CN205373342U - 一种硅片热风干燥的自动控制装置 - Google Patents

Abstract

一种硅片热风干燥的自动控制装置，涉及半导体硅片生产技术领域，提升装置和烘干装置通过控制箱进行控制，在恒温槽内设有架子，恒温槽一侧设有固定板，恒温槽底部设有加热管，固定板上设有丝杠、上限位传感器和下限位传感器，丝杠上设有丝杠螺母，丝杠螺母上设有拉杆，拉杆上设有架子，所述烘干装置由风机、加热器、轨道、管道、第一到位传感器和第二到位传感器，烘干室上设有加热器、风机和轨道，轨道上设有第一到位传感器和第二到位传感器，风机上设有管道，管道一端与风机相连接，管道另一端与加热器相连接；本实用新型实用性强，使用起来比较方便，节省人工的同时也提高了工作效率，极大的有利于企业的发展。

Description

一种硅片热风干燥的自动控制装置

【技术领域】

本实用新型涉及半导体硅片生产技术领域，尤其是涉及一种硅片热风干燥的自动控制装置。

【背景技术】

公知的，硅片清洗后传统的干燥工艺就是用甩干桶甩干，而有些硅片干燥工艺需要热气烘干，由于硅片是放在硅片盒里，再放在清洗架子进行清洗，清洗完成后的片盒、硅片、架子都有水，这就需要先将这些水在另一个装置沥干后在放进烘箱内进行烘干，但是目前的烘干操作都是人为的进行操作，这样不但浪费了人力，而且极大的增加了劳动强度，严重影响了企业的发展。

【实用新型内容】

为了克服背景技术中的不足，本实用新型公开了一种硅片热风干燥的自动控制装置，本实用新型通过在恒温箱内设置提升装置，在烘干室内设置烘干装置，提升装置和烘干装置通过控制箱进行控制，以此来达到硅片快速烘干的目的。

为了实现所述实用新型目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种硅片热风干燥的自动控制装置，包括恒温槽、烘干室、提升装置、烘干装置和控制箱，提升装置和烘干装置通过控制箱进行控制，提升装置有丝杆、丝杠螺母、上限位传感器、下限位传感器、拉杆、架子和加热管，在恒温槽内设有架子，恒温槽一侧设有固定板，恒温槽底部设有加热管，固定板上设有丝杠、上限位传感器和下限位传感器，丝杠上设有丝杠螺母，丝杠螺母上设有拉杆，拉杆上设有架子，所述烘干装置有风机、加热器、轨道、管道、第一到位传感器和第二到位传感器，烘干室上设有加热器、风机和轨道，轨道上设有第一到位传感器和第二到位传感器，风机上设有管道，管道一端与风机相连接，管道另一端与加热器相连接，所述控制箱由提升模块和烘干模块构成，提升模块控制提升装置，烘干模块对烘干装置进行控制。

所述上限位传感器和下限位传感器分别设置在固定板的上部和下部，上限位传感器和下限位传感器设置在丝杠的同一侧的固定板上。

所述丝杠螺母设置在上限位传感器和下限位传感器的中间。

所述烘干室上设有门，轨道通过门插入到烘干室内。

所述提升模块有启动按钮SB1、KA1线圈、SQ1传感器、升降电机和KA3线圈构成，开启启动按钮SB1，KA1线圈得电常开触点吸合，SB1灯亮，KA1常闭触点断开，KA1线圈实现自锁，同时KA1接通了变频器多功能输入端子1和多功能输入端子2，变频器得到这两个信号后就会输出电压和频率，电机正转运行，架子开始拉升，当架子升到上限位时，SQ1传感器就会触发接通KA3线圈，KA3常闭触点断开，常开触点闭合，KA1线圈失电，KA1触点复原，断开变频器运行信号，升降电机停止运行，且KA3触点接通提示蜂鸣器，恒温槽内的温度靠温控器触点接通或断开控制KM1，KM1下端接加热管。

