CN204786450U - 一种pecvd尾气处理装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种PECVD尾气处理装置，包括PECVD尾气进气管、与所述PECVD管的末端相连且底部设有检修口的燃烧筒、净化塔以及连接所述燃烧筒和所述净化塔的燃烧筒排气管，其特征在于：所述的PECVD尾气进气管上设有CDA吹扫旁通管；所述的检修口处设有粉尘清理收集装置。本实用新型的装置可简化PECVD尾气燃烧处理后，对燃烧筒的二氧化硅粉尘的清理过程，减轻对环境的污染及对人体的危害。

Description

一种PECVD尾气处理装置

技术领域

本实用新型涉及光伏行业，具体涉及一种PECVD尾气处理装置。

背景技术

在晶体硅太阳能电池的制造过程中，通常采用等离子体增强化学气相沉积法制造减反射膜(例如氮化硅膜)。等离子体增强化学气相沉积法简称为PECVD(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition)，其利用强电场，使所需的气体源分子电离产生等离子体，等离子体中含有很多活性很高的化学基团，这些基团经过经一系列化学反应，在硅片表面形成固态薄膜。

目前光伏行业中的处理PECVD设备排放的硅烷、氨气等尾气的装置如图1所示，包括PECVD尾气进气管1、与其相连的燃烧筒2和与燃烧筒通过燃烧筒排气管3相连的净化塔4。在进行尾气处理时，PECVD尾气首先通过进气管1进入燃烧筒2；尾气中的硅烷在燃烧筒2内燃烧，进行处理；处理后的气体再通过燃烧筒排气管3，进入净化塔4。

PECVD尾气在燃烧筒中的燃烧过程中，会产生大量的二氧化硅粉尘。现在的清理方式是人工拆卸检修口，然后对桶内粉尘进行清理。这种方法难以对这些二氧化硅进行完全的收集，还易产生大量扬尘，不仅造成环境污染，更造成对操作人员的健康危害。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种PECVD尾气的处理装置，可简化PECVD尾气燃烧处理后，对燃烧筒的二氧化硅粉尘的清理过程，减轻对环境的污染及对人体的危害。

为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案如下：

一种PECVD尾气处理装置，包括PECVD尾气进气管、与所述PECVD尾气进气管的末端相连且底部设有检修口的燃烧筒、净化塔以及连接所述燃烧筒和所述净化塔的燃烧筒排气管，其特征在于：所述的PECVD尾气进气管上设有CDA吹扫旁通管，设CDA吹扫旁通管的目的是：通过通入CDA气体，吹扫清理燃烧筒的内壁粉尘；所述的检修口处设有粉尘清理收集装置。

具体地，所述的粉尘清理收集装置包括水箱和收集滤袋，其中所述的水箱包括A槽和B槽，所述的A槽和所述的B槽间设有溢流管，所述的收集滤袋设在所述的溢流管在位于所述A槽中的一端上；设置收集滤袋用于固液分离，将二氧化硅粉尘收集在滤袋中，滤液则流至水箱的A槽；

所述的B槽与所述的检修口通过燃烧筒排废管相连。

优选地，所述的水箱上还设有气动泵，所述的气动泵连通水箱的A槽和B槽。气动泵用于将A槽内的水重新排入B槽，进行循环利用。

优选地，所述的燃烧筒排废管在其位于所述B槽中的一端上还设有旋切式曝气头。该旋切式曝气头可以将带有二氧化硅的CDA气体分割成若干小气泡，以增加气体与水的接触面积。

优选地，所述的PECVD尾气进气管、燃烧筒排气管、CDA吹扫旁通管、燃烧筒排废管上均设有阀门，用以控制各管道的连通与闭合，控制气体的方向。

本实用新型的有益效果在于：

(1)本实用新型通过增设CDA吹扫旁通管，可快速高效吹扫清理燃烧筒内壁粉尘，减轻清理人员的劳动强度，提高清理工作的效率；

(2)本实用新型通过增设清理收集装置，避免了在PECVD尾气燃烧处理后对燃烧筒的二氧化硅粉尘的人工清理，减轻对环境的污染及对清理人员的危害；

(3)本实用新型的装置不需要对现有的燃烧筒的外形和尺寸进行大量改变，仅需要增设清理收集装置和CDA吹扫旁通管，组装方便，成本低廉；

(4)本实用新型水箱中的水通过气动泵可循环利用，减少资源的浪费。

附图说明

下面结合附图和具体实施例，对本发明作进一步的详细说明。

图1为现有的PECVD尾气处理装置；

图2为本实用新型的PECVD尾气的处理装置。

附图标记：1-PECVD尾气进气管；2-燃烧筒；3-燃烧筒排气管；4-净化塔；5-检修口；6-CDA吹扫旁通管；7-燃烧筒排废管；71-旋切式曝气头；81-水箱；811-A槽；812-B槽；813-收集滤袋；814-气动泵；815-溢流管。

