CN204902058U - 基于水平层流送风的百级洁净室净化系统 - Google Patents
基于水平层流送风的百级洁净室净化系统 Download PDFInfo
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Abstract
本案涉及基于水平层流送风的百级洁净室净化系统，包括：送风单元，其包括多个纵置的风机过滤机组，送风单元的出风端位于洁净室内部一侧，吸风端位于洁净室外部；回风单元，其包括多个送风通道，送风通道连接送风单元的吸风端；其中，在靠近出风端的一侧设置有导风板，导风板由多个导风片平行间隔叠放而成，导风片表面覆有吸附层。本案通过在出风端设置导风板，增加了送风单元的使用灵活度，使得其可以根据实际需要进行风向上的调节，且导风板可以增加气流的平稳度，导风片表面的吸附层可以增加除尘和消音的功能；送风单元结构的改进，提高了装置的结构牢固性和密封效果，使得整个装置组装快捷方便，实用性强，利于进行模块化生产和模块化组装。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种洁净室净化装置，特别是涉及一种基于水平层流送风的百级洁净室净化系统，尤其涉及一种用于薄膜生产领域的基于水平层流送风的百级洁净室净化系统。
背景技术
汽车反光膜、平板显示器保护膜等的制造和加工，其精度、纯度要求很严，通常都在洁净环境中生产。这种洁净环境要求随着产品指标的提高而不断提高。原来在万级条件下的生产环境，现在普遍提高到千级，甚至是百级。另一方面，考虑到薄膜生产过程的特殊性，若直接套用常用的垂直送风形式，存在着不少弊端：
1)对于整条生产线，薄膜上表面和下表面保护气流不对称：从附图1可以看出，垂直的由上而下的平行气流，仅对薄膜生产过程中的上表面有洁净保护作用，而对薄膜的下表面及下部运动的薄膜洁净风无法直接吹到表面，因此很难或根本无法起到洁净保护作用；
2)因气流被横向的薄膜卷材所阻挡，整体流向发生明显变化，所以，很容易造成旋流多，死角多，难以提高洁净等级，如附图2所示；
3)风机过滤机组(FFU)用量大，能耗高，投入和运营成本高。
实用新型内容
针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于最大程度地提高平行流(层流)的实际效能，本案采用水平层流的送风模式。洁净送风气流与薄膜产品的走向平行，使得所有的薄膜生产过程的暴露面均内得到很好的保护，使自净时间大大缩短，如附图3所示。
但若要将现有技术中的垂直送风装置改为水平送风装置，需要克服多个结构上的难题，如密封性、稳定性、组装便捷性、使用灵活性等等，否则将导致洁净的效果难以达到百级，且适用面窄，组装效率低下。因此，本实用新型的另一目的在于通过对百级洁净室净化系统结构上的改进，来提高它的结构稳定性、净化能力和效率、组装便捷度，增加它的使用灵活性，以期能够使该净化系统实现模块化生产、组装和多场合应用。
为实现上述目的，本实用新型通过以下技术方案实现：
一种基于水平层流送风的百级洁净室净化系统，包括：
送风单元，其包括多个纵置的风机过滤机组，所述纵置的风机过滤机组用于提供水平层流风向，所述送风单元的出风端位于洁净室内部一侧，所述送风单元的吸风端位于洁净室外部；
回风单元，其设置在所述洁净室与所述送风单元的出风端相对的另一侧，包括多个送风通道，所述送风通道连接所述送风单元的吸风端；
其中，在靠近所述送风单元出风端的一侧设置有导风板，所述导风板由多个能够自由转动的导风片平行间隔叠放而成，所述导风片表面覆有吸附层。
优选的是，所述的基于水平层流送风的百级洁净室净化系统，其中，所述导风板与所述送风单元的出风端间隔0.2～1.2米。
优选的是，所述的基于水平层流送风的百级洁净室净化系统，其中，所述送风单元还包括：
框体，其由多个立柱和多个横梁围设成矩形网格并垂直于地面，每个网格设有容置所述风机过滤机组的空腔；所述风机过滤机组分别安置在所述每个网格的空腔内；在所述风机过滤机组与地面垂直的两个相对的侧面上分别设置为吸风面和出风面；多个风机过滤机组中的出风面通过连接件被拼接为所述的送风单元的出风端；所述横梁朝向所述吸风面的一侧开设有槽口；
