CN205207236U - 一种分子泵机组一键启停系统 - Google Patents

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郑荣禧
王辉
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Abstract

本实用新型提供了一种分子泵机组一键启停系统，包括：分子泵机组、真空计、断电延时继电器、控制器、一键启停开关和电源，分子泵机组包括前级泵和分子泵，前级泵通过波纹管连接至分子泵，分子泵通过过渡管道连接至真空系统，电源分别与分子泵、前级泵和控制器连接，分子泵与电源之间安装有分子泵通电开关及前级泵与所述电源之间安装有前级泵通电开关，控制器分别与分子泵通电开关、前级泵通电开关、真空计、断电延时继电器和一键启停开关连接，真空计安装在过渡管道上，断电延时继电器与分子泵连接。本实用新型实现了对分子泵机组的一键启停及其自动化。

Description

一种分子泵机组一键启停系统
技术领域
本实用新型涉及一种分子泵机组一键启停系统。
背景技术
现有的分子泵通常采用多按钮操作，在启动机组时，需先按前级泵启动按钮，启动前级泵，等到分子泵机组真空度达到一定的真空度时，再操作分子泵启动按钮，启动分子泵；在停止机组时，需先操作分子泵停止按钮，分子泵开始停止，等到分子泵安全停机后，再操作前级泵停止按钮，停止前级泵。此操作需人为的控制，比较繁琐，其中分子泵启动条件需人为判定，存在对泵不安全操作的因素，若是操作不当会引起分子泵的损坏，影响机组的寿命。
实用新型内容
为了解决上述问题，本实用新型提供了一种分子泵机组一键启停系统，包括：分子泵机组、真空计、断电延时继电器、控制器、一键启停开关和电源，分子泵机组包括前级泵和分子泵，前级泵通过波纹管连接至分子泵，分子泵通过过渡管道连接至真空系统，电源分别与分子泵、前级泵和控制器连接，分子泵与电源之间安装有分子泵通电开关及前级泵与所述电源之间安装有前级泵通电开关，控制器分别与分子泵通电开关、前级泵通电开关、真空计、断电延时继电器和一键启停开关连接，真空计安装在过渡管道上，断电延时继电器与分子泵连接。
根据上述一种分子泵机组一键启停系统，其中，前级泵通电开关为断电延时断开开关。
根据上述一种分子泵机组一键启停系统，还包括远程监视及控制设备，远程监视及控制设备与控制器连接。
根据上述一种分子泵机组一键启停系统，还包括报警器，报警器分别与控制器和电源连接。
有益效果
本实用新型公开的一种分子泵机组一键启停系统实现了对分子泵机组的一键启停及其自动化。
附图说明
图1是本实用新型公开的一种分子泵机组一键启停系统的结构示意图；
图2是本实用新型公开的分子泵机组的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细描述，但不作为对本实用新型的限定。
图1是本实用新型公开的一种分子泵机组一键启停系统的结构示意图，图2是本实用新型公开的分子泵机组的结构示意图，如图1和图2所示，本实用新型提供了一种分子泵机组一键启停系统，包括：分子泵机组01、真空计02、断电延时继电器03、控制器04、一键启停开关05和电源06，分子泵机组01包括前级泵07和分子泵08，前级泵07通过波纹管09连接至分子泵08，分子泵08通过过渡管道10连接至真空系统11，真空计02安装在过渡管道10上以检测分子泵机组01启动后的真空度，电源06分别与分子泵08、前级泵07和控制器04连接以为他们供电，分子泵08与电源06之间安装有分子泵通电开关12及前级泵07与电源06之间安装有前级泵通电开关13，其中，前级泵通电开关13为断电延时断开开关，控制器04分别与分子泵通电开关12、前级泵通电开关13、真空计02、断电延时继电器03和一键启停开关05连接，断电延时继电器03与分子泵08连接。
根据上述一种分子泵机组一键启停系统，还包括远程监视及控制设备14，远程监视及控制设备14与控制器04连接，这样就可以实现对分子泵机组的远程监视及控制。
根据上述一种分子泵机组一键启停系统，还包括报警器15，报警器15与电源06连接，由电源06为报警器供电，报警器15与控制器04，这样当分子泵机组一键启停系统启动或停止分子泵机组01时，或分子泵机组工作过程中出现异常时，控制器04根据异常信号启动报警器报警。
根据上述一种分子泵机组一键启停系统的一键开启程序如下：按下一键启停开关05，控制器04控制前级泵通电开关13启动前级泵07，真空计02测量显示真空度值，可以通过控制器04设定真空度预定值，当真空计02测量值达到此真空度预定值时，控制器04控制分子泵通电开关12启动分子泵08，这样就完成了分子泵机组的一键开启。
根据上述一种分子泵机组一键启停系统的一键停止程序如下：断开一键启停开关05，控制器04控制分子泵通电开关12断开，分子泵08开始停止，通过控制器04可以设定断电延时继电器03的断电延时时间，断电延时继电器03延时至设定时间，分子泵08停止完成，断电延时继电器03断开，由于前级泵通电开关13为断电延时断开开关，控制器04控制前级泵通电开关13断开停止前级泵07，这样就完成了分子泵机组的一键停止。
以上所述，仅是本实用新型较佳的实施方式，并非对本实用新型的技术方案做任何形式上的限制。凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例做任何简单修改，形式变化和修饰，均落入本实用新型的保护范围。

Claims (4)

1.一种分子泵机组一键启停系统，其特征在于：所述系统包括：分子泵机组、真空计、断电延时继电器、控制器、一键启停开关和电源，所述分子泵机组包括前级泵和分子泵，所述前级泵通过波纹管连接至所述分子泵，所述分子泵通过过渡管道连接至真空系统，所述电源分别与所述分子泵、所述前级泵和所述控制器连接，所述分子泵与所述电源之间安装有分子泵通电开关及所述前级泵与所述电源之间安装有前级泵通电开关，所述控制器分别与所述分子泵通电开关、所述前级泵通电开关、所述真空计、所述断电延时继电器和所述一键启停开关连接，所述真空计安装在所述过渡管道上，所述断电延时继电器与所述分子泵连接。
2.根据权利要求1所述的一种分子泵机组一键启停系统，其特征在于：所述前级泵通电开关为断电延时断开开关。
3.根据权利要求2所述的一种分子泵机组一键启停系统，其特征在于：所述系统还包括远程监视及控制设备，所述远程监视及控制设备与控制器连接。
4.根据权利要求3所述的一种分子泵机组一键启停系统，其特征在于：所述系统还包括报警器，所述报警器分别与控制器和电源连接。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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