CN205062169U - 板材安装治具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种板材安装治具，属于半导体技术领域。本实用新型的板材安装治具包括框架，所述框架用于对板材进行吊装固定，还包括至少一个矫正单元，所述矫正单元包括支撑板以及与所述支撑板垂直设置的矫正模块，所述支撑板设置于所述框架内部，所述矫正模块能相对所述支撑板所在的平面垂直往复移动，以对所述板材进行面矫正。本实用新型的板材安装治具能够对安装在磁控溅射镀膜设备上的铜背板进行面矫正，从而使所有安装螺钉均能够与铜背板连接，避免存在未连接固定的安装螺钉碰撞磁铁，造成磁铁损坏。
Description
技术领域
本实用新型属于半导体技术领域，具体涉及一种板材安装治具。
背景技术
在半导体技术领域中，磁控溅射镀膜设备上固定安装有铜背板，铜背板表面焊接有多条平行排列的长条形靶材，用于完成对基板的镀膜工序。
发明人发现现有技术中至少存在如下问题：
铜背板由于多次运输、使用、应力作用以及矫正不到位等影响会发生变形。如图1所示，最常见的变形是铜背板1的表面向远离磁控溅射镀膜设备所在的一侧凸起，进而使得固定在铜背板1表面的靶材4相应也发生弯曲；由于磁控溅射镀膜设备上用于固定铜背板1的安装螺钉2较短，对应铜背板1向外凸起的区域的安装螺钉2连接不到铜背板1，造成对铜背板的安装不够牢固。并且，未能够与铜背板1连接的安装螺钉2容易与磁控溅射镀膜设备内的磁铁3发生碰撞，造成磁铁3损坏，给生产带来极大不便。
因此，保证安装在磁控溅射镀膜设备上的铜背板表面平整，以使所有安装螺钉均能够与铜背板连接是目前亟待解决的技术问题。
实用新型内容
本实用新型针对现有的上述技术问题，提供一种板材安装治具。该板材安装治具不仅能够固定、转移板材以使板材便于安装，还能够对变形的板材进行面矫正。
解决本实用新型技术问题所采用的技术方案是提供一种板材安装治具，包括框架，所述框架用于对板材进行吊装固定，还包括至少一个矫正单元，所述矫正单元包括支撑板以及与所述支撑板垂直设置的矫正模块，所述支撑板设置于所述框架内部，所述矫正模块能相对所述支撑板所在的平面垂直移动，以对所述板材进行面矫正。
优选的是，所述矫正模块包括压杆和压块，所述压杆穿过所述支撑板、且能相对所述支撑板所在的平面垂直往复移动，所述压块设置于所述压杆一端。
优选的是，所述矫正模块还包括伸缩部件，所述伸缩部件沿与所述压杆的轴向平行的方向设置且支撑于所述压块与所述支撑板之间。
优选的是，所述伸缩部件包括弹簧或弹簧伸缩杆，所述弹簧或弹簧伸缩杆围绕所述压杆的轴向均匀分布。
优选的是，所述支撑板上开设有螺纹通孔，所述压杆为推力螺杆，所述推力螺杆通过所述螺纹通孔穿过所述支撑板且垂直所述支撑板所在的平面。
优选的是，所述矫正模块还包括旋转手柄，所述旋转手柄固定于所述推力螺杆相对于所述压块的另一端。
优选的是，所述矫正单元设置于所述框架的安装中心点，或者多个所述矫正单元以安装中心点对称设置。
优选的是，多个所述矫正单元中的所述支撑板一体形成。
优选的是，所述压块在远离所述支撑板的一侧设置有隔垫物，所述隔垫物贴附于所述压块上。
优选的是，在所述框架上设置有吊环。
优选的是，所述框架的周边设置有螺钉或勾爪，用于固定待安装的所述板材。
本实用新型的有益效果为：
该板材安装治具能够固定、转移板材以使板材便于安装；还因为其具有矫正单元能够对安装的板材进行面矫正，从而使板材的安装获得更佳的效果。
附图说明
图1为现有的变形的铜背板固定安装在磁控溅射镀膜设备上的示意图；
图2为本实用新型的实施例1的板材安装治具(包括铜背板)结构的侧视图；
图3为图2中板材安装治具的一种结构的正视图；
图4为图2中板材安装治具的另一种结构的正视图；
图5为图2中矫正单元的局部放大图；
图6为本实用新型的实施例2的板材安装治具中矫正单元的局部放大图；
其中，附图标记为：
1、铜背板；2、安装螺钉；3、磁铁；4、靶材；5、框架；
6、吊环；7、扶手；8、支撑板；
9、矫正模块；91、推力螺杆；92、推力杆；93、压块；
94、旋转手柄；95、承压手柄；96、弹簧伸缩杆；
