CN204885080U - 用于极微焦点x射线管的多级聚焦阴极电子枪 - Google Patents

用于极微焦点x射线管的多级聚焦阴极电子枪 Download PDF

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CN204885080U CN201520421572.7U CN201520421572U CN204885080U CN 204885080 U CN204885080 U CN 204885080U CN 201520421572 U CN201520421572 U CN 201520421572U CN 204885080 U CN204885080 U CN 204885080U
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刘骏
吴爱军
王刘成
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WUXI UNICOMP TECHNOLOGY Co Ltd
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Abstract

本实用新型公开了一种用于极微焦点X射线管的多级聚焦阴极电子枪,其包括芯柱、热子、热子支撑座、第一级栅、第二级栅和第三级栅,其中,所述芯柱上设置有若干根电极,所述芯柱上的部分电极与所述热子支撑座相连接,所述热子安装于所述热子支撑座上,所述热子与所述芯柱上的电极连接,所述第一级栅与所述热子支撑座相连接,所述第二级栅与所述第一级栅连接,所述第三级栅与所述第二级栅连接。上述多级聚焦阴极电子枪的热子点亮,发射电子,第一级栅加负电压汇聚电子,第二级栅加1500V高压加速电子并控制管流,第三级栅汇聚电子流并在100KV的高压电场作用下,热电子流在18mm行程处的汇聚焦点可达到5μm,使焦点5μm管电压为100KV的X射线管成为可能。

Description

用于极微焦点X射线管的多级聚焦阴极电子枪
技术领域
本实用新型涉及一种电子枪,尤其涉及一种用于极微焦点X射线管的多级聚焦阴极电子枪。
背景技术
目前,国内生产的X射线管均为大焦点X射线管,其最小焦点可做到0.3mm×0.3mm;普遍用于医疗卫生和大功率工艺探伤,安检等领域。随着科技领域的不断发展,出现了表面贴装(即SMT)技术。使用SMT技术可使电子产品缩小体积40~60%、减轻重量60~80%。但随之而来的便是传统的检测手段,普通焦点X光机等已不能满足现有生产产品的质量及可靠性的要求,尤其是对元器件内部的缺陷无法查明。这样就出现了新的检测手段,微焦点X射线机,这种设备的核心器件是微焦点X射线管,这种光管焦点的大小又取决于阴极电子枪(即光管的阴极组件),要想做出小焦点的X射线管,就必须要极细的电子流,目前国内还没有焦点<300μm的X射线管。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种用于极微焦点X射线管的多级聚焦阴极电子枪,其能够产生极微焦点,以解决现有技术中普通焦点X光机存在的上述问题。
为达此目的,本实用新型采用以下技术方案:
一种用于极微焦点X射线管的多级聚焦阴极电子枪,其包括芯柱、热子、热子支撑座、第一级栅、第二级栅和第三级栅,其中,所述芯柱上设置有若干根电极,所述芯柱上的部分电极与所述热子支撑座相连接,所述热子安装于所述热子支撑座上,所述热子与所述芯柱上的电极连接,所述第一级栅与所述热子支撑座相连接,所述第二级栅与所述第一级栅连接,所述第三级栅与所述第二级栅连接。
特别地,所述芯柱由玻璃制成,其上设置有十一个电极,其中三个电极与所述热子支撑座相连接。
特别地,所述热子为旁热式钡钨阴极。
特别地,所述热子上的两个电极与所述芯柱上的两个电极连接。
特别地,所述热子支撑座与所述第一级栅采用金属化陶瓷连接并绝缘。
特别地,所述第二级栅与所述第一级栅采用金属化陶瓷连接并绝缘。
特别地,所述第三级栅与所述第二级栅采用金属化陶瓷连接并绝缘。
特别地,所述热子支撑座、所述第一级栅、第二级栅和第三级栅采用纯钼金属加工制作。
本实用新型的有益效果为,与现有技术相比用于极微焦点X射线管的多级聚焦阴极电子枪在100KV的高压电场作用下,热电子流的在18mm行程处的汇聚焦点可达到5μm,使焦点5μm管电压为100KV的X射线管成为可能。
附图说明
图1是本实用新型具体实施方式1提供的用于极微焦点X射线管的多级聚焦阴极电子枪的立体结构示意图。
图中:
1、玻璃芯柱;2、热子;3、热子支撑座;4、第一级栅;5、第二级栅;6、第三级栅。
具体实施方式
下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。
请参阅图1所示,图1是本实用新型具体实施方式1提供的用于极微焦点X射线管的多级聚焦阴极电子枪的立体结构示意图。
本实施例中,一种用于极微焦点X射线管的多级聚焦阴极电子枪包括玻璃芯柱1、热子2、热子支撑座3、第一级栅4、第二级栅5和第三级栅6,所述玻璃芯柱1上设置有十一根电极,所述玻璃芯柱1上的三个电极与所述热子支撑座3相连接,所述热子2为旁热式钡钨阴极,安装于所述热子支撑座3上,所述热子2上的两个电极与所述玻璃芯柱1上的两个电极连接。所述热子支撑座3与所述第一级栅4采用金属化陶瓷连接并绝缘,所述第二级栅5与所述第一级栅4采用金属化陶瓷连接并绝缘,所述第三级栅6与所述第二级栅5采用金属化陶瓷连接并绝缘。
所述热子支撑座3、所述第一级栅4、第二级栅5和第三级栅6采用纯钼金属加工制作。
上述多级聚焦阴极电子枪的热子2点亮,发射电子,第一级栅4加负电压汇聚电子,第二级栅5加1500V高压加速电子并控制管流,第三级栅6汇聚电子流并在100KV的高压电场作用下,热电子流在18mm行程处的汇聚焦点可达到5μm,使焦点5μm管电压为100KV的x射线管成为可能。
以上实施例只是阐述了本实用新型的基本原理和特性,本实用新型不受上述事例限制,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还有各种变化和改变,这些变化和改变都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (8)

