CN205340831U - 一种手套箱 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种手套箱，包括：箱体，箱体包括框架，以及安装在框架上的底部挡板和四快侧面挡板；其中，一块侧面挡板上设置有一个设备接口，设备接口设置有插槽，插槽上插接有闲置挡板或工作挡板；除设置有设备接口的侧面挡板之外的任一块侧面挡板上设置有操作孔，操作孔上安装有手套；底部挡板括上挡板和下挡板，其中，上、下挡板上都设置有位置、数量都相同的出风孔，但下挡板具有左右或者前后移动的自由度；箱体的顶部设置有风机滤网单元FFU，风机滤网单元包括风机、风速调节器和高效空气过滤器HEPA。本实用新型的手套箱利用空气对流的方式来净化箱体内部环境，结构简单、易于制造、价格便宜、后续维护成本低等优点。

Description

一种手套箱

技术领域

本实用新型涉及操作空间净化技术领域，特别是涉及一种应用于半导体制备过程的手套箱。

背景技术

目前，在半导体工艺过程中，污染是生产制造工艺中需要首要解决的问题。例如，红外焦平面探测器的制备过程要求非常苛刻，污染是可能红外焦平面探测器生产不合格的首要问题之一。因此工作场所一般来说都是洁净室，然而洁净室随着净化级别的增加，其成本也是成指数增加。除此外，工作人员也是重要的污染源，即使在净化间里面，人的头发、发尘、皮肤、衣物以及走动状态都是污染的重要来源。因此，红外探测器制备的关键工艺中，尤其是对衬底装卸、外延片的器件工艺(光刻、钝化、刻蚀、电机制备时、倒装互联时的装卸)、芯片后续的封装杜瓦装卸等过程，需要在局部营造一种无污染环境。

根据应用需求，常见的方法就是在装卸口处使用手套箱。现有手套箱采用抽真空的方式来净化箱体内环境，需连续工作，具有价格高、后期使用维护费用高等缺点。鉴于大量实验和生产的需求，并且考虑后期使用、维护费用高等因素，急需提供一种设计简单、价格低、后期维护费用也低的手套箱，以解决使用者的实际问题。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种手套箱，用以解决现有手套箱使用成本高的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种手套箱，包括：

箱体，箱体包括框架，以及安装在框架上的底部挡板和四快侧面挡板；其中，一块侧面挡板上设置有一个设备接口，设备接口设置有插槽，插槽上插接有闲置挡板或工作挡板；除设置有设备接口的侧面挡板之外的任一块侧面挡板上设置有操作孔，操作孔上安装有手套；底部挡板括上挡板和下挡板，其中，上、下挡板上都设置有位置、数量都相同的出风孔，但下挡板具有左右或者前后移动的自由度；

箱体的顶部设置有风机滤网单元FFU，风机滤网单元包括风机、风速调节器和高效空气过滤器HEPA。

进一步，工作挡板上设置有进样口，在进样口上安装有乳胶套，乳胶套的一端安装有弹性密封圈。

进一步，闲置挡板材料采用塑料材质；手套为乳胶手套；箱体四周的侧面挡板材料采用有机玻璃或钢化玻璃。

进一步，箱体的下部还设置有支撑架。

进一步，支撑架下面安装有滑轮，滑轮带刹车装置。

本实用新型有益效果如下：

本实用新型的手套箱利用空气对流的方式来净化箱体内部环境，结构简单、易于制造、价格便宜、后续维护成本低等优点。

附图说明

图1是本实用新型实施例中一种手套箱的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图以及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不限定本实用新型。

本实用新型技术是针对工艺制造过程中遇到的问题而提出来的一种方便可行解决方法，此实验室简易手套箱采用的是空气对流的净化方式来净化箱体内环境，在箱体内达到净化度要求后进行探测器制造工艺的操作

如图1所示，本实用新型实施例涉及一种手套箱，包括：

箱体，箱体包括框架，以及安装在框架上的底部挡板和四快侧面挡板20，主体框架采用不锈钢。其中，一块侧面挡板上设置有一个设备接口30，设备接口30设置有插槽，插槽上插接有闲置挡板或工作挡板。闲置挡板就是在闲置状态下插接的挡板，保护箱体内部不受污染，闲置挡板材料采用塑料材质。工作挡板上设置有进样口，在进样口上安装有乳胶套(也可为其他洁净度高、易变性的材质)，乳胶套的一端安装有弹性密封圈(例如松紧带)，保证手套箱可以和设备进样口紧密配合，适合与多种设备的进样口连接。工作挡板材料采用塑料材质。闲置时，工作挡板放置于箱体内部，将闲置挡板插接在设备接口上；工作时，将闲置挡板取下，插接上工作挡板，并通过乳胶接口与设备进样口连接。

除设置有一个设备接口30的侧面挡板之外的任一块侧面挡板上，设置有操作孔40，操作孔40上安装有手套50，手套50采用乳胶手套，形状是根据工作人员的手型设计，这样就使得工作人员可以戴上它在箱体内部自如操作。

