CN205382049U - 一种多晶硅用超纯水处理系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于纯水处理技术领域一种多晶硅用超纯水处理系统，包括原水箱、介质过滤装置、活性炭过滤装置、软化装置、精密过滤器、RO反渗透装置、EDI电除盐装置、臭氧反应装置和紫外消毒装置，所述原水箱一侧连接有原水泵，所述原水泵一侧连接有介质过滤装置，所述介质过滤装置一侧连接有活性炭过滤装置，所述活性炭过滤装置一侧连接有软化装置，所述软化装置一侧连接有精密过滤器，所述精密过滤器一侧连接有RO反渗透装置，所述RO反渗透装置一侧设置有EDI电除盐装置，所述EDI电除盐装置，所述EDI电除盐装置一侧设置有臭氧反应装置，本实用新型采用RO反渗透和EDI离子交换相结合的成熟工艺，具有运行可靠、操作维护方便。

Description

一种多晶硅用超纯水处理系统

技术领域

本实用新型属于纯水处理技术领域，尤其涉及一种多晶硅用超纯水处理系统。

背景技术

多晶硅片，半导体器件等清洗过程中所需的纯水需要符合国家《电子级水质标准》18.2兆以上，目前最有效的制水工艺就是预处理加反渗透加EDI技术工艺。即预处理采用盘滤过滤器+超滤工艺，除盐采用二级反渗透+EDI工艺使産水电阻率达到15MΩ.cm以上，终端供水采用变频供水泵+二级精精混床+终端超滤膜使産水电阻率达到18.2MΩ.cm，经处理后的产水水质达到《电子级水GB/T11446.1-1997Ⅰ级》水质标准。

超纯水设备关键技术EDI系电渗析(ED)与反渗透技术的有机结合，达到连续除盐、运行维护简单、无酸碱排放污染。在膜处理系统中，用做前处理的超滤一般使用直径1mm的中空纤维，以脱除原水中的悬浮物及胶体，UF用作前处理的最大问题是膜污染及膜孔堵塞，为此常在前面设置预过滤器，以去除大粒径悬浮物，在预过滤前加絮凝剂，如PAC(聚丙稀酸)可提高过滤水质，并降低膜阻力。对电厂锅炉补给水系统要求的溶氧量一般要求为0.3mg/L以下,为此脱气膜应该在低于5.33Kpa(40TORR)的真空度下操作。反渗透技术在国内最早应用于微电子行业中冲洗用水的制取，而近年来直饮水的反渗透工艺所形成的技术与消费浪潮，极大地促进了RO技术的普及，进而对国内整体工业进步起到了一定的促进作用，目前，在生产纯净水过程中会产生大量的浓缩水，为延长反渗透膜的使用寿命，保持一定的渗透压防止渗透压过高，必须进行浓缩水的处理及排放。

实用新型内容

本实用新型提供一种多晶硅用超纯水处理系统，以解决上述背景技术中反渗透效率低等一系列问题。

为解决上述问题，本实用新型提供如下技术方案：一种多晶硅用超纯水处理系统，包括原水箱、介质过滤装置、活性炭过滤装置、软化装置、精密过滤器、RO反渗透装置、EDI电除盐装置、臭氧反应装置和紫外消毒装置，所述原水箱一侧连接有原水泵，所述原水泵一侧连接有介质过滤装置，所述介质过滤装置一侧连接有活性炭过滤装置，所述活性炭过滤装置一侧连接有软化装置，所述软化装置一侧连接有精密过滤器，所述精密过滤器一侧连接有RO反渗透装置，所述RO反渗透装置一侧设置有EDI电除盐装置，所述EDI电除盐装置，所述EDI电除盐装置一侧设置有臭氧反应装置。

进一步的，所述臭氧反应装置一侧设置有紫外消毒装置。

进一步的，所述紫外消毒装置一侧设置有纯水池。

进一步的，所述RO反渗透装置与EDI电除盐装置之间设置有高压水泵。

进一步的，所述RO反渗透装置一侧设置有浓水池，所述浓水池一侧设置有排放池。

本实用新型的有益效果为：本实用新型通过臭氧反应装置一侧设置有紫外消毒装置，能够有效出去水中的细菌。通过紫外消毒装置一侧设置有纯水池，便于对纯水进行储存供用户使用。通过RO反渗透装置一侧设置有浓水池，浓水池一侧设置有排放池，采用了浓水再循环，补充了进水量，减少设备总进水量，节省了水资源，另外增大反渗透装置的进水压力，可以有效地冲洗掉膜表面上的污物。采用RO反渗透和EDI离子交换相结合的成熟工艺，具有运行可靠、操作维护方便，与传统工艺相比具有运行稳定优点(离子交换器的再生周期大大延长)，与最新工艺相比无须再生，耗材，前置RO反渗透工艺技术先进，可靠。并运用成熟的EDI工艺，使水质出水更趋于稳定安全。