97、隔垫物。
具体实施方式
为使本领域技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细描述。
实施例1：
本实施例提供一种板材安装治具，该板材安装治具能够固定、转移板材以使板材便于安装；还因为其具有矫正单元能够对安装的板材进行面矫正，从而使板材的安装获得更佳的效果。
该板材安装治具包括框架，所述框架用于对板材进行吊装固定，还包括至少一个矫正单元，所述矫正单元包括支撑板以及与所述支撑板垂直设置的矫正模块，所述支撑板设置于所述框架内部，所述矫正模块能相对所述支撑板所在的平面垂直移动，以对所述板材进行面矫正。
如图2～图5所示，铜背板1左侧为磁控溅射镀膜设备的相关部件；铜背板1右侧为本实施例提供的板材安装治具。板材安装治具包括框架5，框架5的周边设置有多颗螺钉，用于对铜背板1进行安装固定。容易理解的是，框架5的周边也可以采用其它能够安装固定铜背板1的部件来替代螺钉，例如勾爪。
为了使板材安装治具具有对铜背板1的表面进行面矫正的功能，板材安装治具还包括至少一个矫正单元，矫正单元包括支撑板8以及与支撑板8垂直设置的矫正模块9，支撑板8设置于框架5内部、且与铜背板1平行设置，矫正模块9能相对支撑板8所在的平面垂直往复移动，以对铜背板1的表面进行压平。
具体的，如图3所示，板材安装治具中设置了上下两个矫正单元，每个矫正单元均包括一个支撑板8和一个矫正模块9。当然，板材安装治具的结构也可以如图4所示，将所有矫正单元中所包括的支撑板8设计成一个板状整体，以简化设计、制造过程。甚至，可以将框架5和支撑板8一体形成，增加矫正单元的强度。
如图5所示，矫正模块9包括压杆和压块93，压杆具体为推力螺杆91，支撑板8上开设有螺纹通孔，推力螺杆91通过螺纹通孔穿过支撑板8、且能相对支撑板8所在的平面垂直往复移动，压块93设置于推力螺杆91靠近铜背板1的一端。
为了使推力螺杆91相对于支撑板8旋转更容易，矫正模块9还包括旋转手柄94，旋转手柄94固定于推力螺杆91相对于压块93的另一端，用手或者其它工具旋转旋转手柄94可以控制推力螺杆91在垂直支撑板8的方向上移动，当控制推力螺杆91向铜背板1靠近时，推力螺杆91推动压块93压平铜背板1凸起的表面，使铜背板1左侧的安装螺钉2能够旋进铜背板1。
为了使压块93始终紧贴着推力螺杆91的一端，矫正模块还包括伸缩部件，伸缩部件沿与推力螺杆91的轴向平行的方向设置且支撑于压块93与支撑板8之间。具体的，伸缩部件包括2个弹簧伸缩杆96，弹簧伸缩杆96围绕推力螺杆91对称设置，每一弹簧伸缩杆96，将压块93与支撑板8连成一体。当推力螺杆91旋转着远离铜背板1时，在弹簧伸缩杆96的作用下，压块93随着推力螺杆91一并撤离铜背板1。容易理解的是，弹簧伸缩杆96的数量不仅可以为2，也可以取其它数值，只要弹簧伸缩杆96围绕推力螺杆91的轴向均匀分布即可。此外，这里也可以采用其它具有伸缩功能的部件代替弹簧伸缩杆96，例如弹簧。在本实施例的板材安装治具中，弹簧伸缩杆始终处于压缩状态。
为了防止压块93压坏铜背板1的表面，在压块93远离支撑板8的一侧设置有隔垫物97。隔垫物97贴附于压块93上、并由质软的材料形成，当压块93压向铜背板1的表面时，由压块93上的隔垫物97首先与铜背板1的表面接触，防止压块93直接与铜背板1接触。
为了使矫正单元对铜背板1进行面矫正的效果更佳，优选将多个矫正单元围绕框架5的安装中心点对称设置。当然也可以只设置一个上述矫正单元，此时将矫正单元优选设置于框架5的安装中心点可以获得最佳的技术效果。
为了使板材安装治具装载铜背板1之后便于转移，在框架5上设置有吊环6，可以通过绳索穿过吊环6，以便于起吊、转移板材安装治具。
为了使板材安装治具装载铜背板1之后便于安装在磁控溅射镀膜设备上，在框架5的下部设置有扶手7。
容易理解的是，本实施例的板材安装治具除了运用于上述铜背板之外，还可以运用于其它需要面矫正的板材，例如铁板、塑料板。
