CN205088334U - 一种自动控制硅晶炉生产的气体控制设备 - Google Patents

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Abstract

本实用新型公开了一种自动控制硅晶炉生产的气体控制设备，包括设备腔体、与所述设备腔体相连的流量控制装置、与所述流量控制装置相连的罗茨泵，以及与所述罗茨泵相连的真空泵，所述罗茨泵还连接PID控制模块，所述设备腔体还连接一压力计，所述压力计还与所述PID控制模块相连；所述流量控制装置包括多个分支管路，所述多个分支管路上均设有一阀门，所述多个分支管路的两端分别连通至所述设备腔体与罗茨泵相连，所述多个分支管路分别具有不用的内径和长度，以此来控制气体流速，所述PID控制模块通过所述压力计上的压力变化来控制所述多个分支管路上对应阀门的启闭。本实用新型采用多个分支管路来控制对应气体流量，且可根据客户需求便捷定制，不仅制造成本低，适用范围广，且设备结构简便，控制精度高，具有实用性。

Description

一种自动控制硅晶炉生产的气体控制设备
技术领域
本实用新型涉及气体流量自动控制技术领域，具体涉及一种自动控制硅晶炉生产的气体控制设备。
背景技术
现有技术的气体流量控制器需要在罗茨泵上安装变频器来控制气体流量，还需要连接一电控箱，不仅控制精度不够高，且制造成本高，设备结构复杂，亟待技术改进。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种自动控制硅晶炉生产的气体控制设备，以解决所述技术问题。
为解决所述技术问题，本实用新型的实施例提供一种自动控制硅晶炉生产的气体控制设备，包括设备腔体、与所述设备腔体相连的流量控制装置、与所述流量控制装置相连的罗茨泵，以及与所述罗茨泵相连的真空泵，所述罗茨泵还连接PID控制模块，所述设备腔体还连接一压力计，所述压力计还与所述PID控制模块相连；所述流量控制装置包括多个分支管路，所述多个分支管路上均设有一阀门，所述多个分支管路的两端分别连通至所述设备腔体与罗茨泵相连，所述多个分支管路分别具有不用的内径和长度，以此来控制气体流速，所述PID控制模块通过所述压力计上的压力变化来控制所述多个分支管路上对应阀门的启闭。
所述流量控制装置包括三个分支管路，所述三个分支管路分别对应控制的气体流量为1L/min、10L/min、100L/min。
本实用新型的所述技术方案的有益效果如下：
本实用新型采用多个分支管路来控制对应气体流量，且可根据客户需求便捷定制，不仅制造成本低，适用范围广，且设备结构简便，控制精度高，具有实用性。
附图说明
图1是本实用新型的自动控制硅晶炉生产的气体控制设备的结构示意图。
具体实施方式
为使本实用新型要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。
如图1所示，本实用新型提供一种自动控制硅晶炉生产的气体控制设备，包括设备腔体1、与所述设备腔体1相连的流量控制装置2、与所述流量控制装置2相连的罗茨泵3，以及与所述罗茨泵3相连的真空泵4，所述罗茨泵3还连接PID控制模块5，所述设备腔体1还连接一压力计6，所述压力计6还与所述PID控制模块5相连；所述流量控制装置2包括多个分支管路21，所述多个分支管路21上均设有一阀门22，所述多个分支管路21的两端分别连通至所述设备腔体1与罗茨泵3相连，所述多个分支管路21分别具有不用的内径和长度，以此来控制气体流速，所述PID控制模块5通过所述压力计6上的压力变化来控制所述多个分支管路21上对应阀门22的启闭。
所述流量控制装置2包括三个分支管路21，所述三个分支管路21分别对应控制的气体流量为1L/min、10L/min、100L/min。
本实用新型的工作过程是：设备腔体内具有一定的气体压力，当需要对设备腔体按照预设排气速度进行排气时，启动罗茨泵机组，同时PID控制模块通过感应压力变化，控制分支管路上对应阀门的启闭，实现抽气流量和速度的精准控制。
本实用新型的所述技术方案的有益效果如下：
本实用新型采用多个分支管路来控制对应气体流量，且可根据客户需求便捷定制，不仅制造成本低，适用范围广，且设备结构简便，控制精度高，具有实用性。
以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型所述原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (2)

1.一种自动控制硅晶炉生产的气体控制设备，其特征在于，包括设备腔体、与所述设备腔体相连的流量控制装置、与所述流量控制装置相连的罗茨泵，以及与所述罗茨泵相连的真空泵，所述罗茨泵还连接PID控制模块，所述设备腔体还连接一压力计，所述压力计还与所述PID控制模块相连；所述流量控制装置包括多个分支管路，所述多个分支管路上均设有一阀门，所述多个分支管路的两端分别连通至所述设备腔体与罗茨泵相连，所述多个分支管路分别具有不用的内径和长度，以此来控制气体流速，所述PID控制模块通过所述压力计上的压力变化来控制所述多个分支管路上对应阀门的启闭。
2.根据权利要求1所述的自动控制硅晶炉生产的气体控制设备，其特征在于，所述流量控制装置包括三个分支管路，所述三个分支管路分别对应控制的气体流量为1L/min、10L/min、100L/min。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107523874A (zh) * 2016-06-22 2017-12-29 江苏拜尔特光电设备有限公司 一种碳化硅单晶炉用压力控制系统

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