型中电刷的正面结构示意图。
图4是图2的俯视图。
图5是本实用新型中电刷的立体结构示意图。
图6是本实用新型中电刷的连接结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型进一步详述。
如图1至图6所示，一种新型真空镀膜靶材双电刷结构，包括安装联接法兰3，安装联接法兰3上安装有真空贯穿件4、靶材旋转马达8和一芯电力贯穿件9，真空贯穿件4中心安装有靶材组件5，靶材组件5底端连接旋转式冷却水供应装置6，靶材组件5上通过靶材支撑组件10安装有靶材7，其特征在于：所述靶材组件5的圆周侧设有安装在安装联接法兰上的电刷2，电刷2为两个。所述电刷2包括电刷底座2-1和侧立板2-2，所述电刷底座2-1和侧立板2-2均呈弧形，所述电刷底座2-1两侧端设有绝缘螺丝2-3；所述侧立板2-2固定于电刷底座2-1上，侧立板2-1上固定有电刷铜片2-4，所述电刷铜片2-4横截面呈7字形。
以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
Claims (2)
1.一种新型真空镀膜靶材双电刷结构，包括安装联接法兰，安装联接法兰上安装有真空贯穿件、靶材旋转马达和一芯电力贯穿件，真空贯穿件中心安装有靶材组件，靶材组件底端连接旋转式冷却水供应装置，靶材组件上通过靶材支撑组件安装有靶材，其特征在于：所述靶材组件的圆周侧设有安装在安装联接法兰上的电刷，电刷为两个。
2.根据权利要求1所述的一种新型真空镀膜靶材双电刷结构，其特征在于：所述电刷包括电刷底座和侧立板，所述电刷底座和侧立板均呈弧形，所述电刷底座两侧端设有绝缘螺丝；所述侧立板固定于电刷底座上，侧立板上固定有电刷铜片，所述电刷铜片横截面呈7字形。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201620283464.2U CN205501410U (zh) | 2016-04-07 | 2016-04-07 | 一种新型真空镀膜靶材双电刷结构 |
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| CN201620283464.2U CN205501410U (zh) | 2016-04-07 | 2016-04-07 | 一种新型真空镀膜靶材双电刷结构 |
Publications (1)
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ID=56737065
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| CN201620283464.2U Expired - Fee Related CN205501410U (zh) | 2016-04-07 | 2016-04-07 | 一种新型真空镀膜靶材双电刷结构 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN205501410U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111733394A (zh) * | 2020-08-10 | 2020-10-02 | 光驰科技(上海)有限公司 | 一种可适时调节磁场角度的孪生旋转溅射阴极装置 |
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2016
- 2016-04-07 CN CN201620283464.2U patent/CN205501410U/zh not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN111733394A (zh) * | 2020-08-10 | 2020-10-02 | 光驰科技(上海)有限公司 | 一种可适时调节磁场角度的孪生旋转溅射阴极装置 |
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