CN205115666U - 一种用于真空设备的阀门装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于真空设备的阀门装置，该阀门装置包括：阀体，所述阀体中设置有通气管件，所述通气管件中设置有一弹簧；阀盖，连接于所述阀体的第一端，所述阀盖设置有与所述通气管件连通的排气口；所述弹簧的一端连接在所述阀盖上；阀座，连接于所述阀体的第二端，所述阀座设置有进气口；所述阀座中设置有阀片，所述阀片与所述通气管件设置有一隔离垫片。通过在阀片和弹簧之间增加了隔离垫片，增加了弹簧对阀片作用力的接触面积，减小了阀片的磨损，增加阀片寿命，提高工作效率。

Description

一种用于真空设备的阀门装置

技术领域

本实用新型涉及一种阀门装置，尤其涉及一种用于真空设备的阀门装置。

背景技术

单晶炉是生产单晶硅棒的设备，其生产过程为将装满多晶硅料的石英坩埚放入单晶炉内在负压状态下加热融化为液体硅料，再通过籽晶拉制成单晶硅，石英坩埚内的液体硅料全部被拉制成单晶硅棒，待冷却后打开单晶炉取出单晶硅棒成品。

真空泵是单晶炉上很重要的机械系统之一，单晶生产过程中，必须排除炉体内的空气以及使炉腔内达到一定的炉压，而真空泵则为其提供动力。单晶炉有四个真空主泵，主泵频率为400次/min。现有的真空主泵的阀门装置如图1所示，该阀门装置包括阀体1、分别连接阀体1两端的阀盖2和阀座3，所述阀座3设置有进气口4，所述阀盖2设置排气口5，阀体1内设置有一通气管件6，通气管件6设置有一弹簧7，所述弹簧7的一端与阀盖2连接，另一端延伸至阀座3，阀座3内还设置有一阀片8，阀片8呈平板状结构。所述阀座3的进气口4连通至气体压缩泵(附图中未示出)的出气口，气体压缩泵从炉腔内吸气经过压缩后从该阀门装置排出。具体地，当气体压缩泵从炉腔内吸气时，外部气压较大，阀片8被紧贴在阀座3底部，密封进气口4，外部空气不可进入到气体压缩泵内；当气体压缩泵对从炉腔内吸取的气体压缩然后排出时，气体压缩泵的气压较大，阀片8被从阀座3底部顶起，撞击在弹簧7以及通气管件6的端面上。气体压缩泵吸气/排气的频率为400次/min左右，阀片8在阀座3底部和弹簧7之间往复运动，可以实现气体不断排出。

如上结构的阀门装置中，由于阀片8与弹簧7的接触面积小，阀片8的厚度也较小，而工作过程中，弹簧7与阀片8不断地相互撞击，导致阀片8的磨损较大，平均2个月时间损坏一个阀片，需要更换，降低了生产效率。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的是提供一种用于真空设备的阀门装置，以解决目前的阀门装置中阀片损耗严重、寿命低的问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下的技术方案：

一种用于真空设备的阀门装置，该阀门装置包括：阀体，所述阀体中设置有通气管件，所述通气管件中设置有一弹簧；阀盖，连接于所述阀体的第一端，所述阀盖设置有与所述通气管件连通的排气口；所述弹簧的一端连接在所述阀盖上；阀座，连接于所述阀体的第二端，所述阀座设置有进气口；所述阀座中设置有阀片，所述阀片与所述通气管件设置有一隔离垫片；所述隔离垫片呈圆柱状的凸台结构，包括上方的第一圆柱部和下方的第二圆柱部，所述第一圆柱部的直径小于所述通气管件的内径，所述第一圆柱部可插入到所述通气管件中并与所述弹簧接触，所述第二圆柱部的直径大于所述通气管件的内径。