所述烘干模块有启动按钮SB3、KA5线圈、第二到位传感器SQ3、KA6线圈、KM线圈、继电器KT1、第一到位传感器SQ4、KA7线圈，按下启动按钮SB3，KA5线圈得电，KA5常开触点闭合，常闭触点断开，KA5线圈实现自锁,启动按钮SB3的HL灯点亮,YV线圈得电，气缸就会推动门运动，从而关闭烘干室上的门，当门关到位后，第二到位传感器SQ3就会触发接通KA6线圈，KA6常开触点闭合，常闭触点断开,KM线圈得电，主触点吸合，风机工作、加热器工作，KA6接通继电器KT1记时一定时间后，KT1常开触点闭合，常闭触点断开。KM失电离心风机停止运行。接通KT2记时一定时间后，KT2常开触点闭合，常闭触点断开，KA5线圈失电，触点复原，YV失电，气缸往回拉把门拉开，拉到位后第一到位传感器SQ4触发接通KA7线圈，KA7常闭触点断开，KM2失电加热停止，自动烘干完成且提示工作人请取出硅片，再按下启动按钮SB3的同时KA2线圈得电，KA2常开触点闭合，常闭触点断开，KA2接通变频器多功能输入端子3和多功能输入端子4，升降电机反向运转，当降到位时，SQ2传感器触发，KA4线圈得电，KA4常闭触点断开，常开触点闭合，KA2线圈失电，KA2触点复原，变频器停止。

由于采用了上述技术方案，本实用新型具有如下有益效果：

本实用新型所述的一种硅片热风干燥的自动控制装置，包括恒温槽、烘干室、提升装置、烘干装置和控制箱，通过在恒温箱内设置提升装置，在烘干室内设置烘干装置，提升装置和烘干装置通过控制箱进行控制，以此来达到硅片快速烘干的目的；本实用新型实用性强，使用起来比较方便，不但能够快速的对硅片进行清洗，而且极大的节省了人力，在节省人工的同时也提高了工作效率，极大的有利于企业的发展。

【附图说明】

图1为本实用新型的提升装置立体结构示意图；

图2为本实用新型的烘干室立体结构示意图；

图3为本实用新型的提升模块主电路图；

图4为本实用新型的烘干模块电路图；

图中：1、丝杠；2、上限位传感器；3、丝杠螺母；4、下限位传感器；5、拉杆；6、架子；7、恒温槽；8、加热管；9、加热器；10、轨道；11、第一到位传感器；12、第二到位传感器；13、管道；14、烘干室；15、风机；16、固定板。