收紧机构，其包括扣压板和丝杆，所述扣压板竖直贴设于所述风机过滤机组的吸风面上，所述丝杆穿过所述扣压板，所述丝杆的两端分别设有螺母，其中一端的螺母插入所述横梁的槽口内，另一端的螺母通过旋拧的方式使扣压板实现对多个风机过滤机组的收紧锁固；
其中，所述连接件与所述出风面的接触面上设置有密封层。
优选的是，所述的基于水平层流送风的百级洁净室净化系统，其中，所述扣压板为一体成型。
优选的是，所述的基于水平层流送风的百级洁净室净化系统，其中，所述连接件为T型龙骨。
优选的是，所述的基于水平层流送风的百级洁净室净化系统，其中，所述风机过滤机组与所处网格之间的缝隙处填充有密封垫片。
优选的是，所述的基于水平层流送风的百级洁净室净化系统，其中，所述吸附层为海绵层。
本实用新型的有益效果是：1)通过在出风端设置导风板，增加了送风单元的使用灵活度，使得其可以根据实际需要进行风向上的调节，且导风板可以增加气流的平稳度，导风片表面的吸附层可以增加除尘和消音的功能；2)送风单元结构的改进，克服了无法像垂直送风装置中依赖重力实现密封的缺陷，提高了装置的结构牢固性和密封效果，使得整个装置能够更加高效、平稳地运行，减小了局部抖动而产生的噪音，组装快捷方便，实用性强，利于进行模块化生产和模块化组装。
附图说明
图1为应用在薄膜生产领域的采用垂直送风形式的示意图。
图2为应用在薄膜生产领域的采用垂直送风时室内气流状况的示意图。
图3为应用在薄膜生产领域的采用水平层流送风时室内气流状况示意图。
图4为基于水平层流送风的百级洁净室净化系统的结构示意图。
图5为百级洁净室净化系统中送风单元的背视图。
图6为百级洁净室净化系统中送风单元的剖视图。
图7为百级洁净室净化系统中导风板的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。
如图4-7所示，本案提供一实施例的基于水平层流送风的百级洁净室净化系统，包括：
送风单元1，其包括多个纵置的风机过滤机组2，纵置的风机过滤机组用于提供水平层流风向，此处的纵置是相对于现有技术中采用吊顶式的FFU为横置形式而言的；送风单元1的出风端3位于洁净室内部一侧，送风单元1的吸风端4位于洁净室外部；
回风单元5，其设置在洁净室与送风单元1的出风端3相对的另一侧，包括多个送风通道6，送风通道6连接送风单元1的吸风端4；
其中，在靠近送风单元出风端3的一侧设置有导风板7，导风板7由多个能够自由转动的导风片8平行间隔叠放而成，导风片8与导风片8之间的间距不受限制，导风片8表面覆有吸附层9。洁净室一般用作生产车间，而有时生产车间内实际进行生产的产品是不断变化的，因而，其所需要的净化气流也非一成不变的，有时需要绝对水平的层流，而有时则需要气流具有一定的倾斜度。若将导风功能内置在FFU内，则需要较高的投入成本，且维修不方便，与FFU的集成度要求较高。而若将导风板单独设立出来，并置于出风端3前，则有以下好处：1)风向调节灵活方便，可手动调节或电动调节；2)增加出风气流的平缓度，以利于精密型的加工生产；3)降低气流产生的噪音；4)吸附层帮助吸附颗粒灰尘，并利于平稳气流，减小噪音。
在上述实施例中，导风板7与送风单元的出风端3间隔0.2～1.2米。当然，导风板7与出风端3的距离应受到限制，若距离太近，则易导致出风不畅，若距离太远，将降低导风板7对气流的影响效果。
在上述实施例中，送风单元还包括：
框体10，其由多个立柱11和多个横梁12围设成矩形网格并垂直于地面，每个网格设有容置风机过滤机组2的空腔；风机过滤机组2分别安置在每个网格的空腔内；在风机过滤机组2与地面垂直的两个相对的侧面上分别设置为吸风面21和出风面22；多个风机过滤机组2中的出风面22通过连接件13被拼接为送风单元的出风端3；横梁12朝向吸风面21的一侧开设有槽口14；