附图说明

图1是本实用新型整体结构示意图；

图中：

1-原水箱，2-原水泵，3-介质过滤装置，4-活性炭过滤装置，5-软化装置，6-精密过滤器，7-RO反渗透装置，8-浓水池，9-排放池，10-高压水泵，11-EDI电除盐装置，12-臭氧反应装置，13-紫外消毒装置，14-纯水池。

具体实施方式

下面结合具体实施方式和说明书附图，对本实用新型作进一步详细的描述，但本实用新型的实施方式不限于此。

实施例：

如图1所示，一种多晶硅用超纯水处理系统，包括原水箱1、介质过滤装置3、活性炭过滤装置4、软化装置5、精密过滤器6、RO反渗透装置7、EDI电除盐装置11、臭氧反应装置12和紫外消毒装置13，所述原水箱1一侧连接有原水泵2，所述原水泵2一侧连接有介质过滤装置3，所述介质过滤装置3一侧连接有活性炭过滤装置4，所述活性炭过滤装置4一侧连接有软化装置5，所述软化装置5一侧连接有精密过滤器6，所述精密过滤器6一侧连接有RO反渗透装置7，所述RO反渗透装置7一侧设置有EDI电除盐装置11，所述EDI电除盐装置11，所述EDI电除盐装置11一侧设置有臭氧反应装置12。

优选的，所述臭氧反应装置12一侧设置有紫外消毒装置13。

优选的，所述紫外消毒装置13一侧设置有纯水池14。

优选的，所述RO反渗透装置7与EDI电除盐装置11之间设置有高压水泵10。

优选的，所述RO反渗透装置7一侧设置有浓水池8，所述浓水池8一侧设置有排放池9。

根据上述说明书的揭示和教导，本实用新型所属领域的技术人员还能够对上述实施方式进行变更和修改。因此，本实用新型并不局限于上述的具体实施方式，凡是本领域技术人员在本实用新型的基础上所作出的任何显而易见的改进、替换或变型均属于本实用新型的保护范围。此外，尽管本说明书中使用了一些特定的术语，但这些术语只是为了方便说明，并不对本实用新型构成任何限制。

Claims (5)

1.一种多晶硅用超纯水处理系统，其特征在于：包括原水箱（1）、介质过滤装置（3）、活性炭过滤装置（4）、软化装置（5）、精密过滤器（6）、RO反渗透装置（7）、EDI电除盐装置（11）、臭氧反应装置（12）和紫外消毒装置（13），所述原水箱（1）一侧连接有原水泵（2），所述原水泵（2）一侧连接有介质过滤装置（3），所述介质过滤装置（3）一侧连接有活性炭过滤装置（4），所述活性炭过滤装置（4）一侧连接有软化装置（5），所述软化装置（5）一侧连接有精密过滤器（6），所述精密过滤器（6）一侧连接有RO反渗透装置（7），所述RO反渗透装置（7）一侧设置有EDI电除盐装置（11），所述EDI电除盐装置（11），所述EDI电除盐装置（11）一侧设置有臭氧反应装置（12）。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅用超纯水处理系统，其特征在于：所述臭氧反应装置（12）一侧设置有紫外消毒装置（13）。

3.根据权利要求2所述的一种多晶硅用超纯水处理系统，其特征在于：所述紫外消毒装置（13）一侧设置有纯水池（14）。

4.根据权利要求1所述的一种多晶硅用超纯水处理系统，其特征在于：所述RO反渗透装置（7）与EDI电除盐装置（11）之间设置有高压水泵（10）。

5.根据权利要求1所述的一种多晶硅用超纯水处理系统，其特征在于：所述RO反渗透装置（7）一侧设置有浓水池（8），所述浓水池（8）一侧设置有排放池（9）。