【具体实施方式】

通过下面的实施例可以详细的解释本实用新型，公开本实用新型的目的旨在保护本实用新型范围内的一切技术改进。

结合附图1~4所述的一种硅片热风干燥的自动控制装置，包括恒温槽7、烘干室14、提升装置、烘干装置和控制箱，提升装置和烘干装置通过控制箱进行控制，提升装置有丝杆1、丝杠螺母3、上限位传感器2、下限位传感器4、拉杆5、架子6和加热管8，在恒温槽7内设有架子6，恒温槽7一侧设有固定板16，恒温槽7底部设有加热管8，固定板16上设有丝杠1、上限位传感器2和下限位传感器4，丝杠1上设有丝杠螺母3，丝杠螺母3上设有拉杆5，拉杆5上设有架子6，所述烘干装置有风机15、加热器9、轨道10、管道13、第一到位传感器11和第二到位传感器12，烘干室14上设有加热器9、风机15和轨道10，轨道10上设有第一到位传感器11和第二到位传感器12，风机15上设有管道13，管道13一端与风机15相连接，管道13另一端与加热器9相连接，所述控制箱有提升模块和烘干模块构成，提升模块控制提升装置，烘干模块对烘干装置进行控制；所述上限位传感器2和下限位传感器4分别设置在固定板16的上部和下部，上限位传感器2和下限位传感器4设置在丝杠1的同一侧的固定板16上；所述丝杠螺母3设置在上限位传感器2和下限位传感器4的中间；所述烘干室14上设有门，轨道10通过门插入到烘干室14内；所述提升模块有启动按钮SB1、KA1线圈、SQ1传感器、升降电机和KA3线圈构成，开启启动按钮SB1，KA1线圈得电常开触点吸合，SB1灯亮，KA1常闭触点断开，KA1线圈实现自锁，同时KA1接通了变频器多功能输入端子1和多功能输入端子2，变频器得到这两个信号后就会输出电压和频率，电机正转运行，架子6开始拉升，当架子6升到上限位时，SQ1传感器就会触发接通KA3线圈，KA3常闭触点断开，常开触点闭合，KA1线圈失电，KA1触点复原，断开变频器运行信号，升降电机停止运行，且KA3触点接通提示蜂鸣器，恒温槽7内的温度靠温控器触点接通或断开控制KM1，KM1下端接加热管；所述烘干模块有启动按钮SB3、KA5线圈、第二到位传感器SQ3、KA6线圈、KM线圈、继电器KT1、第一到位传感器SQ4、KA7线圈，按下启动按钮SB3，KA5线圈得电，KA5常开触点闭合，常闭触点断开，KA5线圈实现自锁,启动按钮SB3的HL灯点亮,YV线圈得电，气缸就会推动门运动，从而关闭烘干室14上的门，当门关到位后，第二到位传感器SQ3就会触发接通KA6线圈，KA6常开触点闭合，常闭触点断开,KM线圈得电，主触点吸合，风机15工作、加热器工作，KA6接通继电器KT1记时一定时间后，KT1常开触点闭合，常闭触点断开。KM失电离心风机停止运行。接通KT2记时一定时间后，KT2常开触点闭合，常闭触点断开，KA5线圈失电，触点复原，YV失电，气缸往回拉把门拉开，拉到位后第一到位传感器SQ4触发接通KA7线圈，KA7常闭触点断开，KM2失电加热停止，自动烘干完成且提示工作人请取出硅片，再按下启动按钮SB3的同时KA2线圈得电，KA2常开触点闭合，常闭触点断开，KA2接通变频器多功能输入端子3和多功能输入端子4，升降电机反向运转，当降到位时，SQ2传感器触发，KA4线圈得电，KA4常闭触点断开，常开触点闭合，KA2线圈失电，KA2触点复原，变频器停止。

实施本实用新型所述的一种硅片热风干燥的自动控制装置，在使用时，先将硅片放置在恒温槽6内进行清洗，然后通过控制箱对清洗过的硅片从恒温槽7内取出来，然后再放入到烘干室14内烘干即可，先开启启动按钮SB1，KA1线圈得电常开触点吸合，SB1灯亮，KA1常闭触点断开，KA1线圈实现自锁，同时KA1接通了变频器多功能输入端子1和多功能输入端子2，变频器得到这两个信号后就会输出电压和频率，电机正转运行，架子6开始拉升，当架子6升到上限位时，SQ1传感器就会触发接通KA3线圈，KA3常闭触点断开，常开触点闭合，KA1线圈失电，KA1触点复原，断开变频器运行信号，升降电机停止运行，且KA3触点接通提示蜂鸣器，恒温槽7内的温度时靠温控器触点B接通或断开控制KM1，KM1下端接加热管，然后就可以去下硅片放入烘干室14内了，再按下启动按钮SB3，KA5线圈得电，KA5常开触点闭合，常闭触点断开，KA5线圈实现自锁,启动按钮SB3的HL灯点亮,YV线圈得电，气缸就会推动门运动，从而关闭烘干室14上的门，当门关到位后，第二到位传感器SQ3就会触发接通KA6线圈，KA6常开触点闭合，常闭触点断开,KM线圈得电，主触点吸合，风机15工作、加热器工作，KA6接通继电器KT1记时一定时间后，KT1常开触点闭合，常闭触点断开。KM失电离心风机停止运行。接通KT2记时一定时间后，KT2常开触点闭合，常闭触点断开，KA5线圈失电，触点复原，YV失电，气缸往回拉把门拉开，拉到位后第一到位传感器SQ4触发接通KA7线圈，KA7常闭触点断开，KM2失电加热停止，自动烘干完成且提示工作人请取出硅片，再按下启动按钮SB3的同时KA2线圈得电，KA2常开触点闭合，常闭触点断开，KA2接通变频器多功能输入端子3和多功能输入端子4，升降电机反向运转，当降到位时，SQ2传感器触发，KA4线圈得电，KA4常闭触点断开，常开触点闭合，KA2线圈失电，KA2触点复原，变频器停止，这样整个硅片的清洗就完成了。