1.一种用于极微焦点X射线管的多级聚焦阴极电子枪,其包括芯柱、热子、热子支撑座、第一级栅、第二级栅和第三级栅,其特征在于,所述芯柱上设置有若干根电极,所述芯柱上的部分电极与所述热子支撑座相连接,所述热子安装于所述热子支撑座上,所述热子与所述芯柱上的电极连接,所述第一级栅与所述热子支撑座相连接,所述第二级栅与所述第一级栅连接,所述第三级栅与所述第二级栅连接。
2.根据权利要求1所述的用于极微焦点X射线管的多级聚焦阴极电子枪,其特征在于,所述芯柱由玻璃制成,其上设置有十一个电极,其中三个电极与所述热子支撑座相连接。
3.根据权利要求1所述的用于极微焦点X射线管的多级聚焦阴极电子枪,其特征在于,所述热子为旁热式钡钨阴极。
4.根据权利要求1所述的用于极微焦点X射线管的多级聚焦阴极电子枪,其特征在于,所述热子上的两个电极与所述芯柱上的两个电极连接。
5.根据权利要求1所述的用于极微焦点X射线管的多级聚焦阴极电子枪,其特征在于,所述热子支撑座与所述第一级栅采用金属化陶瓷连接并绝缘。
6.根据权利要求1所述的用于极微焦点X射线管的多级聚焦阴极电子枪,其特征在于,所述第二级栅与所述第一级栅采用金属化陶瓷连接并绝缘。
7.根据权利要求1所述的用于极微焦点X射线管的多级聚焦阴极电子枪,其特征在于,所述第三级栅与所述第二级栅采用金属化陶瓷连接并绝缘。
8.根据权利要求1所述的用于极微焦点X射线管的多级聚焦阴极电子枪,其特征在于,所述热子支撑座、所述第一级栅、第二级栅和第三级栅采用纯钼金属加工制作。
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CN104934284A (zh) * 2015-06-17 2015-09-23 无锡日联科技有限公司 用于极微焦点x射线管的多级聚焦阴极电子枪

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