具体地，所述第一圆柱部的直径为10～20mm，所述第二圆柱部的直径比第一圆柱部的直径大5～15mm。

具体地，所述第一圆柱部的高度为3～6mm，所述第二圆柱部的高度为2～4mm。

具体地，设置于所述阀体中的通气管件，其第一端不高于所述阀体的第一端，其第二端不低于所述阀体的第二端。

具体地，设置于所述阀体中的通气管件，其第一端低于所述阀体的第一端，其第二端高于所述阀体的第二端。

具体地，所述阀盖上设置有一凸台，该凸台填充所述通气管件的第一端低于所述阀体的第一端所形成的空间。

具体地，所述阀体的第二端上设置有多个限位部，所述阀座卡合在多个限位部包围形成的空间中。

具体地，所述多个限位部呈圆周对称地分布在所述阀体的第二端上。

具体地，所述限位部的数量为3个。

具体地，所述阀盖的边缘上设置有多个螺纹紧固件，该些螺纹紧固件用于固定所述阀门装置。

相比于现有技术，本实用新型实施例提供的阀门装置中，通过在阀片和弹簧之间增加了隔离垫片，增加了弹簧对阀片作用力的接触面积，减小了阀片的磨损，增加阀片寿命，提高工作效率。

附图说明

图1是现有技术中的阀门装置的结构示意图。

图2是本实用新型实施例提供的阀门装置的结构示意图。

图3是本实用新型实施例中的隔离垫片的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行详细地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实例，而不是全部实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护范围。

在此，还需要说明的是，为了避免因不必要的细节而模糊了本实用新型，在附图中仅仅示出了与根据本实用新型的方案密切相关的结构和/或处理步骤，而省略了与本实用新型关系不大的其他细节。

如图2所示，本实施例提供了一种用于真空设备的阀门装置，该阀门装置包括阀体10、阀盖20和阀座30。其中，所述阀体10中设置有通气管件11，所述通气管件11中设置有一弹簧12。所述阀盖20连接于所述阀体10的第一端10a，所述阀盖20设置有与所述通气管件11连通的排气口21；所述弹簧12的一端连接在所述阀盖20上。所述阀座30连接于所述阀体10的第二端10b，所述阀座30设置有进气口31；所述阀座30中设置有阀片40，所述阀片40与所述通气管件11设置有一隔离垫片50。

其中，阀片40、隔离垫片50以及弹簧12三者之间是自由的(非固定连接)。所述阀座30的进气口31连通至气体压缩泵(附图中未示出)的出气口，气体压缩泵从炉腔内吸气经过压缩后从该阀门装置排出。具体地，当气体压缩泵从炉腔内吸气时，外部气压较大，阀片40和隔离垫片50掉落在阀座30底部，其中阀片40被紧贴(在大气压力下)在阀座30底部，密封进气口31，外部空气不可进入到气体压缩泵内；当气体压缩泵对从炉腔内吸取的气体压缩然后排出时，气体压缩泵的气压较大，阀片40和隔离垫片50被从阀座30底部顶起，撞击在弹簧12上。气体压缩泵吸气/排气的频率为400次/min左右，阀片40和隔离垫片50在阀座30底部和弹簧12之间往复运动，可以实现气体不断排出。

具体地，参阅图3，其中，图3中的(a)为隔离垫片50的剖面图，图3中的(b)为隔离垫片50的俯视图。所述隔离垫片50呈圆柱状的凸台结构，包括上方的第一圆柱部51和下方的第二圆柱部52，所述第一圆柱部51的直径小于所述通气管件11的内径，所述第一圆柱部51可插入到所述通气管件11中并与所述弹簧12接触，所述第二圆柱部52的直径大于所述通气管件11的内径。在本实施例中，所述第一圆柱部51的直径略小于所述通气管件11的内径，以使第一圆柱部51紧密适配于所述通气管件11中。其中，所述第一圆柱部51的直径d1可以为10～20mm，所述第二圆柱部52的直径d2比第一圆柱部51的直径d1大5～15mm。所述第一圆柱部51的高度h1可以选择为3～6mm，所述第二圆柱部52的高度h2可以选择为2～4mm。

其中，设置于所述阀体10中的通气管件11，其第一端11a应当不高于所述阀体10的第一端10a，其第二端11b应当不低于所述阀体10的第二端10b。具体地，本实施中，如图2所示的，设置于所述阀体10中的通气管件11，其第一端11a低于所述阀体10的第一端10a(凹陷于阀体10的第一端10a中)，其第二端11b高于所述阀体10的第二端10b(凸起于阀体10的第二端10b上)。