本实用新型未详述部分为现有技术。

Claims (6)

1.一种硅片热风干燥的自动控制装置，包括恒温槽、烘干室、提升装置、烘干装置和控制箱，其特征是：提升装置和烘干装置通过控制箱进行控制，提升装置有丝杆、丝杠螺母、上限位传感器、下限位传感器、拉杆、架子和加热管，在恒温槽内设有架子，恒温槽一侧设有固定板，恒温槽底部设有加热管，固定板上设有丝杠、上限位传感器和下限位传感器，丝杠上设有丝杠螺母，丝杠螺母上设有拉杆，拉杆上设有架子，所述烘干装置有风机、加热器、轨道、管道、第一到位传感器和第二到位传感器，烘干室上设有加热器、风机和轨道，轨道上设有第一到位传感器和第二到位传感器，风机上设有管道，管道一端与风机相连接，管道另一端与加热器相连接，所述控制箱有提升模块和烘干模块构成，提升模块控制提升装置，烘干模块对烘干装置进行控制。

2.根据权利要求1所述的一种硅片热风干燥的自动控制装置，其特征是：所述上限位传感器和下限位传感器分别设置在固定板的上部和下部，上限位传感器和下限位传感器设置在丝杠的同一侧的固定板上。

3.根据权利要求1所述的一种硅片热风干燥的自动控制装置，其特征是：所述丝杠螺母设置在上限位传感器和下限位传感器的中间。

4.根据权利要求1所述的一种硅片热风干燥的自动控制装置，其特征是：所述烘干室上设有门，轨道通过门插入到烘干室内。

5.根据权利要求1所述的一种硅片热风干燥的自动控制装置，其特征是：所述提升模块由启动按钮SB1、KA1线圈、SQ1传感器、升降电机和KA3线圈构成，开启启动按钮SB1，KA1线圈得电常开触点吸合，SB1灯亮，KA1常闭触点断开，KA1线圈实现自锁，同时KA1接通了变频器多功能输入端子1和多功能输入端子2，变频器得到这两个信号后就会输出电压和频率，电机正转运行，架子开始拉升，当架子升到上限位时，SQ1传感器就会触发接通KA3线圈，KA3常闭触点断开，常开触点闭合，KA1线圈失电，KA1触点复原，断开变频器运行信号，升降电机停止运行，且KA3触点接通提示蜂鸣器，恒温槽内的温度靠温控器触点接通或断开控制KM1，KM1下端接加热管。

6.根据权利要求1所述的一种硅片热风干燥的自动控制装置，其特征是：所述烘干模块有启动按钮SB3、KA5线圈、第二到位传感器SQ3、KA6线圈、KM线圈、继电器KT1、第一到位传感器SQ4、KA7线圈，按下启动按钮SB3，KA5线圈得电，KA5常开触点闭合，常闭触点断开，KA5线圈实现自锁,启动按钮SB3的HL灯点亮,YV线圈得电，气缸就会推动门运动，从而关闭烘干室上的门，当门关到位后，第二到位传感器SQ3就会触发接通KA6线圈，KA6常开触点闭合，常闭触点断开,KM线圈得电，主触点吸合，风机工作、加热器工作，KA6接通继电器KT1记时一定时间后，KT1常开触点闭合，常闭触点断开，KM失电离心风机停止运行，接通KT2记时一定时间后，KT2常开触点闭合，常闭触点断开，KA5线圈失电，触点复原，YV失电，气缸往回拉把门拉开，拉到位后第一到位传感器SQ4触发接通KA7线圈，KA7常闭触点断开，KM2失电加热停止，自动烘干完成且提示工作人请取出硅片，再按下启动按钮SB3的同时KA2线圈得电，KA2常开触点闭合，常闭触点断开，KA2接通变频器多功能输入端子3和多功能输入端子4，升降电机反向运转，当降到位时，SQ2传感器触发，KA4线圈得电，KA4常闭触点断开，常开触点闭合，KA2线圈失电，KA2触点复原，变频器停止。