底部挡板60包括上挡板和下挡板，上、下挡板上都设置有位置、数量都相同的出风孔，但下挡板具有左右或者前后移动自由度，这样，工作时，将下挡板向一侧移动式，上、下挡板上的出风孔对齐，形成出风通道；利于箱体内对流的净化空气排出。闲置时，将下挡板向另一侧移动式，上挡板上的出风孔被下挡板挡住，关闭出风通道。上挡板材料为塑料材质，下挡板材料为不锈钢。侧面挡板与底部挡板通过横向插槽连接，底部挡板可以在插槽里面自由插拔。

箱体的顶部设置有FFU(FanFilterUnits，风机滤网单元)10，FFU是一种具有过滤功效的模块化的末端送风装置，风机从顶部将空气吸入并经HEPA(HighefficiencyparticulateairFilter，高效空气过滤器)过滤，过滤后的洁净空气在整个出风面以匀速送出，可达到的净化级别1～10000级，根据实际的需求来选择不同规格的FFU，以达到不同的净化级别。FFU也叫高效过滤器，包括风速调节器，可以调节风速。

箱体的下部设置有支撑架70，在支撑架70下面安装滑轮80。支撑架70为不锈钢钢架，滑轮80为塑料轮，并带刹车装置，这样，就能使手套箱在工作场所自由移动，并且可以固定在工作场地。

箱体四周的侧面挡板材料采用有机玻璃或钢化玻璃，这样使得内部一目了然，视野开阔，并且均可以自由拆卸，方便内部清理以及取放物体自由。

工作原理：

1)、首先，把手套箱移动至应用场所，踩下滑轮刹车固定手套箱位置，拔下接口处的闲置挡板，插上工作挡板，把需要装载的物体(放置于带有包装的样品盒里)放置于箱体内部，然后把带有松紧带的乳胶套套在设备接口上；

2)、插上高效过滤器电源，打开底部挡板，根据具体需求调节高效过滤器的风速，使得手套箱处于工作状态，开启10分钟后，箱体内部洁净度即可达到，为了保证箱体内部洁净度，在正式工作前需要开启1小时以上；

3)、工作人员带上箱体侧面的乳胶手套，把设备的进样口打开，把需要装卸的物体放进设备，或取出来，完成后关闭设备进样口；

4)、工作人员把箱体内部的物体根据要求进行清理，需要取出来的，先放置于样品盒里，包装好，然后取出。

5)、取下接口工作挡板，放置于箱体内部，把闲置挡板插上，把底部挡板关闭，关闭高效过滤器的电源；

6)、松开滑轮刹车，把手套箱移动至预定位置放置。

由上述实施例可以看出，本实用新型的手套箱利用空气对流的方式来净化箱体内部环境，结合特殊挡板设计、接口设计、移动装置设计等，具有结构简单、功能多、效率高、灵活度高、应用面广、经济效益高、成本低等优点，可应用于实验室真空设备衬底装卸、原材料装卸、靶材装卸等等。具体优点如下：

1、结构简单，易于制造；

2、价格便宜，后续维护成本低；

3、FFU进风速度可调，根据工艺需求调节净化度，节约成本；

4、设计本着人性化、多功能性、移动灵活的理念，使其可以应用于多个工艺段；

5、箱体闲置时的保护装置设计有利于降低成本。

尽管为示例目的，已经公开了本实用新型的优选实施例，本领域的技术人员将意识到各种改进、增加和取代也是可能的，因此，本实用新型的范围应当不限于上述实施例。

Claims (5)

1.一种手套箱，其特征在于，包括：

箱体，箱体包括框架，以及安装在框架上的底部挡板和四快侧面挡板；其中，一块侧面挡板上设置有一个设备接口，设备接口设置有插槽，插槽上插接有闲置挡板或工作挡板；除设置有设备接口的侧面挡板之外的任一块侧面挡板上设置有操作孔，操作孔上安装有手套；底部挡板括上挡板和下挡板，其中，上、下挡板上都设置有位置、数量都相同的出风孔，但下挡板具有左右或者前后移动的自由度；

箱体的顶部设置有风机滤网单元FFU，风机滤网单元包括风机、风速调节器和高效空气过滤器HEPA。

2.如权利要求1所述的手套箱，其特征在于，工作挡板上设置有进样口，在进样口上安装有乳胶套，乳胶套的一端安装有弹性密封圈。

3.如权利要求1或2所述的手套箱，其特征在于，闲置挡板材料采用塑料材质；手套为乳胶手套；箱体四周的侧面挡板材料采用有机玻璃或钢化玻璃。

4.如权利要求1或2所述的手套箱，其特征在于，箱体的下部还设置有支撑架。

5.如权利要求4所述的手套箱，其特征在于，支撑架下面安装有滑轮，滑轮带刹车装置。