收紧机构，其包括扣压板15和丝杆16，扣压板15竖直贴设于风机过滤机组2的吸风面21上，丝杆16穿过扣压板15，丝杆16的两端分别设有螺母17，其中一端的螺母17插入横梁12的槽口14内，另一端的螺母17通过旋拧的方式使扣压板15实现对多个风机过滤机组2的收紧锁固；
其中，连接件13与出风面22的接触面上设置有密封层18。
上述结构使得送风单元在运行时装置本身更加稳定牢固，且组装灵活便捷。
在上述实施例中，扣压板15优选为一体成型结构，因为这样能够获得高结构强度，且组装时更快捷。
在上述实施例中，连接件13优选为T型龙骨。
在上述实施例中，风机过滤机组2与所处网格之间的缝隙处还填充有密封垫片19。它能进一步保证洁净室的密封效果，从而确保循环的气流不污染室内洁净度。
在上述实施例中，吸附层9优选为海绵层。海绵具有吸附细小颗粒和消音的功能。此处海绵层的厚度不受限制。
本案涉及的净化系统应用于洁净室后，能达到百级洁净度，相较于垂直送风装置，自净时间大大缩短，而且，在相同体积空间内达到同样的洁净度所需要使用的FFU数量也降低了35％以上。
尽管本实用新型的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用，它完全可以被适用于各种适合本实用新型的领域，对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本实用新型并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。
Claims (7)
1.一种基于水平层流送风的百级洁净室净化系统，其特征在于，包括：
送风单元，其包括多个纵置的风机过滤机组，所述纵置的风机过滤机组用于提供水平层流风向，所述送风单元的出风端位于洁净室内部一侧，所述送风单元的吸风端位于洁净室外部；
回风单元，其设置在所述洁净室与所述送风单元的出风端相对的另一侧，包括多个送风通道，所述送风通道连接所述送风单元的吸风端；
其中，在靠近所述送风单元出风端的一侧设置有导风板，所述导风板由多个能够自由转动的导风片平行间隔叠放而成，所述导风片表面覆有吸附层。
2.如权利要求1所述的基于水平层流送风的百级洁净室净化系统，其特征在于，所述导风板与所述送风单元的出风端间隔0.2～1.2米。
3.如权利要求1所述的基于水平层流送风的百级洁净室净化系统，其特征在于，所述送风单元还包括：
框体，其由多个立柱和多个横梁围设成矩形网格并垂直于地面，每个网格设有容置所述风机过滤机组的空腔；所述风机过滤机组分别安置在所述每个网格的空腔内；在所述风机过滤机组与地面垂直的两个相对的侧面上分别设置为吸风面和出风面；多个风机过滤机组中的出风面通过连接件被拼接为所述的送风单元的出风端；所述横梁朝向所述吸风面的一侧开设有槽口；
收紧机构，其包括扣压板和丝杆，所述扣压板竖直贴设于所述风机过滤机组的吸风面上，所述丝杆穿过所述扣压板，所述丝杆的两端分别设有螺母，其中一端的螺母插入所述横梁的槽口内，另一端的螺母通过旋拧的方式使扣压板实现对多个风机过滤机组的收紧锁固；
其中，所述连接件与所述出风面的接触面上设置有密封层。
4.如权利要求3所述的基于水平层流送风的百级洁净室净化系统，其特征在于，所述扣压板为一体成型。
5.如权利要求3所述的基于水平层流送风的百级洁净室净化系统，其特征在于，所述连接件为T型龙骨。
6.如权利要求3所述的基于水平层流送风的百级洁净室净化系统，其特征在于，所述风机过滤机组与所处网格之间的缝隙处填充有密封垫片。
7.如权利要求1所述的基于水平层流送风的百级洁净室净化系统，其特征在于，所述吸附层为海绵层。
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| CN107965858A (zh) * | 2017-12-29 | 2018-04-27 | 信息产业电子第十设计研究院科技工程股份有限公司 | 一种高大空间实验室内环境均匀性及精确控制的空调系统 |
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