进一步地，如图2所示的，所述阀盖20上设置有一凸台22，该凸台22填充所述通气管件11的第一端11a低于所述阀体10的第一端10a所形成的空间。

进一步地，如图2所示的，所述阀体10的第二端10b上设置有多个限位部13，所述阀座30卡合在多个限位部13包围形成的空间中。具体到本实施例中，所述限位部13的数量为3个，呈圆周对称地分布在所述阀体10的第二端10b上。

进一步地，如图2所示的，所述阀盖20的边缘上设置有多个螺纹紧固件23，该些螺纹紧固件23用于固定所述阀门装置，即，将阀门装置连接至气体压缩泵(附图中未示出)。

综上所述，如上实施例提供的阀门装置中，通过在阀片和弹簧之间增加了隔离垫片，增加了弹簧对阀片作用力的接触面积，减小了阀片的磨损，增加阀片寿命，提高工作效率。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

以上所述仅是本申请的具体实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。

Claims (10)

1.一种用于真空设备的阀门装置，其特征在于，该阀门装置包括：

阀体(10)，所述阀体(10)中设置有通气管件(11)，所述通气管件(11)中设置有一弹簧(12)；

阀盖(20)，连接于所述阀体(10)的第一端(10a)，所述阀盖(20)设置有与所述通气管件(11)连通的排气口(21)；所述弹簧(12)的一端连接在所述阀盖(20)上；

阀座(30)，连接于所述阀体(10)的第二端(10b)，所述阀座(30)设置有进气口(31)；所述阀座(30)中设置有阀片(40)，所述阀片(40)与所述通气管件(11)设置有一隔离垫片(50)；

所述隔离垫片(50)呈圆柱状的凸台结构，包括上方的第一圆柱部(51)和下方的第二圆柱部(52)，所述第一圆柱部(51)的直径小于所述通气管件(11)的内径，所述第一圆柱部(51)可插入到所述通气管件(11)中并与所述弹簧(12)接触，所述第二圆柱部(52)的直径大于所述通气管件(11)的内径。

2.根据权利要求1所述的用于真空设备的阀门装置，其特征在于，所述第一圆柱部(51)的直径为10～20mm，所述第二圆柱部(52)的直径比第一圆柱部(51)的直径大5～15mm。

3.根据权利要求1所述的用于真空设备的阀门装置，其特征在于，所述第一圆柱部(51)的高度为3～6mm，所述第二圆柱部(52)的高度为2～4mm。

4.根据权利要求1-3任一所述的用于真空设备的阀门装置，其特征在于，设置于所述阀体(10)中的通气管件(11)，其第一端(11a)不高于所述阀体(10)的第一端(10a)，其第二端(11b)不低于所述阀体(10)的第二端(10b)。

5.根据权利要求4所述的用于真空设备的阀门装置，其特征在于，设置于所述阀体(10)中的通气管件(11)，其第一端(11a)低于所述阀体(10)的第一端(10a)，其第二端(11b)高于所述阀体(10)的第二端(10b)。

6.根据权利要求5所述用于真空设备的阀门装置，其特征在于，所述阀盖(20)上设置有一凸台(22)，该凸台(22)填充所述通气管件(11)的第一端(11a)低于所述阀体(10)的第一端(10a)所形成的空间。

7.根据权利要求1-3任一所述的用于真空设备的阀门装置，其特征在于，所述阀体(10)的第二端(10b)上设置有多个限位部(13)，所述阀座(30)卡合在多个限位部(13)包围形成的空间中。

8.根据权利要求7所述的用于真空设备的阀门装置，其特征在于，所述多个限位部(13)呈圆周对称地分布在所述阀体(10)的第二端(10b)上。

9.根据权利要求8所述的用于真空设备的阀门装置，其特征在于，所述限位部(13)的数量为3个。

10.根据权利要求1所述的用于真空设备的阀门装置，其特征在于，所述阀盖(20)的边缘上设置有多个螺纹紧固件(23)，该些螺纹紧固件(23)用于固定所述阀门装置。