CN204834581U - 一种防止单晶硅片片盒错误放置的工装 - Google Patents

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高烨
李宏儒
赵文龙
胡晓亮
崔小换
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卓元
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Abstract

一种防止单晶硅片片盒错误放置的工装,该单晶硅片片盒的U型面为正确的放置端,U型面上设置有U型凹槽和长方形凹槽Ⅰ,所述工装包括底座基板,底座基板上设有U型凸起和长方形凸起,且U型凸起和长方形凸起同时插入到U型凹槽和长方形凹槽Ⅰ中,以使U型面放置端固定在底座基板上。本工装加工工艺简单,操作方便,克服了粘片过程中硅片粘反的情况,明显地杜绝了加工失误,降低生产损失。

Description

一种防止单晶硅片片盒错误放置的工装
技术领域
本实用新型涉及硅单晶抛光片生产技术领域,具体地说是涉及一种防止单晶硅片片盒错误放置的工装。
背景技术
硅单晶抛光片生产工序中,粘片岗位是不可缺少的重要岗位,也是抛光工序的首要岗位,而片盒是硅单晶抛光片生产过程中各个工序相互传递硅片必须需要的物品,单晶硅片每25片放置在一个片盒中从切磨车间运送到抛光车间准备进行抛光生产,粘片岗位员工对每盒硅片清洗后开始进行粘片,然后进行抛光。
目前粘片时直接把片盒放置在工作台上进行粘片,由于硅片分正反面,片盒分U面和H面,硅片正面放置在片盒的H面,这样把片盒H面朝上放置在工作台上,粘片操作工依次从H面取硅片放置粘片模具进行粘片,如果操作工工作中出现失误,把片盒U面朝上放置,就会造成把硅片正反面粘反,抛光后造成硅片报废,产生损失。
实用新型内容
本实用新型主要是为解决上述存在的问题,提供一种防止单晶硅片片盒错误放置的工装,本工装直接放在工作台上,只有片盒H面朝上,U面朝下才能放置在片盒放置器中正常进行粘片操作,否则片盒不能平稳放置,粘片不能正常进行,有效避免了片盒U面与H面放反造成的加工损失。
为解决上述存在的问题,本实用新型所采用的技术方案是:
一种防止单晶硅片片盒错误放置的工装,该单晶硅片片盒的U型面为正确的放置端,U型面上设置有U型凹槽和长方形凹槽Ⅰ,所述工装包括底座基板,底座基板上设有U型凸起和长方形凸起,且U型凸起和长方形凸起同时插入到U型凹槽和长方形凹槽Ⅰ中,以使U型面放置端固定在底座基板上。
进一步地,所述U型凸起、长方形凸起与基板为一体成型结构。
进一步地,所述U型凸起和长方形凸起均焊接在基板上。
进一步地,所述U型凸起和长方形凸起均粘结在基板上。
进一步地,所述U型凸起和长方形凸起的材质为橡胶或塑料。
进一步地,所述底座基板、U型凸起和长方形凸起均采用有机玻璃材料加工制成。
本实用新型所带来的有益效果为:加工工艺简单,操作方便,克服了粘片过程中硅片粘反的情况,明显地杜绝了加工失误,降低生产损失。
附图说明
图1是片盒的U型面;
图2是片盒的H型面;
图3是本实用新型的主视图;
图4是本实用新型的侧视图。
图中标记:1、基板,2、U型凸起,3、长方形凸起,4、U型面,401、U型凹槽,402、长方形凹槽Ⅰ,5、H型面,501、H型凹槽,502、长方形凹槽Ⅱ。
具体实施方式
下面结合附图及具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。
如图所示,一种防止单晶硅片片盒错误放置的工装,该单晶硅片片盒的U型面4为正确的放置端,U型面4上设置有U型凹槽401和长方形凹槽Ⅰ402,该单晶硅片片盒的H型面5为错误的放置端,H型面5上设置有H型凹槽501和长方形凹槽Ⅱ502,所述工装包括底座基板1,底座基板1上设有U型凸起2和长方形凸起3,且U型凸起2和长方形凸起3同时插入到U型凹槽401和长方形凹槽Ⅰ402中,以使U型面4放置端固定在底座基板1上;当H型面5朝下放置,U型凸起2不能完全卡进H型凹槽501内,片盒放置不稳。
所述U型凸起2、长方形凸起3与基板1为一体成型结构。
作为另一种改进,所述U型凸起2和长方形凸起3均焊接在基板1上。
作为另一种改进,所述U型凸起2和长方形凸起3均粘结在基板1上。
作为另一种改进,所述U型凸起2和长方形凸起3的材质为橡胶或塑料。
所述底座基板1、U型凸起2和长方形凸起3均采用有机玻璃材料加工制成。
所述基板1选用长条形有机玻璃。

Claims (6)

1.一种防止单晶硅片片盒错误放置的工装,该单晶硅片片盒的U型面(4)为正确的放置端,U型面(4)上设置有U型凹槽(401)和长方形凹槽Ⅰ(402),其特征在于:所述工装包括底座基板(1),底座基板(1)上设有U型凸起(2)和长方形凸起(3),且U型凸起(2)和长方形凸起(3)同时插入到U型凹槽(401)和长方形凹槽Ⅰ(402)中,以使U型面(4)放置端固定在底座基板(1)上。
2.根据权利要求1所述的一种防止单晶硅片片盒错误放置的工装,其特征在于:所述U型凸起(2)、长方形凸起(3)与基板(1)为一体成型结构。
3.根据权利要求1所述的一种防止单晶硅片片盒错误放置的工装,其特征在于:所述U型凸起(2)和长方形凸起(3)均焊接在基板(1)上。
4.根据权利要求1所述的一种防止单晶硅片片盒错误放置的工装,其特征在于:所述U型凸起(2)和长方形凸起(3)均粘结在基板(1)上。
5.根据权利要求1所述的一种防止单晶硅片片盒错误放置的工装,其特征在于:所述U型凸起(2)和长方形凸起(3)的材质为橡胶或塑料。
6.根据权利要求1所述的一种防止单晶硅片片盒错误放置的工装,其特征在于:所述底座基板(1)、U型凸起(2)和长方形凸起(3)均采用有机玻璃材料加工制成。
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