本实施例的板材安装治具能够固定、转移板材以使板材便于安装；还因为其具有矫正单元能够对安装在磁控溅射镀膜设备上的铜背板进行面矫正，从而使所有安装螺钉均能够与铜背板连接，使铜背板安装固定更牢固，更重要的是，能够避免存在未连接固定的安装螺钉碰撞磁铁而造成磁铁损坏；并且，矫正单元所包括的推力螺杆与支撑板采用螺纹连接，极大的降低了面矫正所需要的压力。
实施例2：
本实施例提供一种板材安装治具，其具有与实施例1的板材安装治具类似的结构，其与实施例1的区别在于矫正模块所包括的压杆为推力杆。
该板材安装治具的具体结构如图6所示，支撑板8上具有壁面光滑的通孔，压杆为推力杆92，推力杆92为侧面光滑的圆柱形状，推力杆92通过通孔穿过支撑板8且垂直支撑板8所在的平面。
在推力杆92相对于压块93的另一端固定有承压手柄95，对承压手柄95施加压力可以控制推力杆92推动压块93压平铜背板1的表面；撤去压力之后，压块93在伸缩部件的作用下脱离铜背板1的表面，完成对铜背板1进行面矫正的工序。本实施例提供的板材安装治具的其它结构与实施例1的板材安装治具相同，这里不再赘述。
该板材安装治具尤其适用于磁控溅射镀膜设备中对靶材的安装和矫正，在对磁控溅射镀膜设备的靶材的安装和矫正过程中，铜背板1和靶材可通过焊接形成为一体，并通过螺钉等部件将铜背板1与框架5固定在一起。
当然，本实施例的板材安装治具除了运用于上述铜背板之外，还可以运用于其它需要面矫正的板材，例如铁板、塑料板。
本实施例的板材安装治具能够固定、转移板材以使板材便于安装；还因为其具有矫正单元能够对安装在磁控溅射镀膜设备上的铜背板进行面矫正，从而使所有安装螺钉均能够与铜背板连接，使铜背板安装固定更牢固；更重要的是，能够避免存在未连接固定的安装螺钉碰撞磁铁而造成磁铁损坏。
可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。
Claims (11)
1.一种板材安装治具，包括框架，所述框架用于对板材进行吊装固定，其特征在于，还包括至少一个矫正单元，所述矫正单元包括支撑板以及与所述支撑板垂直设置的矫正模块，所述支撑板设置于所述框架内部，所述矫正模块能相对所述支撑板所在的平面垂直移动，以对所述板材进行面矫正。
2.根据权利要求1所述的板材安装治具，其特征在于，所述矫正模块包括压杆和压块，所述压杆穿过所述支撑板、且能相对所述支撑板所在的平面垂直往复移动，所述压块设置于所述压杆一端。
3.根据权利要求2所述的板材安装治具，其特征在于，所述矫正模块还包括伸缩部件，所述伸缩部件沿与所述压杆的轴向平行的方向设置且支撑于所述压块与所述支撑板之间。
4.根据权利要求3所述的板材安装治具，其特征在于，所述伸缩部件包括弹簧或弹簧伸缩杆，所述弹簧或弹簧伸缩杆围绕所述压杆的轴向均匀分布。
5.根据权利要求2所述的板材安装治具，其特征在于，所述支撑板上开设有螺纹通孔，所述压杆为推力螺杆，所述推力螺杆通过所述螺纹通孔穿过所述支撑板且垂直所述支撑板所在的平面。
6.根据权利要求5所述的板材安装治具，其特征在于，所述矫正模块还包括旋转手柄，所述旋转手柄固定于所述推力螺杆相对于所述压块的另一端。
7.根据权利要求1所述的板材安装治具，其特征在于，所述矫正单元设置于所述框架的安装中心点，或者多个所述矫正单元以安装中心点对称设置。
8.根据权利要求7所述的板材安装治具，其特征在于，多个所述矫正单元中的所述支撑板一体形成。
9.根据权利要求2所述的板材安装治具，其特征在于，所述压块在远离所述支撑板的一侧设置有隔垫物，所述隔垫物贴附于所述压块上。
10.根据权利要求1-9任一所述的板材安装治具，其特征在于，在所述框架上设置有吊环。
11.根据权利要求1-9任一所述的板材安装治具，其特征在于，所述框架的周边设置有螺钉或勾爪，用于固定待安装的所述板材。
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| CN108332692A (zh) * | 2017-12-11 | 2018-07-27 | 天津智源机械制造股份有限公司 | 一种自动杆校正夹具 |
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