具体实施方式

如图1～2所示，一种PECVD尾气处理装置，包括PECVD尾气进气管1、与所述PECVD管1的末端相连，且底部设有检修口5的燃烧筒2、净化塔4以及连接所述燃烧筒2和所述净化塔4的燃烧筒排气管3，其特征在于：

在所述的PECVD尾气进气管1上设有CDA吹扫旁通管6；

所述的检修口5处设有粉尘清理收集装置，包括：

水箱81和收集滤袋813，其中所述的水箱81包括A槽811和B槽812，A槽811和B槽812间设溢流管815，所述的收集滤袋813设在所述的溢流管815在位于所述A槽811中的一端上；所述水箱的B槽812与所述的检修口5通过燃烧筒排废管7相连，且所述燃烧筒排废管7在其位于所述B槽812中的一端上还设有旋切式曝气头71；所述的水箱上还设有气动泵814，其连通水箱81的A槽811和B槽812。

所述的PECVD尾气进气管1、燃烧筒排气管3、CDA吹扫旁通管6、燃烧筒排废管7上均设有阀门。

在使用本实用新型的一种PECVD尾气处理装置时，首先关闭CDA吹扫旁通管6和燃烧筒排废管7上的阀门，使PECVD尾气通过尾气进气管1进入燃烧筒2，并在燃烧筒2中进行燃烧；燃烧处理后的尾气通过燃烧筒排气管3进入净化塔4。在燃烧处理后进行燃烧筒二氧化硅的处理时，关闭PECVD尾气进气管1和燃烧筒排气管3的阀门，并打开CDA吹扫旁通管6和燃烧筒排废管7的阀门，向CDA吹扫旁通管6通CDA气体；CDA气体吹扫燃烧筒2中的二氧化硅粉尘，使其通过燃烧筒排废管7进入水箱81的B槽812。二氧化硅粉尘在B槽812中与水混合，形成固液混合物，该固液混合物通过溢流管815进入收集滤袋813，二氧化硅粉尘留在滤袋813中，过滤后的滤液进入A槽811。滤液可通过气动泵814，重新排入B槽812，以进行循环利用。

Claims (5)

1.一种PECVD尾气处理装置，包括PECVD尾气进气管（1）、与所述PECVD管（1）的末端相连且底部设有检修口（5）的燃烧筒（2）、净化塔（4）以及连接所述燃烧筒（2）和所述净化塔（4）的燃烧筒排气管（3），其特征在于：所述的PECVD尾气进气管（1）上设有CDA吹扫旁通管（6）；所述的检修口（5）处设有粉尘清理收集装置。

2.根据权利要求1所述的一种PECVD尾气处理装置，其特征在于：所述的粉尘清理收集装置包括水箱（81）和收集滤袋（813），其中所述的水箱（81）包括A槽（811）和B槽（812），所述的A槽（811）和所述的B槽（812）间设有溢流管（815），所述的收集滤袋（813）设在所述的溢流管（815）在位于所述A槽（811）中的一端上；所述的B槽（812）与所述的检修口（5）通过燃烧筒排废管（7）相连。

3.根据权利要求2所述的一种PECVD尾气处理装置，其特征在于：所述的水箱（81）上还设有气动泵（814），所述的气动泵（814）连通所述水箱（81）的A槽（811）和B槽（812）。

4.根据权利要求2或3所述的一种PECVD尾气处理装置，其特征在于：所述的燃烧筒排废管（7）在其位于所述B槽（812）中的一端上还设有旋切式曝气头（71）。

5.根据权利要求4所述的一种PECVD尾气处理装置，其特征在于：所述的PECVD尾气进气管（1）、燃烧筒排气管（3）、CDA吹扫旁通管（6）、燃烧筒排废管（7）上均设有阀门。