CN204954670U - 一种硅片检测用固定器 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种硅片检测用固定器，包括一个中空桶状的固定器外壳，在固定器外壳的一端设置有一个吸盘，吸盘的外壁与固定器外壳对应端部之间柔性连接，在固定器外壳的另一端设置有吸盘驱动机构，吸盘驱动机构包括一个固定在固定器外壳上的固定杆以及一个转动连接在固定杆与固定器外壳连接部位的转动杆，在吸盘的中部设置有一个拉杆，拉杆与转动杆之间柔性连接；本实用新型通过一个简易的吸盘机构，在对硅片进行转移的同时，可以尽可能的降低手套给硅片带来的污损，本实用新型只通过按压就可以实现对吸盘的固定，操作也更为简易。
Description
技术领域
本实用新型属于硅片检测设备领域，具体涉及一种硅片检测用固定器。
背景技术
在对硅片进行检测时，除生产线外，一般通过人工以佩戴手套的形式进行对硅片的取放，然后因为手套本身制造工艺有限，很难保证手套在硅片的表面不会留下划痕或者手套表面的脱落物，从而影响硅片表面的光滑度，影响硅片检测数值的准确性。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种硅片检测用固定器，解决现有技术中人工拿取硅片容易对硅片表面造成污损的问题。
本实用新型采用的技术方案是：
一种硅片检测用固定器，包括一个中空桶状的固定器外壳，在所述固定器外壳的一端设置有一个吸盘，所述吸盘的外壁与固定器外壳对应端部之间柔性连接，在所述固定器外壳的另一端设置有吸盘驱动机构，吸盘驱动机构包括一个固定在固定器外壳上的固定杆以及一个转动连接在固定杆与固定器外壳连接部位的转动杆，在所述吸盘的中部设置有一个拉杆，所述拉杆与转动杆之间柔性连接。
作为本实用新型的进一步创新，在所述拉杆的端部设置有一个球头，在所述转动杆上设置有一个朝向固定器外壳内部延伸的延伸部，在所述延伸部上设置有一个与转动球头相配合的球碗。
作为本实用新型的进一步创新，所述吸盘外壁与固定器外壳之间通过一个连接胶圈连接。
作为本实用新型的进一步创新，在所述吸盘的外缘侧对应吸盘内壁面的位置粘黏有一个柔性密封圈，柔性密封圈的硬度小于吸盘的硬度。
作为本实用新型的进一步创新，在所述转动杆与固定杆之间设置有舒张弹簧。
本实用新型的有益效果是：
1、本实用新型通过一个简易的吸盘机构，在对硅片进行转移的同时，可以尽可能的降低手套给硅片带来的污损，本实用新型只通过按压就可以实现对吸盘的固定，操作也更为简易。
2、球头与球碗配合的连接机构相比于其他具有一定弹性的柔性连接机构具有更好的抗拉伸性，同时也不容易让因为连接机构的变形而使得吸盘发生脱落。
3、柔性胶圈可以弥补一些凹凸不平的表面，使得本固定机构在一些毛胚状态下的硅片上也能有较好的固定效果。
4、弹簧可以使得转动杆与固定杆之间自动回位，使得吸盘从硅片表面脱落。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
图中：固定器外壳1、吸盘2、连接胶圈3、柔性密封圈4、固定杆5、转动杆6、舒张弹簧7、球碗8、转动球头9、拉杆10。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行详细说明。
一种硅片检测用固定器，包括一个中空桶状的固定器外壳1，在所述固定器外壳1的一端设置有一个吸盘2，所述吸盘2的外壁与固定器外壳1对应端部之间柔性连接，在所述固定器外壳1的另一端设置有吸盘2驱动机构，吸盘2驱动机构包括一个固定在固定器外壳1上的固定杆5以及一个转动连接在固定杆5与固定器外壳1连接部位的转动杆6，在所述转动杆6与固定杆5之间设置有舒张弹簧7，在所述吸盘2的中部设置有一个拉杆10，在所述拉杆10的端部设置有一个球头9，在所述转动杆6上设置有一个朝向固定器外壳1内部延伸的延伸部，在所述延伸部上设置有一个与转动球头9相配合的球碗8；
所述吸盘2外壁与固定器外壳1之间通过一个连接胶圈3连接；
在所述吸盘2的外缘侧对应吸盘2内壁面的位置粘黏有一个柔性密封圈4，柔性密封圈4的硬度小于吸盘2的硬度；
固定式，通过按压转动杆6，通过球头机构拉动拉杆10，使得吸盘2表面与硅片表面之间的空隙体积变大，空气浓度变低，负压变高，实现对硅片的吸附固定，放松时，通过舒张弹簧7回位拉杆10，使得吸盘2中部被拉杆10顶出，使得空隙体积变小，实现对吸盘2的放松。
本产品的技术进步有：
1、本实用新型通过一个简易的吸盘机构，在对硅片进行转移的同时，可以尽可能的降低手套给硅片带来的污损，本实用新型只通过按压就可以实现对吸盘的固定，操作也更为简易。
2、球头与球碗配合的连接机构相比于其他具有一定弹性的柔性连接机构具有更好的抗拉伸性，同时也不容易让因为连接机构的变形而使得吸盘发生脱落。
3、柔性胶圈可以弥补一些凹凸不平的表面，使得本固定机构在一些毛胚状态下的硅片上也能有较好的固定效果。
4、弹簧可以使得转动杆与固定杆之间自动回位，使得吸盘从硅片表面脱落。
以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
Claims (5)
1.一种硅片检测用固定器，其特征是：包括一个中空桶状的固定器外壳，在所述固定器外壳的一端设置有一个吸盘，所述吸盘的外壁与固定器外壳对应端部之间柔性连接，在所述固定器外壳的另一端设置有吸盘驱动机构，吸盘驱动机构包括一个固定在固定器外壳上的固定杆以及一个转动连接在固定杆与固定器外壳连接部位的转动杆，在所述吸盘的中部设置有一个拉杆，所述拉杆与转动杆之间柔性连接。
2.如权利要求1所述的一种硅片检测用固定器，其特征是：在所述拉杆的端部设置有一个球头，在所述转动杆上设置有一个朝向固定器外壳内部延伸的延伸部，在所述延伸部上设置有一个与转动球头相配合的球碗。
3.如权利要求1所述的一种硅片检测用固定器，其特征是：所述吸盘外壁与固定器外壳之间通过一个连接胶圈连接。
4.如权利要求1所述的一种硅片检测用固定器，其特征是：在所述吸盘的外缘侧对应吸盘内壁面的位置粘黏有一个柔性密封圈，柔性密封圈的硬度小于吸盘的硬度。
5.如权利要求1所述的一种硅片检测用固定器，其特征是：在所述转动杆与固定杆之间设置有舒张弹簧。
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108515458A (zh) * | 2018-04-17 | 2018-09-11 | 重庆科技学院 | 一种电镜观察金属打磨夹具 |
| CN110682018A (zh) * | 2019-10-11 | 2020-01-14 | 王华珍 | 一种半导体晶片用激光加工机床 |
| CN111216069A (zh) * | 2019-12-09 | 2020-06-02 | 中航沈飞民用飞机有限责任公司 | 真空吸盘式压紧器 |
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| CN110682018B (zh) * | 2019-10-11 | 2021-07-20 | 威海爱来福半导体科技有限公司 | 一种半导体晶片用激光加工机床 |
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